静電容量結合方式のタッチパネル
【課題】静電容量結合方式のタッチパネルにおいて、特性低下の抑制及び低コスト化を図る。
【解決手段】基板の第１の面上に形成されるシールド用の第１導電体と、第１導電体上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され第１の方向に延在し並設される複数の第１電極と、前記絶縁膜上に形成され前記第２の方向に延在し並設される複数の第２電極とを有し、前記シールド用の第１導電体は、所定の信号が入力され、前記複数の第１電極の各々は、前記基板の前記第１の面上に形成される第１部分と、前記絶縁膜上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、前記シールド用の第１導電体は、複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１の部分が形成されない第２開口部とを有する。
【解決手段】基板の第１の面上に形成されるシールド用の第１導電体と、第１導電体上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され第１の方向に延在し並設される複数の第１電極と、前記絶縁膜上に形成され前記第２の方向に延在し並設される複数の第２電極とを有し、前記シールド用の第１導電体は、所定の信号が入力され、前記複数の第１電極の各々は、前記基板の前記第１の面上に形成される第１部分と、前記絶縁膜上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、前記シールド用の第１導電体は、複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１の部分が形成されない第２開口部とを有する。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル付き表示装置に係り、特に、静電容量結合方式のタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
タッチパネルの主な方式として、光の変化を検出する方式と、電気的な特性の変化を検出する方式とが知られている。また、電気的な特性の変化を検出する方式として、静電容量結合方式が知られている。（下記、特許文献１、特許文献２参照）
図１６乃至図１８は従来の静電容量結合方式のタッチパネルに係る図であり、図１６は電極パターンを示す平面図、図１７は図１６のＦ−Ｆ’線に沿った断面構造を示す断面図、図１８は図１６のＧ−Ｇ’線に沿った断面構造を示す断面図である。
従来の静電容量結合方式のタッチパネルは、図１６乃至図１８に示すように、第１の方向（例えばＸ方向）に延在し、前記第１の方向と交差する第２の方向（例えばＹ方向）に並設される複数の電極１Ｘと、この電極１Ｘと交差して前記第２の方向に延在し、前記第１の方向に並設される複数の電極２Ｙとを有している。複数の電極２Ｙは、基板１１上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。複数の電極１Ｘは、絶縁膜１２上に配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。電極１Ｘ及び２Ｙは、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。
また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルは、図１７及び図１８に示すように、基板１１の観察者側とは反対側の面に面状のシールド用の導電体１５を有している。このシールド用の導電体１５は、所定の信号が入力され、表示パネルからタッチパネルへのノイズを低減している。シールド用の導電体１５は、例えばＩＴＯ等の透明性導電膜で形成されている。
【０００３】
なお、本願発明に関連する先行技術文献としては以下のものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−６５７４８号公報
【特許文献２】特願２００７−１７５０５０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１６乃至図１８に示すように、複数の電極１Ｘと複数の電極２Ｙとが絶縁膜１２を介してそれぞれ異なる導電層（下層と上層）に形成されている。このような電極構造の場合、絶縁膜１２及び上層の電極１Ｘ上に形成される保護膜１３は、上層の電極１Ｘにより膜に歪みが生じるため、加えて、反射光に対しては、下層と上層とで光路長が異なるため、下層の電極１Ｘと上層の電極２Ｙに色差が生じ、電極１Ｘ及び電極２Ｙの電極パターンが顕在化する。このような電極パターンの顕在化は、光学特性の悪化を招き、タッチパネルを組み込んだ表示装置の特性低下を引き起こす要因となるため、対策が必要である。
【０００６】
また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１７及び図１８に示すように、基板１１の観察者側の面（主面）とは反対側の面（裏面）にシールド用の導電体１５を設けている。このような構造の場合、透明性導電材料層として、電極１Ｘを形成するための透明導電性材料層層と電極２Ｙを形成するための透明性導電材料層に、シールド用の導電体１５を形成するための透明性導電材料層を加えた３つの透明性導電材料層が必要であり、低コスト化を阻害する要因となる。
そこで、本発明者は、電極１Ｘ、電極２Ｙ、シールド用の導電体１５の３つの透明性導電材料層に着目し、本発明をなした。
本発明の目的は、静電容量結合方式のタッチパネルにおいて、特性低下の抑制及び低コスト化を図ることが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）表示パネルと、前記表示パネルの観察者側の面上に配置される静電容量結合方式のタッチパネルとを備え、前記タッチパネルは、基板と、前記基板の前記観察者側の面上に形成されるシールド用の第１導電体と、前記シールド用の第１導電体上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、前記絶縁膜上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極とを有するタッチパネル付き表示装置であって、前記シールド用の第１導電体は、所定の信号が入力され、前記複数の第１電極の各々は、前記基板の前記観察者側の面上に形成される第１部分と、前記絶縁膜上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、前記シールド用の第１導電体は、複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１の部分が形成されない第２開口部とを含み、前記第１部分は、前記第１開口部内に形成されている。
【０００８】
（２）前記（１）において、前記シールド用の第１導電体は、互いに交差する第１片及び第２片で構成されるメッシュ形状からなり、前記第１開口部及び第２開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第１片及び前記第２片によって形成される開口部である。
（３）前記（２）において、前記第２電極は、前記第１電極の前記第１部分と平面的に交差する第１部分と、前記第１部分に連なる第２部分とを有し、前記第１電極の前記第２部分は、平面形状が前記第１電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第２電極の前記第２部分は、平面形状が前記第２電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第１電極の前記第２部分と前記第２電極の第２部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、前記シールド用の第１導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片は、前記第１電極の第２部分及び前記第２電極の第２部分の互いに向かい合う各々の辺に沿って形成されている。
（４）前記（３）において、隣接する２つの前記第１電極の前記第１部分の間には、前記シールド用の第１導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片が、少なくとも１本配置されている。
（５）前記（１）において、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、前記複数の配線は、前記基板の前記観察者側の面上に形成され、前記絶縁膜上で前記複数の配線を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の第２導電体を有する。
（６）前記（１）乃至（５）の何れかにおいて、前記タッチパネルは、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有する。
（７）前記（６）において、前記タッチパネルは、前記保護膜上に形成されるフロントパネルを有する。
【０００９】
（８）表示パネルと、前記表示パネルの観察者側の面上に配置される静電容量結合方式のタッチパネルとを備え、前記タッチパネルは、基板と、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２の方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極と、前記複数の第１電極および前記複数の第２電極上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されるシールド用の導電体とを有するタッチパネル付き表示装置であって、前記シールド用の導電体は、所定の信号が入力され、前記複数の第１電極の各々は、前記絶縁膜上に形成される第１部分と、前記基板の前記表示パネル側の面上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、前記シールド用の導電体は、複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１部分が形成されない第２開口部とを含み、前記第１部分は、前記第１開口部内に形成されている。
【００１０】
（９）前記（８）において、前記シールド用の導電体は、互いに交差する第１片及び第２片で構成されるメッシュ形状からなり、前記第１開口部及び第２開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第１片及び前記第２片によって形成される開口部である。
（１０）前記（９）において、前記第２電極は、前記第１電極の前記第１の部分と平面的に交差する第１部分と、前記第１部分に連なる第２部分とを有し、前記第１電極の前記第２部分は、平面形状が前記第１電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第２電極の前記第２部分は、平面形状が前記第２電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第１電極の前記第２部分と前記第２電極の第２部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、前記シールド用の導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片は、前記第１電極の第２部分及び前記第２電極の第２部分の互いに向かい合う各々の辺に沿う形状で形成されている。
（１１）前記（１０）において、隣接する２つの前記第１電極の前記第１部分の間には、前記シールド用の導電体の前記第１片及び前記第２片が、少なくとも１本配置されている。
（１２）前記（８）において、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、前記複数の配線は、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、シールド用の導電体は、前記複数の配線を覆うように形成されている。
（１３）前記（８）乃至（１２）の何れかにおいて、前記タッチパネルは、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有する。
（１４）前記（１）乃至（１３）の何れかにおいて、前記複数の第１電極および前記複数の第２電極は、透明導電膜で構成されている。
【発明の効果】
【００１１】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
本発明によれば、静電容量結合方式のタッチパネルにおいて、特性低下の抑制及び低コスト化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例１のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。
【図２】図１の一部を拡大した平面図である。
【図３】図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＡ−Ａ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。
【図４】図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＢ−Ｂ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。
【図５】図１のタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図である。
【図６】本発明の実施例１のタッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の実施例１の変形例であるタッチパネルの断面構造を示す断面図である。
【図８】本発明の実施例２のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。
【図９】図８の一部を拡大した平面図である。
【図１０】図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＤ−Ｄ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。
【図１１】図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＥ−Ｅ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。
【図１２】本発明の実施例２のタッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明の実施例３のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。
【図１４】図１３のシールド用の導体パターンを示す平面図である。
【図１５】本発明の実施例４であるタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図である。
【図１６】従来の静電容量結合方式のタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。
【図１７】図１６のＦ−Ｆ’線に沿った断面構造を示す断面図である。
【図１８】図１６のＧ−Ｇ’線に沿った断面構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。なお、発明の実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【００１４】
〔実施例１〕
本実施例１では、表示パネルの一例として例えば液晶表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に本発明を適用した例について説明する。
図１乃至図６は本発明の実施例１のタッチパネル付き表示装置に係る図であり、
図１は、タッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図２は、図１の一部を拡大した平面図、
図３は、図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＡ−Ａ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図４は、図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＢ−Ｂ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図５は、図１のタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図、
図６は、タッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図、
なお、図６において、タッチパネル２０は、図１のＣ−Ｃ’線に沿った断面構造を示している。
【００１５】
本実施例１のタッチパネル付き表示装置は、図６に示すように、液晶表示パネル３０と、液晶液示パネル３０の観察者側の面上に配置された静電容量結合方式のタッチパネル２０と、液晶表示パネル３０の観察者側とは反対側の面下に配置されたバックライト４０とを備えている。液晶表示パネル３０としては、例えばＩＰＳ方式、ＴＮ方式、ＶＡ方式等の液晶表示パネルが用いられている。液晶表示パネル３０は、複数の画素がマトリクス状に配置された表示領域と、この表示領域の周囲に配置された非表示領域とを有している。複数の画素の各々は、画素電極及び対向電極を有している。非表示領域には、ブラックマトリクスなどの遮光膜が設けられている。
タッチパネル２０は、図１乃至図４に示すように、基板１１の観察者側の面上において、各々が第１の方向（例えばＸ方向）に延在し、各々が前記第１の方向と交差する第２の方向（例えばＹ方向）に所定の配列ピッチで並設される複数の電極１Ｘと、各々が複数の電極１Ｘと交差して前記第２の方向に延在し、各々が前記第１の方向に所定の配列ピッチで並設される複数の電極２Ｙとを有している。
複数の電極２Ｙの各々は、第１部分２ａと、この第１部分２ａの幅よりも広い幅の第２部分２ｂとが前記第２の方向に交互に複数配置された電極パターンで形成されている。複数の電極２Ｙの各々は、基板１１の観察者側の面上に絶縁膜１２を介して配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。基板１１としては、例えばガラス等の透明な絶縁性基板が用いられている。
【００１６】
複数の電極１Ｘの各々は、第１部分１ａと、この第１部分１ａの幅よりも広い幅の第２部分１ｂとが前記第１の方向に交互に複数配置された電極パターンで形成されている。複数の電極１Ｘの各々の第１の部分１ａは、電極２Ｙとは異なる導電層に形成され、電極２Ｙの第１部分２ａと平面的に交差している。複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂは、電極２Ｙと同層の導電層に電極２Ｙとは分離して形成されている。本実施例１において、電極１Ｘの第１部分１ａは、基板１１側から見て電極２Ｙよりも下層に形成されている。
複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂは、電極２Ｙと同様に、基板１１の観察者側の面上に絶縁膜１２を介して配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。複数の電極１Ｘの各々の第１部分１ａは、基板１１の観察者側の面上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。
電極１Ｘの第１部分１ａは、電極２Ｙの第１部分２ａと平面的に交差し、この第１部分２ａを挟んで隣り合う２つの第２部分１ｂに、電極１Ｘの第１部分１ａと電極２Ｙとの間の層間絶縁膜である絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介してそれぞれ電気的にかつ機械的に接続されている。
即ち、複数の電極１Ｘの各々は、電極２Ｙとは異なる導電層に形成され、電極２Ｙと交差する第１部分１ａと、電極２Ｙとは分離して電極２Ｙと同層の導電層に形成される第２部分１ｂとを有し、電極１Ｘの第１部分１ａは、この第１部分１ａと電極２Ｙとの間の絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介して電極１Ｘの第２部分１ｂと電気的に接続されている。
【００１７】
電極２Ｙの第２部分２ｂは、隣り合う２つの電極１Ｘにおいて、平面的に見たとき、各々の第１部分１ａの間に配置されている。電極１Ｘの第２部分１ｂは、隣り合う２つの電極２Ｙにおいて、平面的に見たとき、各々の第１部分２ａの間に配置されている。
即ち、電極２Ｙは、電極１Ｘ間に電極１Ｘと交差する部分（２ａ）の幅よりも広い幅の部分２ｂを有し、電極１Ｘは、電極２Ｙ間に電極２Ｙと交差する部分１ａの幅よりも広い幅の部分１ｂを有している。
タッチパネル２０は、平面的に見たとき、複数の電極２Ｙ及び１Ｘが配置された中央領域と、この中央領域の周囲に配置された周辺領域とを有している。タッチパネル２０の周辺領域には、図１に示すように、複数の電極２Ｙの各々と電気的に接続された複数の配線５、及び、複数の電極１Ｘの各々と電気的に接続された複数の配線５が配置されている。これら複数の配線５の各々は、複数の電極２Ｙ、複数の電極１Ｘの各々とタッチ位置制御回路とを電気的に接続する配線である。
【００１８】
タッチパネル２０の中央領域は、液晶表示パネル３０の表示領域に対応して配置され、タッチパネル２０の周辺領域は、液晶表示パネル３０の非表示領域に対応して配置されている。即ち、タッチパネル２０の複数の電極１Ｘ及び２Ｙは、液晶表示パネル３０の表示領域と対向する領域に配置され、複数の配線５は、液晶表示パネル３０の非表示領域と対向する領域に配置されている。
図３及び図４に示すように、複数の配線５の各々は、基板１１の観察者側の面（主面）上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。複数の配線５の各々は、各電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）の終端において、図３及び図４に示すように、絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ｂを介して、対応する電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）と電気的に接続されている。
複数の電極１Ｘ及び複数の電極２Ｙの各々は、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。複数の配線５の各々は、例えば導電性材料が異なる２層構造で構成されており、例えば電極１Ｘの第１部分１ａと同層の透明性導電膜（例えばＩＴＯ）と、この透明性導電膜上に形成され、この透明性導電膜よりも抵抗値が低い導電性金属膜との２層構造になっている。
【００１９】
タッチパネル２０は、図１乃至図５に示すように、シールド用の導電体３を有している。このシールド用の導電体３は、基板１１の観察者側の面（主面）上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。
シールド用の導電体３は、電極１Ｘの第１部分１ａと同層で形成され、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。複数の電極１Ｘの第１部分１ａとシールド用の導電体３は、同一の導電膜をパターンニングすることによって形成される。
【００２０】
シールド用の導電体３は、平面的に見たとき、複数の電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）を覆うようにしてタッチパネル２０の中央領域に配置されている。シールド用の導電体３は、図３乃至図５に示すように、複数の開口部４を有している。この複数の開口部４は、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが配置される開口部４ａと、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが配置されない開口部４ｂとを含み、電極１Ｘの第１部分１ａは、シールド用の導電体３の開口部４ａ内に形成されている。即ち、本実施例１のシールド用の導電体３は、電極１Ｘの第１部分１ａとは分離して電極１Ｘの第１部分１ａと同層の導電層で形成されている。
本実施例１において、シールド用の導電体３は、例えば、各々が第３の方向に延在し、各々が前記第３の方向と直交する第４の方向に所定のピッチで並設される複数の片３ａと、各々が前記第３の方向と交差する前記第４の方向に延在し、各々が前記第３の方向に所定のピッチで並設される複数の片３ｂとで構成されるメッシュ形状からなり、開口部４ａ及び開口部４ｂの各々は、メッシュ形状を構成する片３ａ及び片３ｂによって形成される開口部である。
本実施例１において、電極１Ｘ及び電極１Ｙの各々の第２部分（１ｂ，２ｂ）の平面形状は、図１及び図２に示すように、例えば、各々の第１部分（１ａ，２ａ）の幅よりも広い幅の方形状で形成され、電極１Ｘの第２部分１ｂと電極２Ｙの第２部分２ｂは、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向（例えばＸ方向）に対して鋭角を成す状態（傾斜した状態）で配置されており、これに伴ってシールド用の導電体３は、図５に示すように、メッシュ形状を構成する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが、電極１Ｘの第２部分１ｂ及び電極２Ｙの第２部分２ｂの互いに向かい合う各々の辺に沿う形状で形成されている。電極１Ｘの第２部分１ｂと電極２Ｙの第２部分２ｂは、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向（Ｘ方向）に対して例えば４５度の角度を成す状態（傾斜した状態）で配置され、メッシュ形状を構成する一方の片３ａは例えば第１の方向（Ｘ方向）に対して時計回りで４５度の角度をもって延在し、メッシュ形状を構成する他方の片３ｂは例えば第１の方向（Ｘ方向）に対して反時計回りで４５度の角度をもって延在している。
本実施例１において、シールド用の導電体３は、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間に、メッシュ形状を構成する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが１本配置される形状、換言すれば、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、メッシュ形状を構成する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが横切る形状になっている。
【００２１】
本実施例１のタッチパネル２０は、基板１１の観察者側の面と反対側の面が液晶表示パネル３０の観察者側の面と向かい合うようにして液晶表示パネル３０上に配置されており、シールド用の導電体３は、液晶表示パネル３０とタッチパネル２０の複数の電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）が配置された中央領域との間に配置されている。シールド用の導電体３は、所定の信号が入力され、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減している。本実施例１のシールド用の導電体３は、タッチパネル付き表示装置において使用される電源電位のうち、例えば基準電位（例えば０Ｖ）に電位固定される配線と電気的に接続されている。
【００２２】
タッチパネル２０は、図１乃至図４に示すように、シールド用の導電体３とは別にシールド用の導電体６を有している。このシールド用の導電体６は、絶縁膜１２上に配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。
シールド用の導電体６は、電極１Ｘの第２部分１ｂ及び電極２Ｙと同層に形成され、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。複数の電極１Ｘの第２部分１ｂ、複数の電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６は、同一の導電膜をパターンニングすることによって形成される。
シールド用の導電体６は、平面的に見たとき、複数の配線５を覆うようにしてタッチパネル２０の周辺領域に配置されている。シールド用の導電体６は、電極１Ｘの第２部分１ｂ及び電極２Ｙとは分離してこれらと同層の導電層で形成されている。
シールド用導電体６は、所定の信号が入力され、観察者側からタッチパネル２０へのノイズを低減している。本実施例１のシールド用の導電体６は、タッチパネル付き表示装置において使用される電源電位のうち、例えば基準電位（例えば０Ｖ）に電位固定される配線と電気的に接続されている。
なお、図６では、観察者の指５０と電極１Ｘとの間にＣ１，Ｃ３の容量が、観察者の指５０と電極２Ｙとの間にＣ２の容量が形成されていることを模式的に示している。本実施例のタッチパネル２０は、電極１Ｘと電極２Ｙとの結合容量の容量差を検出して、観察者の指５０がタッチした、タッチパネル２０のタッチ面内におけるタッチ位置座標を検出する。
【００２３】
次に、本実施例１のタッチパネル２０の製造方法について、図１乃至図５を参照して説明する。
まず、基板１１の観察者側の面上に、透明性導電材料（例えばＩＴＯ）からなる第１の透明性導電膜を形成する。
次に、例えばポジ型レジストを用いて前記第１の透明性導電膜上に、電極パターン、シールド用の導電体パターン、及び配線パターンを有する第１のマスクを形成し、その後、前記第１のマスクをエッチングマスクとして使用し、前記第１の透明性導電膜をエッチングすることにより、基板１１上に、電極１Ｘの第１部分１ａ、シールド用の導電体３、及び配線下層パターンを形成する。シールド用の導電体３は、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成される開口部４ａと、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成されない開口部４ｂとを含む複数の開口部４を有する形状で形成され、電極１Ｘの第１部分１ａは、シールド用の導電体３の開口部４内に形成される。
次に、前記第１のマスクを除去し、その後、前記配線下層パターン上に、例えば導電性金属材料からなる配線上層パターンを選択的に形成する。これにより、前記配線下層パターン及び前記配線上層パターンからなる２層構造の配線５が形成される。
次に、シールド用の導電体３上、電極１Ｘの第１部分１ａ上、及び配線５上を含む基板１１上に、例えばネガ型レジストからなる絶縁膜１２を形成する。この工程において、シールド用の導電体３、電極１Ｘの第１部分１ａ、及び配線５は絶縁膜１２で覆われる。
次に、絶縁膜１２の必要な部分にコンタクトホール１２ａ及びコンタクトホール１２ｂを形成し、その後、コンタクトホール１２ａ内及びコンタクトホール１２ｂ内を含む絶縁膜１２上に、透明性導電材料（例えばＩＴＯ）からなる第２の透明性導電膜を形成する。
【００２４】
次に、例えばポジ型レジストを用いて前記第２の透明性導電膜上に、電極パターン及びシールド用の導電体パターンを有する第２のマスクを形成し、その後、前記第２のマスクをエッチングマスクとして使用し、前記第２の導電膜をエッチングすることにより、絶縁膜１２上に、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６を形成する。この工程において、上層の第２部分１ｂは、コンタクトホール１２ａを介して下層の第１部分１ａと電気的にかつ機械的に接続される。また、下層の第１部分１ａは、上層の電極２Ｙ第１部分１ａと交差する。また、電極１Ｘ及び電極２Ｙは、各々の終端が、コンタクトホール１２ｂを介して、対応する下層の配線５と電気的にかつ機械的に接続される。
次に、前記第２のマスクを除去し、その後、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６上を含む絶縁膜１２上に、例えばネガ型レジストからなる保護膜１３を形成することにより、図１乃至図５に示す構造となる。この工程において、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６は保護膜１３で覆われる。
【００２５】
ところで、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１６乃至図１８に示すように、複数の電極１Ｘと複数の電極２Ｙとが絶縁膜１２を介してそれぞれ異なる導電層（下層と上層）に形成されている。このような電極構造の場合、絶縁膜１２及び上層の電極１Ｘ上に形成される保護膜１３は、上層の電極１Ｘにより膜に歪みが生じるため、加えて、反射光に対しては、下層と上層とで光路長が異なるため、下層の電極２Ｙと上層の電極１Ｘに色差が生じ、電極１Ｘ及び電極２Ｙの電極パターンが顕在化する。
これに対し、本実施例の静電容量結合方式のタッチパネル２０では、図１乃至図４に示すように、電極１Ｘは、電極２Ｙとは異なる層に電極２Ｙと交差するようにして形成される第１部分１ａと、電極２Ｙと同層に電極２Ｙとは分離して形成される第２部分１ｂとを有し、第１部分１ａは、第１部分１ａと電極２Ｙとの間の絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介して第２部分１ｂに接続されている。
このような電極構造の場合、保護膜１３に対して均一な成膜面を持たせることができるため、保護膜１３に生じる歪みを抑制でき、保護膜１３の歪みによる色差から生じる電極パターンの顕在化を抑えることができる。この結果、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制できるため、タッチパネル２０を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
また、色差の生じる部分を最小、即ち電極１Ｘの第１部分１ａのみとすることができるため、光路差による色差から生じる電極パターンの顕在化も抑えることができる。この結果、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制できるため、タッチパネル２０を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
【００２６】
また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１７及び図１８に示すように、基板１１の観察者側の面とは反対側の面にシールド用の導電体１５を設けている。このような構造の場合、透明性導電材料層として、電極１Ｘを形成するための透明導電性材料層層と電極２Ｙを形成するための透明性導電材料層に、シールド用の導電体１５を形成するための透明性導電材料層を加えた３つの透明性導電材料層が必要であり、低コスト化を阻害する要因となる。
これに対し、本実施例の静電容量結合方式のタッチパネル２０では、図１乃至図５に示すように、シールド用の導電体３は、電極１Ｘの第１部分１ａと同層の透明性導電膜で形成されている。また、シールド用の導電体３は、電極１Ｘの第１部分１ａが形成される領域に開口部４ａを有し、電極１Ｘの第１部分１ａは、シールド用の導電体３に形成された開口部４ａ内に形成されている。
このような電極構造とすることにより、電極１Ｘと、電極２Ｙと、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減するシールド用の導電体３とを２つの層の透明性導電材料層で構成することができ、従来のタッチパネルと比較して透明導電材料層に係る材料及びプロセスを省くことができるため、より安価にタッチパネルを製造することができる。これにより、タッチパネルを組み込むタッチパネル付き表示装置の低コスト化を図ることができる。
【００２７】
また、本実施例１のタッチパネル２０では、図１乃至図４に示すように、絶縁膜１２上で複数の配線５を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の導電体６を有している。本実施例ではシールド用の導電体に０Ｖを入力している。シールドに使用する導電体に入力する信号の種別は本発明の趣旨を規制するものではなく、他の信号でもよい。このシールド用の導電体６は、電極１Ｘの第１部分１ａ、及び電極２Ｙと同層の透明性導電層に形成されている。このような構造とすることにより、観察者側からタッチパネルへのノイズをシールド用の導電体６により低減できると共に、電極１Ｘと、電極２Ｙと、観察者側からタッチパネル２０へのノイズを低減するシールド用の導電体６とを２つの層の透明性導電材料層で構成することができるため、安価にタッチパネルを製造することができる。
【００２８】
ここで、本実施例１のように、基板１１と電極１Ｘ及び電極２Ｙとの間にシールド用の導電体３を設けることにより、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減することができるが、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との距離が数μｍ程度しかないため、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で容量が発生する。この容量は、静電容量方式のタッチパネルの動作に悪影響を及ぼす場合があるため、出来るだけ小さくすることが望ましい。
そこで、本実施例１のシールド用の導電体３は、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成される開口部４ａを有し、更にこの開口部４ａとは別に、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成されない開口部４ｂも有している。このような導電体構造とすることにより、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で発生する容量を低減できるため、信頼性が高く、ノイズ耐性に優れたタッチパネル付き表示装置を安価に提供することができる。
【００２９】
なお、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で発生する容量は、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成されない開口部４ｂの数及び大きさ、即ち単位面積当たりの非導電体領域を増加することによって小さくなるが、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で発生する容量と、導電体３によるシールド効果とは、トレードオフの関係にあるため、開口部４ｂの数及び大きさはシールド効果を考慮して決定することが望ましい。開口部４ｂの数及び大きさは、メッシュ形状を構成する一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）が隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を横切る本数（隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間に、メッシュ形状を構成する一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）を配置する本数）で規定することができるため、シールド用の導電体３としては、本実施例１のように、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、少なくとも互いに交差する一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）が１本ずつ横切るメッシュ形状（隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間に、互いに交差する一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）が少なくとも１本配置されるメッシュ形状）とすることが望ましい。
【００３０】
図７は、本発明の実施例１の変形例であるタッチパネルの断面構造を示す断面図である。
本変形例のタッチパネル２０は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、以下の構成が異なっている。
即ち、図７に示すように、本変形例のタッチパネル２０は、保護膜１３上に形成されるフロントパネル１４を有している。このようなタッチパネル２０においても、前述の実施例１と同様の効果が得られる。
【００３１】
［実施例２］
図８乃至図１２は、本発明の実施例２のタッチパネル付き表示装置に係る図であり、
図８は、タッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図９は、図８の一部を拡大した平面図、
図１０は、図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＤ−Ｄ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図１１は、図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＥ−Ｅ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図１２は、タッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。
【００３２】
本実施例２のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、以下の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例１では、図１乃至図４に示すように、下層の導電層に、電極１Ｘの第１部分１ａ、及びシールド用の導電体３が形成され、これよりも上層の導電層に、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６が形成された例について説明したが、本実施例２では、図８乃至図１１に示すように、下層の導電層に、電極１Ｘの第２部分１ｂ、及び電極２Ｙ（２ａ，２ｂ）が形成され、これよりも上層の導電層に、電極１Ｘの第１部分１ａ、及びシールド用の導電体３が形成されている。
複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂ、複数の電極２Ｙ、及び複数の配線５は、基板１１の主面上に形成され、これらの上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。複数の電極１Ｘの各々の第１部分１ａ、及びシールド用の導電体３は、絶縁膜１２上に形成され、これらの上層に形成された保護膜１３で覆われている。
電極１Ｘの第１部分１ａ（本実施例では上層）は、電極２Ｙの第１部分２ａと平面的に交差し、この第１部分２ａを挟んで隣り合う２つの第２部分１ｂ（本実施例では下層）に、電極１Ｘの第１部分１ａと電極２Ｙとの間の層間絶縁膜である絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介してそれぞれ電気的にかつ機械的に接続されている。
シールド用の導電体３は、複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂ、複数の電極２Ｙ、及び複数の配線５を覆うようにして、タッチパネル２０の中央領域及び周辺領域に形成されている。
【００３３】
本実施例２のタッチパネル２０は、図１２に示すように、基板１１の保護膜１３側の面が液晶表示パネル３０の観察者側の面と向かい合うようにして液晶表示パネル３０上に配置されており、シールド用の導電体３は、液晶表示パネル３０とタッチパネル２０の中央領域及び周辺領域との間に配置されている。シールド用の導電体３は、所定の信号が入力され、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減している。
本実施例２においても、保護膜１３の歪みによる色差から生じる電極パターンの顕在化、及び光路差による色差から生じる電極パターンの顕在化も抑えることができるため、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制でき、タッチパネル２０を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
また、電極１Ｘと、電極２Ｙと、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減するシールド用の導電体３とを２つの層の透明性導電材料層で構成することができ、従来のタッチパネルと比較して透明導電材料層に係る材料及びプロセスを省くことができるため、より安価にタッチパネルを製造することができる。これにより、タッチパネルを組み込むタッチパネル付き表示装置の低コスト化を図ることができる。
シールド用の導電体３は、本実施例２においても、前述の実施例１と同様に、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成される開口部４ａを有し、更にこの開口部４ａとは別に、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成されない開口部４ｂも有している。本実施例２においても、前述の実施例１と同様に、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で発生する容量を低減できるため、信頼性が高く、ノイズ耐性に優れたタッチパネル付き表示装置を安価に提供することができる。
【００３４】
［実施例３］
図１３及び図１４は、本発明の実施例３であるタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルに係る図であり、
図１３は、タッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図１４は、図１３のシールド用の導体パターンを示す平面図である。
本実施例３のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、シールド用の導電体３の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例１のシールド用の導電体３は、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、互いに交差する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが１本ずつ横切るメッシュ形状になっている。
これに対し、本実施例３のシールド用の導電体３は、図１３及び図１４に示すように、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、互いに交差する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが２本ずつ横切るメッシュ形状になっている。本実施例３において、一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）の各々の幅は、例えば２０μｍ程度であり、開口部４ａ及び４ｂの各々の幅は、例えば２００μｍ程度である。
このようにシールド用の導電体３が構成された本実施例３においても、前述の実施例１と同様の効果が得られる。
なお、本実施例３におけるシールド用の導電体３のメッシュ・パターン形状は、前述の実施例１の変形例及び実施例２においても適用できることは言うまでもない。
【００３５】
［実施例４］
図１５は、本発明の実施例４であるタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図である。
本実施例４のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、シールド用の導電体３の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例１のシールド用の導電体３は、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、互いに交差する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが横切るメッシュ形状になっている。
これに対し、本実施例４のシールド用の導電体３は、図１５に示すように、メッシュ形状ではなく、単純に複数の開口部４ａ及び開口部４ｂが点在するパターン形状になっている。
このようにシールド用の導電体３が構成された本実施例４においても、前述の実施例１と同様の効果が得られる。
なお、本実施例４におけるシールド用の導電体３のパターン形状は、前述の実施例１の変形例及び実施例２においても適用できることは言うまでもない。
【００３６】
なお、前述の実施例（１，２，３，４）及び変形例では、電極１Ｘの第１部分１ａ及び第２部分１ｂをそれぞれ異なる導電層で形成した例について説明したが、本発明は、電極２Ｙの第１部分２ａ及び第２部分２ｂをそれぞれ異なる導電層で構成した場合も含むことは言うまでもない。
また、前述の実施例（１，２，３，４）及び変形例では表示パネルの一例として液晶表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、有機ＥＬ表示パネルや無機ＥＬ表示パネル等の他の表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に適用することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００３７】
１Ｘ 電極
１ａ 第１部分
１ｂ 第２部分
２Ｙ 電極
２ａ 第１部分
２ｂ 第２部分
３ シールド用の導電体
３ａ，３ｂ 片
４，４ａ，４ｂ 開口部
５ 配線
６ シールド用の導電体
１１ 基板
１２ 絶縁膜
１２ａ，１２ｂ コンタクトホール
１３ 保護膜
１４ フロントパネル
１５ シールド用の導電体
２０ タッチパネル
３０ 液晶表示パネル
４０ バックライト
【技術分野】
【０００１】
本発明は、タッチパネル付き表示装置に係り、特に、静電容量結合方式のタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に関するものである。
【背景技術】
【０００２】
タッチパネルの主な方式として、光の変化を検出する方式と、電気的な特性の変化を検出する方式とが知られている。また、電気的な特性の変化を検出する方式として、静電容量結合方式が知られている。（下記、特許文献１、特許文献２参照）
図１６乃至図１８は従来の静電容量結合方式のタッチパネルに係る図であり、図１６は電極パターンを示す平面図、図１７は図１６のＦ−Ｆ’線に沿った断面構造を示す断面図、図１８は図１６のＧ−Ｇ’線に沿った断面構造を示す断面図である。
従来の静電容量結合方式のタッチパネルは、図１６乃至図１８に示すように、第１の方向（例えばＸ方向）に延在し、前記第１の方向と交差する第２の方向（例えばＹ方向）に並設される複数の電極１Ｘと、この電極１Ｘと交差して前記第２の方向に延在し、前記第１の方向に並設される複数の電極２Ｙとを有している。複数の電極２Ｙは、基板１１上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。複数の電極１Ｘは、絶縁膜１２上に配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。電極１Ｘ及び２Ｙは、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。
また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルは、図１７及び図１８に示すように、基板１１の観察者側とは反対側の面に面状のシールド用の導電体１５を有している。このシールド用の導電体１５は、所定の信号が入力され、表示パネルからタッチパネルへのノイズを低減している。シールド用の導電体１５は、例えばＩＴＯ等の透明性導電膜で形成されている。
【０００３】
なお、本願発明に関連する先行技術文献としては以下のものがある。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００８−６５７４８号公報
【特許文献２】特願２００７−１７５０５０号
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１６乃至図１８に示すように、複数の電極１Ｘと複数の電極２Ｙとが絶縁膜１２を介してそれぞれ異なる導電層（下層と上層）に形成されている。このような電極構造の場合、絶縁膜１２及び上層の電極１Ｘ上に形成される保護膜１３は、上層の電極１Ｘにより膜に歪みが生じるため、加えて、反射光に対しては、下層と上層とで光路長が異なるため、下層の電極１Ｘと上層の電極２Ｙに色差が生じ、電極１Ｘ及び電極２Ｙの電極パターンが顕在化する。このような電極パターンの顕在化は、光学特性の悪化を招き、タッチパネルを組み込んだ表示装置の特性低下を引き起こす要因となるため、対策が必要である。
【０００６】
また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１７及び図１８に示すように、基板１１の観察者側の面（主面）とは反対側の面（裏面）にシールド用の導電体１５を設けている。このような構造の場合、透明性導電材料層として、電極１Ｘを形成するための透明導電性材料層層と電極２Ｙを形成するための透明性導電材料層に、シールド用の導電体１５を形成するための透明性導電材料層を加えた３つの透明性導電材料層が必要であり、低コスト化を阻害する要因となる。
そこで、本発明者は、電極１Ｘ、電極２Ｙ、シールド用の導電体１５の３つの透明性導電材料層に着目し、本発明をなした。
本発明の目的は、静電容量結合方式のタッチパネルにおいて、特性低下の抑制及び低コスト化を図ることが可能な技術を提供することにある。
本発明の前記並びにその他の目的と新規な特徴は、本明細書の記述及び添付図面によって明らかになるであろう。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
（１）表示パネルと、前記表示パネルの観察者側の面上に配置される静電容量結合方式のタッチパネルとを備え、前記タッチパネルは、基板と、前記基板の前記観察者側の面上に形成されるシールド用の第１導電体と、前記シールド用の第１導電体上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、前記絶縁膜上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極とを有するタッチパネル付き表示装置であって、前記シールド用の第１導電体は、所定の信号が入力され、前記複数の第１電極の各々は、前記基板の前記観察者側の面上に形成される第１部分と、前記絶縁膜上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、前記シールド用の第１導電体は、複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１の部分が形成されない第２開口部とを含み、前記第１部分は、前記第１開口部内に形成されている。
【０００８】
（２）前記（１）において、前記シールド用の第１導電体は、互いに交差する第１片及び第２片で構成されるメッシュ形状からなり、前記第１開口部及び第２開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第１片及び前記第２片によって形成される開口部である。
（３）前記（２）において、前記第２電極は、前記第１電極の前記第１部分と平面的に交差する第１部分と、前記第１部分に連なる第２部分とを有し、前記第１電極の前記第２部分は、平面形状が前記第１電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第２電極の前記第２部分は、平面形状が前記第２電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第１電極の前記第２部分と前記第２電極の第２部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、前記シールド用の第１導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片は、前記第１電極の第２部分及び前記第２電極の第２部分の互いに向かい合う各々の辺に沿って形成されている。
（４）前記（３）において、隣接する２つの前記第１電極の前記第１部分の間には、前記シールド用の第１導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片が、少なくとも１本配置されている。
（５）前記（１）において、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、前記複数の配線は、前記基板の前記観察者側の面上に形成され、前記絶縁膜上で前記複数の配線を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の第２導電体を有する。
（６）前記（１）乃至（５）の何れかにおいて、前記タッチパネルは、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有する。
（７）前記（６）において、前記タッチパネルは、前記保護膜上に形成されるフロントパネルを有する。
【０００９】
（８）表示パネルと、前記表示パネルの観察者側の面上に配置される静電容量結合方式のタッチパネルとを備え、前記タッチパネルは、基板と、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２の方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極と、前記複数の第１電極および前記複数の第２電極上に形成される絶縁膜と、前記絶縁膜上に形成されるシールド用の導電体とを有するタッチパネル付き表示装置であって、前記シールド用の導電体は、所定の信号が入力され、前記複数の第１電極の各々は、前記絶縁膜上に形成される第１部分と、前記基板の前記表示パネル側の面上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、前記シールド用の導電体は、複数の開口部を有し、前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１部分が形成されない第２開口部とを含み、前記第１部分は、前記第１開口部内に形成されている。
【００１０】
（９）前記（８）において、前記シールド用の導電体は、互いに交差する第１片及び第２片で構成されるメッシュ形状からなり、前記第１開口部及び第２開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第１片及び前記第２片によって形成される開口部である。
（１０）前記（９）において、前記第２電極は、前記第１電極の前記第１の部分と平面的に交差する第１部分と、前記第１部分に連なる第２部分とを有し、前記第１電極の前記第２部分は、平面形状が前記第１電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第２電極の前記第２部分は、平面形状が前記第２電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、前記第１電極の前記第２部分と前記第２電極の第２部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、前記シールド用の導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片は、前記第１電極の第２部分及び前記第２電極の第２部分の互いに向かい合う各々の辺に沿う形状で形成されている。
（１１）前記（１０）において、隣接する２つの前記第１電極の前記第１部分の間には、前記シールド用の導電体の前記第１片及び前記第２片が、少なくとも１本配置されている。
（１２）前記（８）において、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、前記複数の配線は、前記基板の前記表示パネル側の面上に形成され、シールド用の導電体は、前記複数の配線を覆うように形成されている。
（１３）前記（８）乃至（１２）の何れかにおいて、前記タッチパネルは、前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有する。
（１４）前記（１）乃至（１３）の何れかにおいて、前記複数の第１電極および前記複数の第２電極は、透明導電膜で構成されている。
【発明の効果】
【００１１】
本願において開示される発明のうち代表的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下記のとおりである。
本発明によれば、静電容量結合方式のタッチパネルにおいて、特性低下の抑制及び低コスト化を図ることが可能となる。
【図面の簡単な説明】
【００１２】
【図１】本発明の実施例１のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。
【図２】図１の一部を拡大した平面図である。
【図３】図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＡ−Ａ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。
【図４】図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＢ−Ｂ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。
【図５】図１のタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図である。
【図６】本発明の実施例１のタッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。
【図７】本発明の実施例１の変形例であるタッチパネルの断面構造を示す断面図である。
【図８】本発明の実施例２のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。
【図９】図８の一部を拡大した平面図である。
【図１０】図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＤ−Ｄ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。
【図１１】図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＥ−Ｅ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）である。
【図１２】本発明の実施例２のタッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。
【図１３】本発明の実施例３のタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。
【図１４】図１３のシールド用の導体パターンを示す平面図である。
【図１５】本発明の実施例４であるタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図である。
【図１６】従来の静電容量結合方式のタッチパネルの電極パターンを示す平面図である。
【図１７】図１６のＦ−Ｆ’線に沿った断面構造を示す断面図である。
【図１８】図１６のＧ−Ｇ’線に沿った断面構造を示す断面図である。
【発明を実施するための形態】
【００１３】
以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細に説明する。なお、発明の実施例を説明するための全図において、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り返しの説明は省略する。
【００１４】
〔実施例１〕
本実施例１では、表示パネルの一例として例えば液晶表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に本発明を適用した例について説明する。
図１乃至図６は本発明の実施例１のタッチパネル付き表示装置に係る図であり、
図１は、タッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図２は、図１の一部を拡大した平面図、
図３は、図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＡ−Ａ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図４は、図１のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図１のＢ−Ｂ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図５は、図１のタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図、
図６は、タッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図、
なお、図６において、タッチパネル２０は、図１のＣ−Ｃ’線に沿った断面構造を示している。
【００１５】
本実施例１のタッチパネル付き表示装置は、図６に示すように、液晶表示パネル３０と、液晶液示パネル３０の観察者側の面上に配置された静電容量結合方式のタッチパネル２０と、液晶表示パネル３０の観察者側とは反対側の面下に配置されたバックライト４０とを備えている。液晶表示パネル３０としては、例えばＩＰＳ方式、ＴＮ方式、ＶＡ方式等の液晶表示パネルが用いられている。液晶表示パネル３０は、複数の画素がマトリクス状に配置された表示領域と、この表示領域の周囲に配置された非表示領域とを有している。複数の画素の各々は、画素電極及び対向電極を有している。非表示領域には、ブラックマトリクスなどの遮光膜が設けられている。
タッチパネル２０は、図１乃至図４に示すように、基板１１の観察者側の面上において、各々が第１の方向（例えばＸ方向）に延在し、各々が前記第１の方向と交差する第２の方向（例えばＹ方向）に所定の配列ピッチで並設される複数の電極１Ｘと、各々が複数の電極１Ｘと交差して前記第２の方向に延在し、各々が前記第１の方向に所定の配列ピッチで並設される複数の電極２Ｙとを有している。
複数の電極２Ｙの各々は、第１部分２ａと、この第１部分２ａの幅よりも広い幅の第２部分２ｂとが前記第２の方向に交互に複数配置された電極パターンで形成されている。複数の電極２Ｙの各々は、基板１１の観察者側の面上に絶縁膜１２を介して配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。基板１１としては、例えばガラス等の透明な絶縁性基板が用いられている。
【００１６】
複数の電極１Ｘの各々は、第１部分１ａと、この第１部分１ａの幅よりも広い幅の第２部分１ｂとが前記第１の方向に交互に複数配置された電極パターンで形成されている。複数の電極１Ｘの各々の第１の部分１ａは、電極２Ｙとは異なる導電層に形成され、電極２Ｙの第１部分２ａと平面的に交差している。複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂは、電極２Ｙと同層の導電層に電極２Ｙとは分離して形成されている。本実施例１において、電極１Ｘの第１部分１ａは、基板１１側から見て電極２Ｙよりも下層に形成されている。
複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂは、電極２Ｙと同様に、基板１１の観察者側の面上に絶縁膜１２を介して配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。複数の電極１Ｘの各々の第１部分１ａは、基板１１の観察者側の面上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。
電極１Ｘの第１部分１ａは、電極２Ｙの第１部分２ａと平面的に交差し、この第１部分２ａを挟んで隣り合う２つの第２部分１ｂに、電極１Ｘの第１部分１ａと電極２Ｙとの間の層間絶縁膜である絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介してそれぞれ電気的にかつ機械的に接続されている。
即ち、複数の電極１Ｘの各々は、電極２Ｙとは異なる導電層に形成され、電極２Ｙと交差する第１部分１ａと、電極２Ｙとは分離して電極２Ｙと同層の導電層に形成される第２部分１ｂとを有し、電極１Ｘの第１部分１ａは、この第１部分１ａと電極２Ｙとの間の絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介して電極１Ｘの第２部分１ｂと電気的に接続されている。
【００１７】
電極２Ｙの第２部分２ｂは、隣り合う２つの電極１Ｘにおいて、平面的に見たとき、各々の第１部分１ａの間に配置されている。電極１Ｘの第２部分１ｂは、隣り合う２つの電極２Ｙにおいて、平面的に見たとき、各々の第１部分２ａの間に配置されている。
即ち、電極２Ｙは、電極１Ｘ間に電極１Ｘと交差する部分（２ａ）の幅よりも広い幅の部分２ｂを有し、電極１Ｘは、電極２Ｙ間に電極２Ｙと交差する部分１ａの幅よりも広い幅の部分１ｂを有している。
タッチパネル２０は、平面的に見たとき、複数の電極２Ｙ及び１Ｘが配置された中央領域と、この中央領域の周囲に配置された周辺領域とを有している。タッチパネル２０の周辺領域には、図１に示すように、複数の電極２Ｙの各々と電気的に接続された複数の配線５、及び、複数の電極１Ｘの各々と電気的に接続された複数の配線５が配置されている。これら複数の配線５の各々は、複数の電極２Ｙ、複数の電極１Ｘの各々とタッチ位置制御回路とを電気的に接続する配線である。
【００１８】
タッチパネル２０の中央領域は、液晶表示パネル３０の表示領域に対応して配置され、タッチパネル２０の周辺領域は、液晶表示パネル３０の非表示領域に対応して配置されている。即ち、タッチパネル２０の複数の電極１Ｘ及び２Ｙは、液晶表示パネル３０の表示領域と対向する領域に配置され、複数の配線５は、液晶表示パネル３０の非表示領域と対向する領域に配置されている。
図３及び図４に示すように、複数の配線５の各々は、基板１１の観察者側の面（主面）上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。複数の配線５の各々は、各電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）の終端において、図３及び図４に示すように、絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ｂを介して、対応する電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）と電気的に接続されている。
複数の電極１Ｘ及び複数の電極２Ｙの各々は、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。複数の配線５の各々は、例えば導電性材料が異なる２層構造で構成されており、例えば電極１Ｘの第１部分１ａと同層の透明性導電膜（例えばＩＴＯ）と、この透明性導電膜上に形成され、この透明性導電膜よりも抵抗値が低い導電性金属膜との２層構造になっている。
【００１９】
タッチパネル２０は、図１乃至図５に示すように、シールド用の導電体３を有している。このシールド用の導電体３は、基板１１の観察者側の面（主面）上に配置され、その上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。
シールド用の導電体３は、電極１Ｘの第１部分１ａと同層で形成され、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。複数の電極１Ｘの第１部分１ａとシールド用の導電体３は、同一の導電膜をパターンニングすることによって形成される。
【００２０】
シールド用の導電体３は、平面的に見たとき、複数の電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）を覆うようにしてタッチパネル２０の中央領域に配置されている。シールド用の導電体３は、図３乃至図５に示すように、複数の開口部４を有している。この複数の開口部４は、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが配置される開口部４ａと、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが配置されない開口部４ｂとを含み、電極１Ｘの第１部分１ａは、シールド用の導電体３の開口部４ａ内に形成されている。即ち、本実施例１のシールド用の導電体３は、電極１Ｘの第１部分１ａとは分離して電極１Ｘの第１部分１ａと同層の導電層で形成されている。
本実施例１において、シールド用の導電体３は、例えば、各々が第３の方向に延在し、各々が前記第３の方向と直交する第４の方向に所定のピッチで並設される複数の片３ａと、各々が前記第３の方向と交差する前記第４の方向に延在し、各々が前記第３の方向に所定のピッチで並設される複数の片３ｂとで構成されるメッシュ形状からなり、開口部４ａ及び開口部４ｂの各々は、メッシュ形状を構成する片３ａ及び片３ｂによって形成される開口部である。
本実施例１において、電極１Ｘ及び電極１Ｙの各々の第２部分（１ｂ，２ｂ）の平面形状は、図１及び図２に示すように、例えば、各々の第１部分（１ａ，２ａ）の幅よりも広い幅の方形状で形成され、電極１Ｘの第２部分１ｂと電極２Ｙの第２部分２ｂは、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向（例えばＸ方向）に対して鋭角を成す状態（傾斜した状態）で配置されており、これに伴ってシールド用の導電体３は、図５に示すように、メッシュ形状を構成する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが、電極１Ｘの第２部分１ｂ及び電極２Ｙの第２部分２ｂの互いに向かい合う各々の辺に沿う形状で形成されている。電極１Ｘの第２部分１ｂと電極２Ｙの第２部分２ｂは、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向（Ｘ方向）に対して例えば４５度の角度を成す状態（傾斜した状態）で配置され、メッシュ形状を構成する一方の片３ａは例えば第１の方向（Ｘ方向）に対して時計回りで４５度の角度をもって延在し、メッシュ形状を構成する他方の片３ｂは例えば第１の方向（Ｘ方向）に対して反時計回りで４５度の角度をもって延在している。
本実施例１において、シールド用の導電体３は、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間に、メッシュ形状を構成する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが１本配置される形状、換言すれば、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、メッシュ形状を構成する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが横切る形状になっている。
【００２１】
本実施例１のタッチパネル２０は、基板１１の観察者側の面と反対側の面が液晶表示パネル３０の観察者側の面と向かい合うようにして液晶表示パネル３０上に配置されており、シールド用の導電体３は、液晶表示パネル３０とタッチパネル２０の複数の電極（電極１Ｘ，電極２Ｙ）が配置された中央領域との間に配置されている。シールド用の導電体３は、所定の信号が入力され、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減している。本実施例１のシールド用の導電体３は、タッチパネル付き表示装置において使用される電源電位のうち、例えば基準電位（例えば０Ｖ）に電位固定される配線と電気的に接続されている。
【００２２】
タッチパネル２０は、図１乃至図４に示すように、シールド用の導電体３とは別にシールド用の導電体６を有している。このシールド用の導電体６は、絶縁膜１２上に配置され、その上層に形成された保護膜１３で覆われている。
シールド用の導電体６は、電極１Ｘの第２部分１ｂ及び電極２Ｙと同層に形成され、高い透過性を有する材料、例えばＩＴＯ（Ｉndium Ｔin Ｏxide）等の透明性導電材料で形成されている。複数の電極１Ｘの第２部分１ｂ、複数の電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６は、同一の導電膜をパターンニングすることによって形成される。
シールド用の導電体６は、平面的に見たとき、複数の配線５を覆うようにしてタッチパネル２０の周辺領域に配置されている。シールド用の導電体６は、電極１Ｘの第２部分１ｂ及び電極２Ｙとは分離してこれらと同層の導電層で形成されている。
シールド用導電体６は、所定の信号が入力され、観察者側からタッチパネル２０へのノイズを低減している。本実施例１のシールド用の導電体６は、タッチパネル付き表示装置において使用される電源電位のうち、例えば基準電位（例えば０Ｖ）に電位固定される配線と電気的に接続されている。
なお、図６では、観察者の指５０と電極１Ｘとの間にＣ１，Ｃ３の容量が、観察者の指５０と電極２Ｙとの間にＣ２の容量が形成されていることを模式的に示している。本実施例のタッチパネル２０は、電極１Ｘと電極２Ｙとの結合容量の容量差を検出して、観察者の指５０がタッチした、タッチパネル２０のタッチ面内におけるタッチ位置座標を検出する。
【００２３】
次に、本実施例１のタッチパネル２０の製造方法について、図１乃至図５を参照して説明する。
まず、基板１１の観察者側の面上に、透明性導電材料（例えばＩＴＯ）からなる第１の透明性導電膜を形成する。
次に、例えばポジ型レジストを用いて前記第１の透明性導電膜上に、電極パターン、シールド用の導電体パターン、及び配線パターンを有する第１のマスクを形成し、その後、前記第１のマスクをエッチングマスクとして使用し、前記第１の透明性導電膜をエッチングすることにより、基板１１上に、電極１Ｘの第１部分１ａ、シールド用の導電体３、及び配線下層パターンを形成する。シールド用の導電体３は、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成される開口部４ａと、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成されない開口部４ｂとを含む複数の開口部４を有する形状で形成され、電極１Ｘの第１部分１ａは、シールド用の導電体３の開口部４内に形成される。
次に、前記第１のマスクを除去し、その後、前記配線下層パターン上に、例えば導電性金属材料からなる配線上層パターンを選択的に形成する。これにより、前記配線下層パターン及び前記配線上層パターンからなる２層構造の配線５が形成される。
次に、シールド用の導電体３上、電極１Ｘの第１部分１ａ上、及び配線５上を含む基板１１上に、例えばネガ型レジストからなる絶縁膜１２を形成する。この工程において、シールド用の導電体３、電極１Ｘの第１部分１ａ、及び配線５は絶縁膜１２で覆われる。
次に、絶縁膜１２の必要な部分にコンタクトホール１２ａ及びコンタクトホール１２ｂを形成し、その後、コンタクトホール１２ａ内及びコンタクトホール１２ｂ内を含む絶縁膜１２上に、透明性導電材料（例えばＩＴＯ）からなる第２の透明性導電膜を形成する。
【００２４】
次に、例えばポジ型レジストを用いて前記第２の透明性導電膜上に、電極パターン及びシールド用の導電体パターンを有する第２のマスクを形成し、その後、前記第２のマスクをエッチングマスクとして使用し、前記第２の導電膜をエッチングすることにより、絶縁膜１２上に、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６を形成する。この工程において、上層の第２部分１ｂは、コンタクトホール１２ａを介して下層の第１部分１ａと電気的にかつ機械的に接続される。また、下層の第１部分１ａは、上層の電極２Ｙ第１部分１ａと交差する。また、電極１Ｘ及び電極２Ｙは、各々の終端が、コンタクトホール１２ｂを介して、対応する下層の配線５と電気的にかつ機械的に接続される。
次に、前記第２のマスクを除去し、その後、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６上を含む絶縁膜１２上に、例えばネガ型レジストからなる保護膜１３を形成することにより、図１乃至図５に示す構造となる。この工程において、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６は保護膜１３で覆われる。
【００２５】
ところで、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１６乃至図１８に示すように、複数の電極１Ｘと複数の電極２Ｙとが絶縁膜１２を介してそれぞれ異なる導電層（下層と上層）に形成されている。このような電極構造の場合、絶縁膜１２及び上層の電極１Ｘ上に形成される保護膜１３は、上層の電極１Ｘにより膜に歪みが生じるため、加えて、反射光に対しては、下層と上層とで光路長が異なるため、下層の電極２Ｙと上層の電極１Ｘに色差が生じ、電極１Ｘ及び電極２Ｙの電極パターンが顕在化する。
これに対し、本実施例の静電容量結合方式のタッチパネル２０では、図１乃至図４に示すように、電極１Ｘは、電極２Ｙとは異なる層に電極２Ｙと交差するようにして形成される第１部分１ａと、電極２Ｙと同層に電極２Ｙとは分離して形成される第２部分１ｂとを有し、第１部分１ａは、第１部分１ａと電極２Ｙとの間の絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介して第２部分１ｂに接続されている。
このような電極構造の場合、保護膜１３に対して均一な成膜面を持たせることができるため、保護膜１３に生じる歪みを抑制でき、保護膜１３の歪みによる色差から生じる電極パターンの顕在化を抑えることができる。この結果、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制できるため、タッチパネル２０を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
また、色差の生じる部分を最小、即ち電極１Ｘの第１部分１ａのみとすることができるため、光路差による色差から生じる電極パターンの顕在化も抑えることができる。この結果、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制できるため、タッチパネル２０を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
【００２６】
また、従来の静電容量結合方式のタッチパネルでは、図１７及び図１８に示すように、基板１１の観察者側の面とは反対側の面にシールド用の導電体１５を設けている。このような構造の場合、透明性導電材料層として、電極１Ｘを形成するための透明導電性材料層層と電極２Ｙを形成するための透明性導電材料層に、シールド用の導電体１５を形成するための透明性導電材料層を加えた３つの透明性導電材料層が必要であり、低コスト化を阻害する要因となる。
これに対し、本実施例の静電容量結合方式のタッチパネル２０では、図１乃至図５に示すように、シールド用の導電体３は、電極１Ｘの第１部分１ａと同層の透明性導電膜で形成されている。また、シールド用の導電体３は、電極１Ｘの第１部分１ａが形成される領域に開口部４ａを有し、電極１Ｘの第１部分１ａは、シールド用の導電体３に形成された開口部４ａ内に形成されている。
このような電極構造とすることにより、電極１Ｘと、電極２Ｙと、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減するシールド用の導電体３とを２つの層の透明性導電材料層で構成することができ、従来のタッチパネルと比較して透明導電材料層に係る材料及びプロセスを省くことができるため、より安価にタッチパネルを製造することができる。これにより、タッチパネルを組み込むタッチパネル付き表示装置の低コスト化を図ることができる。
【００２７】
また、本実施例１のタッチパネル２０では、図１乃至図４に示すように、絶縁膜１２上で複数の配線５を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の導電体６を有している。本実施例ではシールド用の導電体に０Ｖを入力している。シールドに使用する導電体に入力する信号の種別は本発明の趣旨を規制するものではなく、他の信号でもよい。このシールド用の導電体６は、電極１Ｘの第１部分１ａ、及び電極２Ｙと同層の透明性導電層に形成されている。このような構造とすることにより、観察者側からタッチパネルへのノイズをシールド用の導電体６により低減できると共に、電極１Ｘと、電極２Ｙと、観察者側からタッチパネル２０へのノイズを低減するシールド用の導電体６とを２つの層の透明性導電材料層で構成することができるため、安価にタッチパネルを製造することができる。
【００２８】
ここで、本実施例１のように、基板１１と電極１Ｘ及び電極２Ｙとの間にシールド用の導電体３を設けることにより、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減することができるが、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との距離が数μｍ程度しかないため、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で容量が発生する。この容量は、静電容量方式のタッチパネルの動作に悪影響を及ぼす場合があるため、出来るだけ小さくすることが望ましい。
そこで、本実施例１のシールド用の導電体３は、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成される開口部４ａを有し、更にこの開口部４ａとは別に、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成されない開口部４ｂも有している。このような導電体構造とすることにより、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で発生する容量を低減できるため、信頼性が高く、ノイズ耐性に優れたタッチパネル付き表示装置を安価に提供することができる。
【００２９】
なお、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で発生する容量は、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成されない開口部４ｂの数及び大きさ、即ち単位面積当たりの非導電体領域を増加することによって小さくなるが、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で発生する容量と、導電体３によるシールド効果とは、トレードオフの関係にあるため、開口部４ｂの数及び大きさはシールド効果を考慮して決定することが望ましい。開口部４ｂの数及び大きさは、メッシュ形状を構成する一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）が隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を横切る本数（隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間に、メッシュ形状を構成する一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）を配置する本数）で規定することができるため、シールド用の導電体３としては、本実施例１のように、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、少なくとも互いに交差する一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）が１本ずつ横切るメッシュ形状（隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間に、互いに交差する一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）が少なくとも１本配置されるメッシュ形状）とすることが望ましい。
【００３０】
図７は、本発明の実施例１の変形例であるタッチパネルの断面構造を示す断面図である。
本変形例のタッチパネル２０は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、以下の構成が異なっている。
即ち、図７に示すように、本変形例のタッチパネル２０は、保護膜１３上に形成されるフロントパネル１４を有している。このようなタッチパネル２０においても、前述の実施例１と同様の効果が得られる。
【００３１】
［実施例２］
図８乃至図１２は、本発明の実施例２のタッチパネル付き表示装置に係る図であり、
図８は、タッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図９は、図８の一部を拡大した平面図、
図１０は、図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＤ−Ｄ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図１１は、図８のタッチパネルの断面構造を示す図（（ａ）は図８のＥ−Ｅ’線に沿った断面図、（ｂ）は（ａ）の一部を拡大した断面図）、
図１２は、タッチパネル付き表示装置の概略構成を示すブロック図である。
【００３２】
本実施例２のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、以下の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例１では、図１乃至図４に示すように、下層の導電層に、電極１Ｘの第１部分１ａ、及びシールド用の導電体３が形成され、これよりも上層の導電層に、電極１Ｘの第２部分１ｂ、電極２Ｙ、及びシールド用の導電体６が形成された例について説明したが、本実施例２では、図８乃至図１１に示すように、下層の導電層に、電極１Ｘの第２部分１ｂ、及び電極２Ｙ（２ａ，２ｂ）が形成され、これよりも上層の導電層に、電極１Ｘの第１部分１ａ、及びシールド用の導電体３が形成されている。
複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂ、複数の電極２Ｙ、及び複数の配線５は、基板１１の主面上に形成され、これらの上層に形成された絶縁膜１２で覆われている。複数の電極１Ｘの各々の第１部分１ａ、及びシールド用の導電体３は、絶縁膜１２上に形成され、これらの上層に形成された保護膜１３で覆われている。
電極１Ｘの第１部分１ａ（本実施例では上層）は、電極２Ｙの第１部分２ａと平面的に交差し、この第１部分２ａを挟んで隣り合う２つの第２部分１ｂ（本実施例では下層）に、電極１Ｘの第１部分１ａと電極２Ｙとの間の層間絶縁膜である絶縁膜１２に形成されたコンタクトホール１２ａを介してそれぞれ電気的にかつ機械的に接続されている。
シールド用の導電体３は、複数の電極１Ｘの各々の第２部分１ｂ、複数の電極２Ｙ、及び複数の配線５を覆うようにして、タッチパネル２０の中央領域及び周辺領域に形成されている。
【００３３】
本実施例２のタッチパネル２０は、図１２に示すように、基板１１の保護膜１３側の面が液晶表示パネル３０の観察者側の面と向かい合うようにして液晶表示パネル３０上に配置されており、シールド用の導電体３は、液晶表示パネル３０とタッチパネル２０の中央領域及び周辺領域との間に配置されている。シールド用の導電体３は、所定の信号が入力され、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減している。
本実施例２においても、保護膜１３の歪みによる色差から生じる電極パターンの顕在化、及び光路差による色差から生じる電極パターンの顕在化も抑えることができるため、電極パターンの顕在化による光学特性の悪化を抑制でき、タッチパネル２０を組み込んだ表示装置の特性低下を抑制することができる。
また、電極１Ｘと、電極２Ｙと、液晶表示パネル３０からタッチパネル２０へのノイズを低減するシールド用の導電体３とを２つの層の透明性導電材料層で構成することができ、従来のタッチパネルと比較して透明導電材料層に係る材料及びプロセスを省くことができるため、より安価にタッチパネルを製造することができる。これにより、タッチパネルを組み込むタッチパネル付き表示装置の低コスト化を図ることができる。
シールド用の導電体３は、本実施例２においても、前述の実施例１と同様に、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成される開口部４ａを有し、更にこの開口部４ａとは別に、開口内に電極１Ｘの第１部分１ａが形成されない開口部４ｂも有している。本実施例２においても、前述の実施例１と同様に、電極１Ｘ及び電極２Ｙとシールド用の導電体３との間で発生する容量を低減できるため、信頼性が高く、ノイズ耐性に優れたタッチパネル付き表示装置を安価に提供することができる。
【００３４】
［実施例３］
図１３及び図１４は、本発明の実施例３であるタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルに係る図であり、
図１３は、タッチパネルの電極パターンを示す平面図、
図１４は、図１３のシールド用の導体パターンを示す平面図である。
本実施例３のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、シールド用の導電体３の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例１のシールド用の導電体３は、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、互いに交差する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが１本ずつ横切るメッシュ形状になっている。
これに対し、本実施例３のシールド用の導電体３は、図１３及び図１４に示すように、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、互いに交差する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが２本ずつ横切るメッシュ形状になっている。本実施例３において、一方及び他方の片（３ａ，３ｂ）の各々の幅は、例えば２０μｍ程度であり、開口部４ａ及び４ｂの各々の幅は、例えば２００μｍ程度である。
このようにシールド用の導電体３が構成された本実施例３においても、前述の実施例１と同様の効果が得られる。
なお、本実施例３におけるシールド用の導電体３のメッシュ・パターン形状は、前述の実施例１の変形例及び実施例２においても適用できることは言うまでもない。
【００３５】
［実施例４］
図１５は、本発明の実施例４であるタッチパネル付き表示装置に組み込まれるタッチパネルのシールド用の導電体パターンを示す平面図である。
本実施例４のタッチパネル付き表示装置は、基本的に前述の実施例１と同様の構成になっており、シールド用の導電体３の構成が異なっている。
即ち、前述の実施例１のシールド用の導電体３は、隣接する２つの電極１Ｘの第１部分１ａの間を、互いに交差する一方の片３ａ及び他方の片３ｂが横切るメッシュ形状になっている。
これに対し、本実施例４のシールド用の導電体３は、図１５に示すように、メッシュ形状ではなく、単純に複数の開口部４ａ及び開口部４ｂが点在するパターン形状になっている。
このようにシールド用の導電体３が構成された本実施例４においても、前述の実施例１と同様の効果が得られる。
なお、本実施例４におけるシールド用の導電体３のパターン形状は、前述の実施例１の変形例及び実施例２においても適用できることは言うまでもない。
【００３６】
なお、前述の実施例（１，２，３，４）及び変形例では、電極１Ｘの第１部分１ａ及び第２部分１ｂをそれぞれ異なる導電層で形成した例について説明したが、本発明は、電極２Ｙの第１部分２ａ及び第２部分２ｂをそれぞれ異なる導電層で構成した場合も含むことは言うまでもない。
また、前述の実施例（１，２，３，４）及び変形例では表示パネルの一例として液晶表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置について説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく、有機ＥＬ表示パネルや無機ＥＬ表示パネル等の他の表示パネル上にタッチパネルを備えたタッチパネル付き表示装置に適用することができる。
以上、本発明者によってなされた発明を、前記実施例に基づき具体的に説明したが、本発明は、前記実施例に限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲において種々変更可能であることは勿論である。
【符号の説明】
【００３７】
１Ｘ 電極
１ａ 第１部分
１ｂ 第２部分
２Ｙ 電極
２ａ 第１部分
２ｂ 第２部分
３ シールド用の導電体
３ａ，３ｂ 片
４，４ａ，４ｂ 開口部
５ 配線
６ シールド用の導電体
１１ 基板
１２ 絶縁膜
１２ａ，１２ｂ コンタクトホール
１３ 保護膜
１４ フロントパネル
１５ シールド用の導電体
２０ タッチパネル
３０ 液晶表示パネル
４０ バックライト
【特許請求の範囲】
【請求項１】
基板と、
前記基板の第１の面上に形成されるシールド用の第１導電体と、
前記シールド用の第１導電体上に形成される絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、
前記絶縁膜上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極とを有する静電容量結合方式のタッチパネルであって、
前記シールド用の第１導電体は、所定の信号が入力され、
前記複数の第１電極の各々は、前記基板の前記第１の面上に形成される第１部分と、前記絶縁膜上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、
前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、
前記シールド用の第１導電体は、複数の開口部を有し、
前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１の部分が形成されない第２開口部とを含み、
前記第１部分は、前記第１開口部内に形成されていることを特徴とする静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項２】
前記シールド用の第１導電体は、互いに交差する第１片及び第２片で構成されるメッシュ形状からなり、
前記第１開口部及び第２開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第１片及び前記第２片によって形成される開口部であることを特徴とする請求項１に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項３】
前記第２電極は、前記第１電極の前記第１部分と平面的に交差する第１部分と、前記第１部分に連なる第２部分とを有し、
前記第１電極の前記第２部分は、平面形状が前記第１電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第２電極の前記第２部分は、平面形状が前記第２電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第１電極の前記第２部分と前記第２電極の第２部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、
前記シールド用の第１導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片は、前記第１電極の第２部分及び前記第２電極の第２部分の互いに向かい合う各々の辺に沿って形成されていることを特徴とする請求項２に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項４】
隣接する２つの前記第１電極の前記第１部分の間には、前記シールド用の第１導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片が、少なくとも１本配置されていることを特徴とする請求項３に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項５】
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、
前記複数の配線は、前記基板の前記第１の面上に形成され、
前記絶縁膜上で前記複数の配線を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の第２導電体を有することを特徴とする請求項１に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項６】
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項７】
前記保護膜上に形成されるフロントパネルを有することを特徴とする請求項６に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項８】
基板と、
前記基板の第２の面上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、
前記基板の前記第２の面上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２の方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極と、
前記複数の第１電極および前記複数の第２電極上に形成される絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成されるシールド用の導電体とを有する静電容量結合方式のタッチパネルであって、
前記シールド用の導電体は、所定の信号が入力され、
前記複数の第１電極の各々は、前記絶縁膜上に形成される第１部分と、前記基板の前記第２の面上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、
前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、
前記シールド用の導電体は、複数の開口部を有し、
前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１部分が形成されない第２開口部とを含み、
前記第１部分は、前記第１開口部内に形成されていることを特徴とする静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項９】
前記シールド用の導電体は、互いに交差する第１片及び第２片で構成されるメッシュ形状からなり、
前記第１開口部及び第２開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第１片及び前記第２片によって形成される開口部であることを特徴とする請求項８に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１０】
前記第２電極は、前記第１電極の前記第１の部分と平面的に交差する第１部分と、前記第１部分に連なる第２部分とを有し、
前記第１電極の前記第２部分は、平面形状が前記第１電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第２電極の前記第２部分は、平面形状が前記第２電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第１電極の前記第２部分と前記第２電極の第２部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、
前記シールド用の導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片は、前記第１電極の第２部分及び前記第２電極の第２部分の互いに向かい合う各々の辺に沿う形状で形成されていることを特徴とする請求項９に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１１】
隣接する２つの前記第１電極の前記第１部分の間には、前記シールド用の導電体の前記第１片及び前記第２片が、少なくとも１本配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１２】
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、
前記複数の配線は、前記基板の前記第２の面上に形成され、
シールド用の導電体は、前記複数の配線を覆うように形成されていることを特徴とする請求項８に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１３】
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有することを特徴とする請求項８乃至請求項１２の何れか１項に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１４】
前記複数の第１電極および前記複数の第２電極は、透明導電膜で構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１３の何れか１項に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１】
基板と、
前記基板の第１の面上に形成されるシールド用の第１導電体と、
前記シールド用の第１導電体上に形成される絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、
前記絶縁膜上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極とを有する静電容量結合方式のタッチパネルであって、
前記シールド用の第１導電体は、所定の信号が入力され、
前記複数の第１電極の各々は、前記基板の前記第１の面上に形成される第１部分と、前記絶縁膜上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、
前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、
前記シールド用の第１導電体は、複数の開口部を有し、
前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１の部分が形成されない第２開口部とを含み、
前記第１部分は、前記第１開口部内に形成されていることを特徴とする静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項２】
前記シールド用の第１導電体は、互いに交差する第１片及び第２片で構成されるメッシュ形状からなり、
前記第１開口部及び第２開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第１片及び前記第２片によって形成される開口部であることを特徴とする請求項１に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項３】
前記第２電極は、前記第１電極の前記第１部分と平面的に交差する第１部分と、前記第１部分に連なる第２部分とを有し、
前記第１電極の前記第２部分は、平面形状が前記第１電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第２電極の前記第２部分は、平面形状が前記第２電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第１電極の前記第２部分と前記第２電極の第２部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、
前記シールド用の第１導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片は、前記第１電極の第２部分及び前記第２電極の第２部分の互いに向かい合う各々の辺に沿って形成されていることを特徴とする請求項２に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項４】
隣接する２つの前記第１電極の前記第１部分の間には、前記シールド用の第１導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片が、少なくとも１本配置されていることを特徴とする請求項３に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項５】
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、
前記複数の配線は、前記基板の前記第１の面上に形成され、
前記絶縁膜上で前記複数の配線を覆うように形成され、所定の信号が入力されるシールド用の第２導電体を有することを特徴とする請求項１に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項６】
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有することを特徴とする請求項１乃至請求項５の何れか１項に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項７】
前記保護膜上に形成されるフロントパネルを有することを特徴とする請求項６に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項８】
基板と、
前記基板の第２の面上に形成され、第１の方向に延在し前記第１の方向と交差する第２の方向に並設される複数の第１電極と、
前記基板の前記第２の面上に形成され、前記第２の方向に延在し前記第２の方向と交差する前記第１の方向に並設される複数の第２電極と、
前記複数の第１電極および前記複数の第２電極上に形成される絶縁膜と、
前記絶縁膜上に形成されるシールド用の導電体とを有する静電容量結合方式のタッチパネルであって、
前記シールド用の導電体は、所定の信号が入力され、
前記複数の第１電極の各々は、前記絶縁膜上に形成される第１部分と、前記基板の前記第２の面上で前記第２電極とは分離して形成される第２部分とを有し、
前記第１部分は、前記絶縁膜に形成されたコンタクトホールを介して前記第２部分に接続され、
前記シールド用の導電体は、複数の開口部を有し、
前記複数の開口部は、開口内に前記第１部分が形成される第１開口部と、開口内に前記第１部分が形成されない第２開口部とを含み、
前記第１部分は、前記第１開口部内に形成されていることを特徴とする静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項９】
前記シールド用の導電体は、互いに交差する第１片及び第２片で構成されるメッシュ形状からなり、
前記第１開口部及び第２開口部の各々は、前記メッシュ形状を構成する前記第１片及び前記第２片によって形成される開口部であることを特徴とする請求項８に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１０】
前記第２電極は、前記第１電極の前記第１の部分と平面的に交差する第１部分と、前記第１部分に連なる第２部分とを有し、
前記第１電極の前記第２部分は、平面形状が前記第１電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第２電極の前記第２部分は、平面形状が前記第２電極の前記第１部分よりも広い幅の方形状で形成され、
前記第１電極の前記第２部分と前記第２電極の第２部分は、互いに向かい合う各々の辺が前記第１の方向に対して鋭角を成す状態で配置され、
前記シールド用の導電体の前記メッシュ形状の前記第１片及び前記第２片は、前記第１電極の第２部分及び前記第２電極の第２部分の互いに向かい合う各々の辺に沿う形状で形成されていることを特徴とする請求項９に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１１】
隣接する２つの前記第１電極の前記第１部分の間には、前記シールド用の導電体の前記第１片及び前記第２片が、少なくとも１本配置されていることを特徴とする請求項１０に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１２】
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極とが形成される領域の周囲に形成され、前記複数の第１電極、或いは前記複数の第２電極の各々に電気的に接続される複数の配線を有し、
前記複数の配線は、前記基板の前記第２の面上に形成され、
シールド用の導電体は、前記複数の配線を覆うように形成されていることを特徴とする請求項８に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１３】
前記複数の第１電極と前記複数の第２電極上に形成される保護膜を有することを特徴とする請求項８乃至請求項１２の何れか１項に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【請求項１４】
前記複数の第１電極および前記複数の第２電極は、透明導電膜で構成されていることを特徴とする請求項１乃至請求項１３の何れか１項に記載の静電容量結合方式のタッチパネル。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図１１】
【図１２】
【図１３】
【図１４】
【図１５】
【図１６】
【図１７】
【図１８】
【公開番号】特開２０１３−１６２０５（Ｐ２０１３−１６２０５Ａ）
【公開日】平成２５年１月２４日（２０１３．１．２４）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１２−２２５８６９（Ｐ２０１２−２２５８６９）
【出願日】平成２４年１０月１１日（２０１２．１０．１１）
【分割の表示】特願２００９−９４１２（Ｐ２００９−９４１２）の分割
【原出願日】平成２１年１月２０日（２００９．１．２０）
【出願人】（５０２３５６５２８）株式会社ジャパンディスプレイイースト (2,552)
【出願人】（５０６０８７８１９）パナソニック液晶ディスプレイ株式会社 (443)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２５年１月２４日（２０１３．１．２４）
【国際特許分類】
【出願日】平成２４年１０月１１日（２０１２．１０．１１）
【分割の表示】特願２００９−９４１２（Ｐ２００９−９４１２）の分割
【原出願日】平成２１年１月２０日（２００９．１．２０）
【出願人】（５０２３５６５２８）株式会社ジャパンディスプレイイースト (2,552)
【出願人】（５０６０８７８１９）パナソニック液晶ディスプレイ株式会社 (443)
【Ｆターム（参考）】
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