電子部品のめっき装置およびめっき方法
【課題】電子部品に均一にめっきを施すことができ、電子部品に傷が付くのを防止することが可能なめっき装置を提供する。
【解決手段】めっき槽内でめっき治具１２を保持し且つ電極を有する保持体１３と、保持体１３の下方から上向きにめっき液４５の噴流４６を形成する噴流形成装置とが備えられ、保持体１３が噴流形成装置に対して左右方向Ａへ揺動自在である。めっき治具１２は、上下一対の外板体２６，２７と、外板体２６，２７の対向面側に設けられた一対の導電性メッシュ２８，２９と、一対の導電性メッシュ２８，２９間に形成された複数の収納空間３０と、隣接する収納空間３０を仕切る仕切板３１とを有し、下部の外板体２７に形成された複数の噴流流入孔３４から下部の導電性メッシュ２９を通って各収納空間３０に達する噴流流路が形成されている。
【解決手段】めっき槽内でめっき治具１２を保持し且つ電極を有する保持体１３と、保持体１３の下方から上向きにめっき液４５の噴流４６を形成する噴流形成装置とが備えられ、保持体１３が噴流形成装置に対して左右方向Ａへ揺動自在である。めっき治具１２は、上下一対の外板体２６，２７と、外板体２６，２７の対向面側に設けられた一対の導電性メッシュ２８，２９と、一対の導電性メッシュ２８，２９間に形成された複数の収納空間３０と、隣接する収納空間３０を仕切る仕切板３１とを有し、下部の外板体２７に形成された複数の噴流流入孔３４から下部の導電性メッシュ２９を通って各収納空間３０に達する噴流流路が形成されている。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子部品を電気めっきするめっき装置およびめっき方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体素子等の電子部品には、半導体素子実装性や半田付け性を維持するために、素材となるリードに金属めっきを施している。金属めっきの代表的なめっき方法として、一般的にバレルめっきが採用されている。これは、バレル内部に電子部品および給電攪拌補助メディアなどを所定量投入し、めっき液中に浸漬させ、バレルを回転させることによって、バレル内部に設けられた負電極で電子部品に給電してめっきを行なう方法である。しかしながら、バレルめっき法においては電子部品同士の接触による傷や欠け不良などが慢性的に発生し、製造歩留りを悪化させるといった問題があった。
【０００３】
このような問題の対策として、噴流を用いためっき装置がある（下記特許文献１参照）。すなわち、図５，図６に示すように、めっき槽６１内に、メッシュのカゴ６２が左右に揺動自在に設けられている。カゴ６２には電極６３が設けられている。めっき槽６１内において、カゴ６２の下方には、上向きにめっき液の噴流を形成するノズル６４が設けられている。
【０００４】
これによると、カゴ６２に複数の電子部品を入れ、カゴ６２を左右に揺動させる。この際、カゴ６２の底部に位置する電子部品と上部に位置する電子部品とではめっき液に触れる頻度が異なるため、均一にめっき出来ないので、ノズル６４からめっき液を噴出させて、カゴ６２の下方から上向きにめっき液の噴流を形成している。これにより、カゴ６２内で電子部品の位置が上下に入れ替わり、電子部品は攪拌されながらめっきされる。
【特許文献１】特開２００１−２４７９９３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図５，図６に示した従来のものでは、めっき液の噴流により電子部品を電極６３に接触させる機会めっきであるため、複数の電子部品に対してめっきを均一に施すためには、電極６３の形状の見直しやめっき時間の調整或いは電子部品の数量等の調整が必要となる。また、めっき液の噴流により電子部品同士が接触するため、電子部品に傷が発生するという問題を有していた。
【０００６】
本発明は、電子部品に均一にめっきを施すことができ、電子部品に傷が付くのを防止することが可能な電子部品のめっき装置およびめっき方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本第１発明は、上下両面にリードを有し、上部リードと下部リードとが電気的に接続されている電子部品をめっきするめっき装置であって、
めっき槽と、めっき槽内でめっき治具を保持し且つ電極を有する保持体と、保持体の下方から上向きにめっき液の噴流を形成する噴流形成装置とが備えられ、
保持体と噴流形成装置とのいずれか一方が他方に対して横方向へ揺動自在であり、
めっき治具は、上下一対の外板体と、一対の外板体の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性部材と、一対の導電性部材間に形成され且つ電子部品を出し入れ自在に収納する複数の収納空間と、隣接する収納空間を仕切る仕切部材とを有し、
下部の外板体に形成された複数の噴流流入孔から下部の導電性部材を通って各収納空間に達する噴流流路が形成され、
導電性部材が保持体の電極に接触し、
収納空間は収納された電子部品が上下動可能な大きさに形成されているものである。
【０００８】
これによると、電子部品をめっき治具の各収納空間に収納し、めっき治具を保持体で保持してめっき槽内のめっき液に浸漬する。そして、保持体と噴流形成装置とのいずれか一方を他方に対して横方向へ揺動させるとともに、噴流形成装置によって保持体の下方から上向きにめっき液の噴流を形成する。
【０００９】
この際、前記揺動によってめっき液の噴流がめっき治具の噴流流入孔に当たると、前記噴流が、噴流流入孔から噴流流路を通って収納空間に流入し、電子部品を押し上げて上部リードを上部の導電性部材に接触させる。これにより、電子部品の下部リードは、下部の導電性部材の上方へ離間した状態で、確実に上部リードと上部の導電性部材とを介して電極に通電するため、下部リードがめっきされる。
【００１０】
また、前記揺動によってめっき液の噴流がめっき治具の噴流流入孔から横方向へ外れると、前記噴流は収納空間に流入せず、電子部品が自重により下降して下部リードが下部の導電性部材に接触する。これにより、電子部品の上部リードは、上部の導電性部材の下方へ離間した状態で、確実に下部リードと下部の導電性部材とを介して電極に通電するため、上部リードがめっきされる。
【００１１】
このように、前記保持体と噴流形成装置とのいずれかの横方向への揺動によって、各電子部品が収納空間内で上下動を繰り返すことにより、個々の電子部品を短時間で均一にめっきすることができる。また、隣接する収納空間は仕切部材によって仕切られているため、各収納空間に収納された電子部品同士が互いに接触することはなく、電子部品に傷が付くのを防止することができる。
【００１２】
本第２発明は、上下両面にリードを有し且つ上部リードと下部リードとが電気的に接続されている電子部品を、めっき治具を用いてめっきするめっき方法であって、
めっき治具は、上下一対の外板体と、一対の外板体の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性部材と、一対の導電性部材間に形成され且つ電子部品を出し入れ自在に収納する複数の収納空間と、隣接する収納空間を仕切る仕切部材とを有し、
下部の外板体に形成された複数の噴流流入孔から下部の導電性部材を通って各収納空間に達する噴流流路が形成され、
電子部品を収納空間に収納し、
導電性部材を電極に接触させてめっき治具をめっき液中に浸漬し、
めっき治具の下方から上向きにめっき液の噴流を形成し、
めっき治具とめっき液の噴流とのいずれか一方を他方に対して横方向へ揺動させ、
前記噴流がめっき治具の噴流流入孔に当たると、前記噴流が噴流流入孔から噴流流路を通って収納空間に流入し電子部品を押し上げて上部リードを上部の導電性部材に接触させ、前記噴流が前記噴流流入孔から横方向へ外れると、電子部品が自重により下降して下部リードが下部の導電性部材に接触するものである。
【００１３】
これによると、前記揺動によってめっき液の噴流がめっき治具の噴流流入孔に当たると、前記噴流が、噴流流入孔から噴流流路を通って収納空間に流入し、電子部品を押し上げて上部リードを上部の導電性部材に接触させる。これにより、電子部品の下部リードは、下部の導電性部材の上方へ離間した状態で、確実に上部リードと上部の導電性部材とを介して電極に通電するため、下部リードがめっきされる。
【００１４】
また、前記揺動によってめっき液の噴流がめっき治具の噴流流入孔から横方向へ外れると、前記噴流は収納空間に流入せず、電子部品が自重により下降して下部リードが下部の導電性部材に接触する。これにより、電子部品の上部リードは、上部の導電性部材の下方へ離間した状態で、確実に下部リードと下部の導電性部材とを介して電極に通電するため、上部リードがめっきされる。
【００１５】
このように、前記めっき治具とめっき液の噴流とのいずれかの横方向への揺動によって、各電子部品が収納空間内で上下動を繰り返すことにより、個々の電子部品を短時間で均一にめっきすることができる。また、隣接する収納空間は仕切部材によって仕切られているため、各収納空間に収納された電子部品同士が互いに接触することはなく、電子部品に傷が付くのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように本発明では、個々の電子部品を短時間で均一にめっきすることができる。また、各収納空間に収納された電子部品同士が互いに接触することはなく、電子部品に傷が付くのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明における実施の形態を図を参照しながら説明する。
図１に示すように、１０は半導体素子等の電子部品１を電気めっきするめっき装置である。図２に示すように、電子部品１は上下両面にリード２，３を有しており、上部リード２と下部リード３とは電子部品１の内部でビア等を介して電気的に接続されている。
【００１８】
めっき装置１０は、めっき槽１１と、めっき槽１１内でめっき治具１２を保持する保持体１３と、保持体１３の下方から上向きにめっき液４５の噴流４６を形成する噴流形成装置１４と、保持体１３を左右方向Ａ（横方向の一例）に揺動させる揺動装置１５とを備えている。保持体１３は、四角枠状の下部および上部枠フレーム１６，１７と、上下両枠フレーム１６，１７間に設けられた複数の縦フレーム１８とを有するカゴ状に構成されている。尚、保持体１３に電流を流して保持体１３を電極（陰極）としている。また、陽極（図示省略）は保持体１３の外側に別途設けられている。
【００１９】
保持体１３の上部には、四角枠状の揺動フレーム１９が連結軸２０を介して設けられている。揺動フレーム１９は、めっき槽１１の上部に設けられた支持部材２１によって、左右方向Ａへスライド自在に支持されている。
【００２０】
噴流形成装置１４は、保持体１３の下方に設置された噴出ノズル２３と、めっき槽１１内のめっき液４５を噴出ノズル２３に供給するポンプ２４とを有している。噴出ノズル２３は複数の線状のスリット２３ａを有しており、これらスリット２３ａからめっき液４５を噴出することによって、上向きにめっき液４５の噴流４６が形成される。
【００２１】
揺動装置１５は、電動機４１と、電動機４１と揺動フレーム１９との間に連結されたクランク機構４２とで構成されている。クランク機構４２は、電動機４１の回転軸に設けられた円盤４２ａと、円盤４２ａと揺動フレーム１９との間に連結されたリンク４２ｂとを有している。
【００２２】
図２，図３に示すように、めっき治具１２は、上下一対の外板体２６，２７と、一対の外板体２６，２７の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性メッシュ２８，２９（導電性部材の一例）と、一対の導電性メッシュ２８，２９間に形成され且つ電子部品１を出し入れ自在に収納する複数の収納空間３０と、隣接する収納空間３０を仕切る仕切板３１（仕切部材の一例）とを有している。
【００２３】
外板体２６，２７と仕切板３１とは樹脂等を材質とし、導電性メッシュ２８，２９は導電性の金網でできている。また、収納空間３０は仕切板３１に形成された複数の孔部３２よって形成されている。上部の外板体２６には表裏両面に貫通する複数の円形の逃し孔３３が形成されている。これら各逃し孔３３は各収納空間３０の上方に位置している。また、下部の外板体２７には表裏両面に貫通する複数の円形の噴流流入孔３４が形成されている。これら各噴流流入孔３４は各収納空間３０の下方に位置している。
【００２４】
これにより、図４に示すように、各噴流流入孔３４から下部の導電性メッシュ２９の網目を通って各収納空間３０に達する噴流流路３５が形成される。同様に、各収納空間３０から上部の導電性メッシュ２８の網目を通って各逃し孔３３へ達する逃し流路３６が形成されている。
【００２５】
各収納空間３０は電子部品１よりも大きく形成されており、収納された電子部品１と収納空間３０との間には、前後方向および左右方向および上下方向にそれぞれ１〜２ｍｍ程度の隙間が形成される。これにより、電子部品１は上下動可能に収納空間３０内に収納される。
【００２６】
前記外板体２６，２７と導電性メッシュ２８，２９と仕切板３１とは複数のボルト３７，ナット３８によって一体に締結されている。尚、ボルト３７，ナット３８を取り外すことにより、めっき治具１２を各外板体２６，２７と導電性メッシュ２８，２９と仕切板３１とに分解することができ、電子部品１を各収納空間３０に出し入れすることができる。
【００２７】
図２に示すように、めっき治具１２は、噴流流入孔３４を下向きにして、保持体１３の下部枠フレーム１６に着脱自在に保持されており、固定用ボルト（図示省略）等によって連結固定されている。この状態において、めっき治具１２の導電性メッシュ２８，２９は電極である保持体１３の縦フレーム１８に接触している。
【００２８】
以下、前記構成における作用を説明する。
複数の電子部品１をめっきする場合、先ず、ボルト３７，ナット３８を取り外してめっき治具１２を分解し、上部リード２を上向きにして電子部品１を１個ずつ各収納空間３０に収納し、その後、ボルト３７，ナット３８を取付けてめっき治具１２を組立てる。
【００２９】
次に、めっき治具１２を保持体１３に装着してめっき槽１１のめっき液４５に浸漬する。これにより、図２に示すように、めっき治具１２の導電性メッシュ２８，２９が電極である保持体１３の縦フレーム１８に接触する。
【００３０】
そして、噴流形成装置１４のポンプ２４を作動して、噴出ノズル２３からめっき液４５を噴出させることにより、保持体１３の下方から上向きにめっき液４５の噴流４６を形成する。さらに、揺動装置１５の電動機４１を作動して、揺動フレーム１９を左右方向Ａへスライドさせることにより、保持体１３を左右方向Ａへ揺動させる。
【００３１】
前記保持体１３と共にめっき治具１２も左右方向Ａへ揺動し、この際、図４（ａ）に示すように、めっき液４５の噴流４６が下方からめっき治具１２の噴流流入孔３４に当たると、前記噴流４６が、噴流流入孔３４から噴流流路３５を通って収納空間３０に流入し、電子部品１を押し上げて上部リード２を上部の導電性メッシュ２８に接触させる。これにより、電子部品１の下部リード３は、下部の導電性メッシュ２９の上方に離間した状態で、確実に上部リード２と上部の導電性メッシュ２８とを介して保持体１３の縦フレーム１８（電極）に通電するため、下部リード３がめっきされる。尚、噴流流入孔３４から収納空間３０に流入した噴流４６や収納空間３０内の気泡は逃し流路３６を通って逃し孔３３からめっき治具１２の上方へ逃げる。
【００３２】
また、図４（ｂ）に示すように、前記左右方向Ａへの揺動によってめっき液４５の噴流４６が噴流流入孔３４から左右方向Ａへ外れると、前記噴流４６は噴流流入孔３４から収納空間３０に流入せず、電子部品１が自重により下降して下部リード３が下部の導電性メッシュ２９に接触する。これにより、電子部品１の上部リード２は、上部の導電性メッシュ２８の下方に離間した状態で、確実に下部リード３と下部の導電性メッシュ２９とを介して保持体１３の縦フレーム１８（電極）に通電するため、上部リード２がめっきされる。
【００３３】
このように、前記めっき治具１２の左右方向Ａへの揺動によって、各電子部品１が収納空間３０内で上下動を繰り返すことにより、個々の電子部品１を短時間で均一にめっきすることができる。また、隣接する収納空間３０は仕切板３１によって仕切られているため、各収納空間３０に収納された電子部品１同士が互いに接触することはなく、電子部品１に傷が付くのを防止することができる。
【００３４】
前記実施の形態では、逃し孔３３と噴流流入孔３４とを円形にしているが四角形等でもよい。
前記実施の形態では、導電性部材の一例として金網状の導電性メッシュ２８，２９を用いたが、導電性の板を用いてもよい。この場合、下部の導電性の板には、噴流流入孔３４と収納空間３０とに連通する連通孔を形成し、上部の導電性の板には、逃し孔３３と収納空間３０とに連通する連通孔を形成する。
【００３５】
前記実施の形態では、横方向の一例として、左右方向Ａへめっき治具１２を揺動しているが、前後方向へ揺動してもよい。
前記実施の形態では、噴流形成装置１４の噴出ノズル２３を固定し、保持体１３を横方向（左右方向又は前後方向）に揺動しているが、保持体１３を固定し、噴出ノズル２３を横方向に揺動してもよい。
【００３６】
前記実施の形態では、揺動装置１５として、電動機４１とクランク機構４２とを用いたが、シリンダ等を用いてもよい。
前記実施の形態では、めっき治具１２の外板体２６，２７と導電性メッシュ２８，２９と仕切板３１とをボルト３７，ナット３８によって一体に締結したが、ボルト３７，ナット３８の代りにクリップ等を用いて、外板体２６，２７と導電性メッシュ２８，２９と仕切板３１とを挟み付けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
以上のように本発明の電子部品のめっき装置によれば、めっきを均一に短時間でつけ、電子部品に傷を付けることなく安定しためっきができ、また、めっき工程を自動で行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態におけるめっき装置の図
【図２】同、めっき装置に設けられためっき治具の縦断面図
【図３】同、めっき装置に設けられるめっき治具の分解斜視図
【図４】同、めっき装置を用いためっき方法を示す図
【図５】従来のめっき装置の図
【図６】同、めっき装置に設けられたカゴの図
【符号の説明】
【００３９】
１ 電子部品
２ 上部リード
３ 下部リード
１０ めっき装置
１１ めっき槽
１２ めっき治具
１３ 保持体
１４ 噴流形成装置
２６，２７ 外板体
２８，２９ 導電性メッシュ（導電性部材）
３０ 収納空間
３１ 仕切板（仕切部材）
３４ 噴流流入孔
３５ 噴流流路
４５ めっき液
４６ 噴流
Ａ 左右方向（横方向）
【技術分野】
【０００１】
本発明は電子部品を電気めっきするめっき装置およびめっき方法に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
一般に、半導体素子等の電子部品には、半導体素子実装性や半田付け性を維持するために、素材となるリードに金属めっきを施している。金属めっきの代表的なめっき方法として、一般的にバレルめっきが採用されている。これは、バレル内部に電子部品および給電攪拌補助メディアなどを所定量投入し、めっき液中に浸漬させ、バレルを回転させることによって、バレル内部に設けられた負電極で電子部品に給電してめっきを行なう方法である。しかしながら、バレルめっき法においては電子部品同士の接触による傷や欠け不良などが慢性的に発生し、製造歩留りを悪化させるといった問題があった。
【０００３】
このような問題の対策として、噴流を用いためっき装置がある（下記特許文献１参照）。すなわち、図５，図６に示すように、めっき槽６１内に、メッシュのカゴ６２が左右に揺動自在に設けられている。カゴ６２には電極６３が設けられている。めっき槽６１内において、カゴ６２の下方には、上向きにめっき液の噴流を形成するノズル６４が設けられている。
【０００４】
これによると、カゴ６２に複数の電子部品を入れ、カゴ６２を左右に揺動させる。この際、カゴ６２の底部に位置する電子部品と上部に位置する電子部品とではめっき液に触れる頻度が異なるため、均一にめっき出来ないので、ノズル６４からめっき液を噴出させて、カゴ６２の下方から上向きにめっき液の噴流を形成している。これにより、カゴ６２内で電子部品の位置が上下に入れ替わり、電子部品は攪拌されながらめっきされる。
【特許文献１】特開２００１−２４７９９３
【発明の開示】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかしながら、図５，図６に示した従来のものでは、めっき液の噴流により電子部品を電極６３に接触させる機会めっきであるため、複数の電子部品に対してめっきを均一に施すためには、電極６３の形状の見直しやめっき時間の調整或いは電子部品の数量等の調整が必要となる。また、めっき液の噴流により電子部品同士が接触するため、電子部品に傷が発生するという問題を有していた。
【０００６】
本発明は、電子部品に均一にめっきを施すことができ、電子部品に傷が付くのを防止することが可能な電子部品のめっき装置およびめっき方法を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本第１発明は、上下両面にリードを有し、上部リードと下部リードとが電気的に接続されている電子部品をめっきするめっき装置であって、
めっき槽と、めっき槽内でめっき治具を保持し且つ電極を有する保持体と、保持体の下方から上向きにめっき液の噴流を形成する噴流形成装置とが備えられ、
保持体と噴流形成装置とのいずれか一方が他方に対して横方向へ揺動自在であり、
めっき治具は、上下一対の外板体と、一対の外板体の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性部材と、一対の導電性部材間に形成され且つ電子部品を出し入れ自在に収納する複数の収納空間と、隣接する収納空間を仕切る仕切部材とを有し、
下部の外板体に形成された複数の噴流流入孔から下部の導電性部材を通って各収納空間に達する噴流流路が形成され、
導電性部材が保持体の電極に接触し、
収納空間は収納された電子部品が上下動可能な大きさに形成されているものである。
【０００８】
これによると、電子部品をめっき治具の各収納空間に収納し、めっき治具を保持体で保持してめっき槽内のめっき液に浸漬する。そして、保持体と噴流形成装置とのいずれか一方を他方に対して横方向へ揺動させるとともに、噴流形成装置によって保持体の下方から上向きにめっき液の噴流を形成する。
【０００９】
この際、前記揺動によってめっき液の噴流がめっき治具の噴流流入孔に当たると、前記噴流が、噴流流入孔から噴流流路を通って収納空間に流入し、電子部品を押し上げて上部リードを上部の導電性部材に接触させる。これにより、電子部品の下部リードは、下部の導電性部材の上方へ離間した状態で、確実に上部リードと上部の導電性部材とを介して電極に通電するため、下部リードがめっきされる。
【００１０】
また、前記揺動によってめっき液の噴流がめっき治具の噴流流入孔から横方向へ外れると、前記噴流は収納空間に流入せず、電子部品が自重により下降して下部リードが下部の導電性部材に接触する。これにより、電子部品の上部リードは、上部の導電性部材の下方へ離間した状態で、確実に下部リードと下部の導電性部材とを介して電極に通電するため、上部リードがめっきされる。
【００１１】
このように、前記保持体と噴流形成装置とのいずれかの横方向への揺動によって、各電子部品が収納空間内で上下動を繰り返すことにより、個々の電子部品を短時間で均一にめっきすることができる。また、隣接する収納空間は仕切部材によって仕切られているため、各収納空間に収納された電子部品同士が互いに接触することはなく、電子部品に傷が付くのを防止することができる。
【００１２】
本第２発明は、上下両面にリードを有し且つ上部リードと下部リードとが電気的に接続されている電子部品を、めっき治具を用いてめっきするめっき方法であって、
めっき治具は、上下一対の外板体と、一対の外板体の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性部材と、一対の導電性部材間に形成され且つ電子部品を出し入れ自在に収納する複数の収納空間と、隣接する収納空間を仕切る仕切部材とを有し、
下部の外板体に形成された複数の噴流流入孔から下部の導電性部材を通って各収納空間に達する噴流流路が形成され、
電子部品を収納空間に収納し、
導電性部材を電極に接触させてめっき治具をめっき液中に浸漬し、
めっき治具の下方から上向きにめっき液の噴流を形成し、
めっき治具とめっき液の噴流とのいずれか一方を他方に対して横方向へ揺動させ、
前記噴流がめっき治具の噴流流入孔に当たると、前記噴流が噴流流入孔から噴流流路を通って収納空間に流入し電子部品を押し上げて上部リードを上部の導電性部材に接触させ、前記噴流が前記噴流流入孔から横方向へ外れると、電子部品が自重により下降して下部リードが下部の導電性部材に接触するものである。
【００１３】
これによると、前記揺動によってめっき液の噴流がめっき治具の噴流流入孔に当たると、前記噴流が、噴流流入孔から噴流流路を通って収納空間に流入し、電子部品を押し上げて上部リードを上部の導電性部材に接触させる。これにより、電子部品の下部リードは、下部の導電性部材の上方へ離間した状態で、確実に上部リードと上部の導電性部材とを介して電極に通電するため、下部リードがめっきされる。
【００１４】
また、前記揺動によってめっき液の噴流がめっき治具の噴流流入孔から横方向へ外れると、前記噴流は収納空間に流入せず、電子部品が自重により下降して下部リードが下部の導電性部材に接触する。これにより、電子部品の上部リードは、上部の導電性部材の下方へ離間した状態で、確実に下部リードと下部の導電性部材とを介して電極に通電するため、上部リードがめっきされる。
【００１５】
このように、前記めっき治具とめっき液の噴流とのいずれかの横方向への揺動によって、各電子部品が収納空間内で上下動を繰り返すことにより、個々の電子部品を短時間で均一にめっきすることができる。また、隣接する収納空間は仕切部材によって仕切られているため、各収納空間に収納された電子部品同士が互いに接触することはなく、電子部品に傷が付くのを防止することができる。
【発明の効果】
【００１６】
以上のように本発明では、個々の電子部品を短時間で均一にめっきすることができる。また、各収納空間に収納された電子部品同士が互いに接触することはなく、電子部品に傷が付くのを防止することができる。
【発明を実施するための最良の形態】
【００１７】
以下、本発明における実施の形態を図を参照しながら説明する。
図１に示すように、１０は半導体素子等の電子部品１を電気めっきするめっき装置である。図２に示すように、電子部品１は上下両面にリード２，３を有しており、上部リード２と下部リード３とは電子部品１の内部でビア等を介して電気的に接続されている。
【００１８】
めっき装置１０は、めっき槽１１と、めっき槽１１内でめっき治具１２を保持する保持体１３と、保持体１３の下方から上向きにめっき液４５の噴流４６を形成する噴流形成装置１４と、保持体１３を左右方向Ａ（横方向の一例）に揺動させる揺動装置１５とを備えている。保持体１３は、四角枠状の下部および上部枠フレーム１６，１７と、上下両枠フレーム１６，１７間に設けられた複数の縦フレーム１８とを有するカゴ状に構成されている。尚、保持体１３に電流を流して保持体１３を電極（陰極）としている。また、陽極（図示省略）は保持体１３の外側に別途設けられている。
【００１９】
保持体１３の上部には、四角枠状の揺動フレーム１９が連結軸２０を介して設けられている。揺動フレーム１９は、めっき槽１１の上部に設けられた支持部材２１によって、左右方向Ａへスライド自在に支持されている。
【００２０】
噴流形成装置１４は、保持体１３の下方に設置された噴出ノズル２３と、めっき槽１１内のめっき液４５を噴出ノズル２３に供給するポンプ２４とを有している。噴出ノズル２３は複数の線状のスリット２３ａを有しており、これらスリット２３ａからめっき液４５を噴出することによって、上向きにめっき液４５の噴流４６が形成される。
【００２１】
揺動装置１５は、電動機４１と、電動機４１と揺動フレーム１９との間に連結されたクランク機構４２とで構成されている。クランク機構４２は、電動機４１の回転軸に設けられた円盤４２ａと、円盤４２ａと揺動フレーム１９との間に連結されたリンク４２ｂとを有している。
【００２２】
図２，図３に示すように、めっき治具１２は、上下一対の外板体２６，２７と、一対の外板体２６，２７の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性メッシュ２８，２９（導電性部材の一例）と、一対の導電性メッシュ２８，２９間に形成され且つ電子部品１を出し入れ自在に収納する複数の収納空間３０と、隣接する収納空間３０を仕切る仕切板３１（仕切部材の一例）とを有している。
【００２３】
外板体２６，２７と仕切板３１とは樹脂等を材質とし、導電性メッシュ２８，２９は導電性の金網でできている。また、収納空間３０は仕切板３１に形成された複数の孔部３２よって形成されている。上部の外板体２６には表裏両面に貫通する複数の円形の逃し孔３３が形成されている。これら各逃し孔３３は各収納空間３０の上方に位置している。また、下部の外板体２７には表裏両面に貫通する複数の円形の噴流流入孔３４が形成されている。これら各噴流流入孔３４は各収納空間３０の下方に位置している。
【００２４】
これにより、図４に示すように、各噴流流入孔３４から下部の導電性メッシュ２９の網目を通って各収納空間３０に達する噴流流路３５が形成される。同様に、各収納空間３０から上部の導電性メッシュ２８の網目を通って各逃し孔３３へ達する逃し流路３６が形成されている。
【００２５】
各収納空間３０は電子部品１よりも大きく形成されており、収納された電子部品１と収納空間３０との間には、前後方向および左右方向および上下方向にそれぞれ１〜２ｍｍ程度の隙間が形成される。これにより、電子部品１は上下動可能に収納空間３０内に収納される。
【００２６】
前記外板体２６，２７と導電性メッシュ２８，２９と仕切板３１とは複数のボルト３７，ナット３８によって一体に締結されている。尚、ボルト３７，ナット３８を取り外すことにより、めっき治具１２を各外板体２６，２７と導電性メッシュ２８，２９と仕切板３１とに分解することができ、電子部品１を各収納空間３０に出し入れすることができる。
【００２７】
図２に示すように、めっき治具１２は、噴流流入孔３４を下向きにして、保持体１３の下部枠フレーム１６に着脱自在に保持されており、固定用ボルト（図示省略）等によって連結固定されている。この状態において、めっき治具１２の導電性メッシュ２８，２９は電極である保持体１３の縦フレーム１８に接触している。
【００２８】
以下、前記構成における作用を説明する。
複数の電子部品１をめっきする場合、先ず、ボルト３７，ナット３８を取り外してめっき治具１２を分解し、上部リード２を上向きにして電子部品１を１個ずつ各収納空間３０に収納し、その後、ボルト３７，ナット３８を取付けてめっき治具１２を組立てる。
【００２９】
次に、めっき治具１２を保持体１３に装着してめっき槽１１のめっき液４５に浸漬する。これにより、図２に示すように、めっき治具１２の導電性メッシュ２８，２９が電極である保持体１３の縦フレーム１８に接触する。
【００３０】
そして、噴流形成装置１４のポンプ２４を作動して、噴出ノズル２３からめっき液４５を噴出させることにより、保持体１３の下方から上向きにめっき液４５の噴流４６を形成する。さらに、揺動装置１５の電動機４１を作動して、揺動フレーム１９を左右方向Ａへスライドさせることにより、保持体１３を左右方向Ａへ揺動させる。
【００３１】
前記保持体１３と共にめっき治具１２も左右方向Ａへ揺動し、この際、図４（ａ）に示すように、めっき液４５の噴流４６が下方からめっき治具１２の噴流流入孔３４に当たると、前記噴流４６が、噴流流入孔３４から噴流流路３５を通って収納空間３０に流入し、電子部品１を押し上げて上部リード２を上部の導電性メッシュ２８に接触させる。これにより、電子部品１の下部リード３は、下部の導電性メッシュ２９の上方に離間した状態で、確実に上部リード２と上部の導電性メッシュ２８とを介して保持体１３の縦フレーム１８（電極）に通電するため、下部リード３がめっきされる。尚、噴流流入孔３４から収納空間３０に流入した噴流４６や収納空間３０内の気泡は逃し流路３６を通って逃し孔３３からめっき治具１２の上方へ逃げる。
【００３２】
また、図４（ｂ）に示すように、前記左右方向Ａへの揺動によってめっき液４５の噴流４６が噴流流入孔３４から左右方向Ａへ外れると、前記噴流４６は噴流流入孔３４から収納空間３０に流入せず、電子部品１が自重により下降して下部リード３が下部の導電性メッシュ２９に接触する。これにより、電子部品１の上部リード２は、上部の導電性メッシュ２８の下方に離間した状態で、確実に下部リード３と下部の導電性メッシュ２９とを介して保持体１３の縦フレーム１８（電極）に通電するため、上部リード２がめっきされる。
【００３３】
このように、前記めっき治具１２の左右方向Ａへの揺動によって、各電子部品１が収納空間３０内で上下動を繰り返すことにより、個々の電子部品１を短時間で均一にめっきすることができる。また、隣接する収納空間３０は仕切板３１によって仕切られているため、各収納空間３０に収納された電子部品１同士が互いに接触することはなく、電子部品１に傷が付くのを防止することができる。
【００３４】
前記実施の形態では、逃し孔３３と噴流流入孔３４とを円形にしているが四角形等でもよい。
前記実施の形態では、導電性部材の一例として金網状の導電性メッシュ２８，２９を用いたが、導電性の板を用いてもよい。この場合、下部の導電性の板には、噴流流入孔３４と収納空間３０とに連通する連通孔を形成し、上部の導電性の板には、逃し孔３３と収納空間３０とに連通する連通孔を形成する。
【００３５】
前記実施の形態では、横方向の一例として、左右方向Ａへめっき治具１２を揺動しているが、前後方向へ揺動してもよい。
前記実施の形態では、噴流形成装置１４の噴出ノズル２３を固定し、保持体１３を横方向（左右方向又は前後方向）に揺動しているが、保持体１３を固定し、噴出ノズル２３を横方向に揺動してもよい。
【００３６】
前記実施の形態では、揺動装置１５として、電動機４１とクランク機構４２とを用いたが、シリンダ等を用いてもよい。
前記実施の形態では、めっき治具１２の外板体２６，２７と導電性メッシュ２８，２９と仕切板３１とをボルト３７，ナット３８によって一体に締結したが、ボルト３７，ナット３８の代りにクリップ等を用いて、外板体２６，２７と導電性メッシュ２８，２９と仕切板３１とを挟み付けてもよい。
【産業上の利用可能性】
【００３７】
以上のように本発明の電子部品のめっき装置によれば、めっきを均一に短時間でつけ、電子部品に傷を付けることなく安定しためっきができ、また、めっき工程を自動で行なうことができる。
【図面の簡単な説明】
【００３８】
【図１】本発明の実施の形態におけるめっき装置の図
【図２】同、めっき装置に設けられためっき治具の縦断面図
【図３】同、めっき装置に設けられるめっき治具の分解斜視図
【図４】同、めっき装置を用いためっき方法を示す図
【図５】従来のめっき装置の図
【図６】同、めっき装置に設けられたカゴの図
【符号の説明】
【００３９】
１ 電子部品
２ 上部リード
３ 下部リード
１０ めっき装置
１１ めっき槽
１２ めっき治具
１３ 保持体
１４ 噴流形成装置
２６，２７ 外板体
２８，２９ 導電性メッシュ（導電性部材）
３０ 収納空間
３１ 仕切板（仕切部材）
３４ 噴流流入孔
３５ 噴流流路
４５ めっき液
４６ 噴流
Ａ 左右方向（横方向）
【特許請求の範囲】
【請求項１】
上下両面にリードを有し、上部リードと下部リードとが電気的に接続されている電子部品をめっきするめっき装置であって、
めっき槽と、めっき槽内でめっき治具を保持し且つ電極を有する保持体と、保持体の下方から上向きにめっき液の噴流を形成する噴流形成装置とが備えられ、
保持体と噴流形成装置とのいずれか一方が他方に対して横方向へ揺動自在であり、
めっき治具は、上下一対の外板体と、一対の外板体の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性部材と、一対の導電性部材間に形成され且つ電子部品を出し入れ自在に収納する複数の収納空間と、隣接する収納空間を仕切る仕切部材とを有し、
下部の外板体に形成された複数の噴流流入孔から下部の導電性部材を通って各収納空間に達する噴流流路が形成され、
導電性部材が保持体の電極に接触し、
収納空間は収納された電子部品が上下動可能な大きさに形成されていることを特徴とする電子部品のめっき装置。
【請求項２】
上下両面にリードを有し且つ上部リードと下部リードとが電気的に接続されている電子部品を、めっき治具を用いてめっきするめっき方法であって、
めっき治具は、上下一対の外板体と、一対の外板体の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性部材と、一対の導電性部材間に形成され且つ電子部品を出し入れ自在に収納する複数の収納空間と、隣接する収納空間を仕切る仕切部材とを有し、
下部の外板体に形成された複数の噴流流入孔から下部の導電性部材を通って各収納空間に達する噴流流路が形成され、
電子部品を収納空間に収納し、
導電性部材を電極に接触させてめっき治具をめっき液中に浸漬し、
めっき治具の下方から上向きにめっき液の噴流を形成し、
めっき治具とめっき液の噴流とのいずれか一方を他方に対して横方向へ揺動させ、
前記噴流がめっき治具の噴流流入孔に当たると、前記噴流が噴流流入孔から噴流流路を通って収納空間に流入し電子部品を押し上げて上部リードを上部の導電性部材に接触させ、前記噴流が前記噴流流入孔から横方向へ外れると、電子部品が自重により下降して下部リードが下部の導電性部材に接触することを特徴とする電子部品のめっき方法。
【請求項１】
上下両面にリードを有し、上部リードと下部リードとが電気的に接続されている電子部品をめっきするめっき装置であって、
めっき槽と、めっき槽内でめっき治具を保持し且つ電極を有する保持体と、保持体の下方から上向きにめっき液の噴流を形成する噴流形成装置とが備えられ、
保持体と噴流形成装置とのいずれか一方が他方に対して横方向へ揺動自在であり、
めっき治具は、上下一対の外板体と、一対の外板体の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性部材と、一対の導電性部材間に形成され且つ電子部品を出し入れ自在に収納する複数の収納空間と、隣接する収納空間を仕切る仕切部材とを有し、
下部の外板体に形成された複数の噴流流入孔から下部の導電性部材を通って各収納空間に達する噴流流路が形成され、
導電性部材が保持体の電極に接触し、
収納空間は収納された電子部品が上下動可能な大きさに形成されていることを特徴とする電子部品のめっき装置。
【請求項２】
上下両面にリードを有し且つ上部リードと下部リードとが電気的に接続されている電子部品を、めっき治具を用いてめっきするめっき方法であって、
めっき治具は、上下一対の外板体と、一対の外板体の相対向する対向面側に設けられた上下一対の導電性部材と、一対の導電性部材間に形成され且つ電子部品を出し入れ自在に収納する複数の収納空間と、隣接する収納空間を仕切る仕切部材とを有し、
下部の外板体に形成された複数の噴流流入孔から下部の導電性部材を通って各収納空間に達する噴流流路が形成され、
電子部品を収納空間に収納し、
導電性部材を電極に接触させてめっき治具をめっき液中に浸漬し、
めっき治具の下方から上向きにめっき液の噴流を形成し、
めっき治具とめっき液の噴流とのいずれか一方を他方に対して横方向へ揺動させ、
前記噴流がめっき治具の噴流流入孔に当たると、前記噴流が噴流流入孔から噴流流路を通って収納空間に流入し電子部品を押し上げて上部リードを上部の導電性部材に接触させ、前記噴流が前記噴流流入孔から横方向へ外れると、電子部品が自重により下降して下部リードが下部の導電性部材に接触することを特徴とする電子部品のめっき方法。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【公開番号】特開２００８−２１４６６９（Ｐ２００８−２１４６６９Ａ）
【公開日】平成２０年９月１８日（２００８．９．１８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００７−５０８８２（Ｐ２００７−５０８８２）
【出願日】平成１９年３月１日（２００７．３．１）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２０年９月１８日（２００８．９．１８）
【国際特許分類】
【出願日】平成１９年３月１日（２００７．３．１）
【出願人】（０００００５８２１）松下電器産業株式会社 (73,050)
【Ｆターム（参考）】
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