Ｘ線分析装置
【課題】標準物質を使用せず、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができるＸ線分析装置を提供する。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、１次Ｘ線２が照射された試料Ｓから発生する２次Ｘ線６の強度を検出する検出手段９と、試料Ｓを測定位置に移動させる試料移動手段８と、試料Ｓを移動させ、試料Ｓの所定の測定点に１次Ｘ線２を照射させて検出された２次Ｘ線６の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段１０と、測定手段１０による各測定点の測定終了毎に、測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、ランクによって大きさおよび色が異なるマークを決定する処理手段１１と、処理手段１１によって決定されたマークを試料Ｓの各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段１２とを備える。
【解決手段】本発明のＸ線分析装置は、試料Ｓに１次Ｘ線２を照射するＸ線源１と、１次Ｘ線２が照射された試料Ｓから発生する２次Ｘ線６の強度を検出する検出手段９と、試料Ｓを測定位置に移動させる試料移動手段８と、試料Ｓを移動させ、試料Ｓの所定の測定点に１次Ｘ線２を照射させて検出された２次Ｘ線６の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段１０と、測定手段１０による各測定点の測定終了毎に、測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、ランクによって大きさおよび色が異なるマークを決定する処理手段１１と、処理手段１１によって決定されたマークを試料Ｓの各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段１２とを備える。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の複数の測定点の測定値をランク分けして、各ランクに対応したマークを各測定点に対応した位置に画像表示するＸ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の生産工程において、例えばウエーハ、ガラス基板、電子回路基板などの試料表面のマッピング検査に蛍光Ｘ線分析装置などのＸ線分析装置が使用されている。
【０００３】
既知の標準物質のＸ線強度を基準にして、測定したＸ線強度に応じて色又は明度を変えたコントラスト強度を決定してマッピング表示するＸ線分析装置がある（特許文献１）。このＸ線分析装置は一つの照射ポイント（測定点）を一つの画素として、検出したＸ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定し、ディスプレイにおいて照射ポイントに対応した位置に画像として二次元的に表示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−３２４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１のＸ線分析装置では、標準物質を基準として色や明度のコントラスト強度を決定しているため、標準物質がなければ実施することが困難である。また、色と明度のコントラスト強度のみで表示されているために、装置の設置場所によっては色や明度のコントラスト強度の識別が困難であり、色弱など色の判別が困難な測定者では測定が困難となる。さらに、１つの測定点を１つの画素として表示するため、各測定点の情報を視覚的に容易に認識することができない。
【０００６】
そこで、本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、標準物質を使用せず、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明のＸ線分析装置は、試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記Ｘ線源から１次Ｘ線が照射された試料から発生する２次Ｘ線の強度を検出する検出手段と、試料を測定位置に移動させる試料移動手段と、前記試料移動手段を制御して試料を移動させ、試料の所定の測定点に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させて前記検出手段によって検出された２次Ｘ線の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段と、前記測定手段による各測定点の測定終了毎に、測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、ランクによって大きさおよび色が異なるマークを決定する処理手段と、前記処理手段によって決定されたマークを試料の各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段とを備える。
【０００８】
本発明のＸ線分析装置によれば、標準物質を使用せず、各測定点の測定終了毎に、各測定点の測定値のランクに対応した大きさと色のマークが各測定点に対応した位置に画像表示されるので、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができる。
【０００９】
本発明のＸ線分析装置は、さらに、ランク数毎にランク数と同数の、ランクによって大きさおよび色が異なるマークの表示形態を記憶しているマーク記憶手段を備え、前記処理手段が、前記ランク分けしたランク数と同数のマークの表示形態を前記マーク記憶手段から読出して、各ランクに適用して前記表示手段に各ランクのマークを試料の各測定点に対応した位置に画像表示させるのが好ましい。この場合には、ランク数によってマークの表示形態を記憶しているマーク記憶手段を備えているので、測定点数が定まっている日常管理分析などにおいて、迅速に各測定点に対応した位置にマークを表示することができる。
【００１０】
本発明のＸ線分析装置においては、前記処理手段が、前記測定手段によって測定された最大測定値と最小測定値との差を前記測定手段に設定された測定値の最小有効値で除算した数値に数値１を加算し、この演算された数値と測定点数とのうち小さい方の数値を前記マークの前記ランク数とし、最大測定値と最小測定値の差を前記ランク数で除算した数値をランク幅として決定し、それぞれの測定値の差が前記ランク幅以内の測定値を同一ランクとしてランク分けすることが好ましい。この場合には、測定値の所定の最小有効値に基づいてランク数を適切に決定することができる。
【００１１】
本発明のＸ線分析装置においては、前記処理手段が、前記測定手段に入力され設定されている分析管理値の範囲を超える測定値および／または前記測定手段において測定値を求める際の演算エラーを異常値として、前記表示手段に異常値マークをその測定点に対応した位置に画像表示させることが好ましい。この場合には、分析管理値の範囲を超える測定値および／または測定手段において測定値を求める際の演算エラーを異常値として異常値マークを表示することによって、視覚的に容易に異常測定値を判別することができる。演算エラーとは、例えば蛍光Ｘ線分析のＦＰ法（ファンダメンタル・パラメータ法）における未収束の演算結果のように、検出したＸ線強度に基づいて分析値を定量する際の演算において生じたエラーをいう。
【００１２】
本発明のＸ線分析装置においては、前記表示手段が表示する前記マークの形状は、円形または多角形の相似形状であることが好ましい。これらの形状であれば、大きさおよび色の異なるマークが視覚的に容易に判別することができる。
【００１３】
本発明のＸ線分析装置においては、前記表示手段が前記マークに測定順を表す記号を表示することが好ましい。この場合には、マークに測定順を表す記号が表示されるので、各測定点の測定順が容易に視覚的に判別することができる。
【００１４】
本発明のＸ線分析装置においては、前記表示手段が、試料の各測定点に対応した位置に前記マークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とを同一画面に表示することが好ましい。この場合には、マークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とが同一画面に表示されるので、各測定点の測定値のランクを容易に視覚的に判別できるとともに、各測定点の測定値そのものを判別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態のＸ線分析装置を示す概略図である。
【図２Ａ】同実施形態における１点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｂ】同実施形態における２点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｃ】同実施形態における３点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｄ】同実施形態における４点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｅ】同実施形態における５点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｆ】同実施形態における６点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｇ】同実施形態における７点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｈ】同実施形態における８点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｉ】同実施形態における９点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図３】同実施形態におけるマーク記憶手段に記憶されているマーク表示形態の図である。
【図４】同実施形態における９点測定の測定値リストである。
【図５】同実施形態における測定値の異常値マークの画像を示す図である。
【図６】同実施形態における測定点のマーク画像と測定値リストとを同一画面で表示した図である。
【図７】同実施形態におけるマークの測定値を示す画像を示す図である。
【図８】ドーナツ形状試料の測定点のマークの画像を示す図である。
【図９】四角形試料の測定点のマークの画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態のＸ線分析装置について説明する。まず、Ｘ線分析装置の構成について、図１にしたがって説明する。この装置は、試料を測定位置に移動させる試料ステージなどの試料移動手段８に載置されたシリコンウエーハなどの試料Ｓに、Ｘ線管などのＸ線源１から１次Ｘ線２を照射して、発生する２次Ｘ線（蛍光Ｘ線）４の強度を検出手段９で検出する蛍光Ｘ線分析装置などのＸ線分析装置であり、試料移動手段８を制御して試料Ｓを移動させ、試料Ｓの所定の測定点にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射させて検出手段９によって検出された２次Ｘ線６の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段１０と、測定手段１０による各測定点の測定終了毎に、それまでに測定済のすべての測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、各ランクによって大きさと色ともに異なるマークを決定する処理手段１１と、処理手段１１によって決定されたマークを各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段１２とを備える。測定値はＸ線強度そのものであっても、Ｘ線強度に基づいて定量された分析値のいずれであってもよい。
【００１７】
この装置は、マーク記憶手段１３を備える。マーク記憶手段１３は、ランク数毎にランク数と同数の、ランクによって大きさと色ともに異なるマークの表示形態を記憶している。処理手段１１は、各測定点の測定終了毎に、ランク分けしたランク数とマーク記憶手段１３に記憶されている同数のランク数のマーク表示形態をマーク記憶手段１３から読出して、ランク分けした各ランクに適用して表示手段１２に各ランクのマークを各測定点に対応した位置に画像表示させ、併せて、測定手段１０に設定されている分析管理値の範囲を超える測定値および／または測定手段１０において測定値を求める際の演算エラーを異常値として、表示手段１２に異常値マークをその測定点に対応した位置に画像表示させる。分析管理値は日常分析において製品の品質などを管理するために定められた測定値の上限および／または下限である。
【００１８】
検出手段９は、試料Ｓから発生した２次Ｘ線４が入射されて測定対象の２次Ｘ線６を回折する分光素子５と、その回折された２次Ｘ線６の強度を検出する検出器７とを含む。分光素子５と検出器７とは、図示しないゴニオメータにより、分光素子５で分光される２次Ｘ線６の波長を変えながらその２次Ｘ線６が検出器７に入射するように、一定の角度関係を保って回動される。
【００１９】
実施形態のＸ線分析装置の動作について説明する。図１に示すように、試料ステージなどの試料移動手段８にシリコンウエーハなどの試料Ｓを載置し、測定条件、測定値の最小有効値、試料の形状とともに試料Ｓの所定の複数の測定点を測定手段１０に入力し、設定する。例えば、設定される測定値の最小有効値は０．１ｋｃｐｓである。測定を開始する旨が測定手段１０に入力されると、測定手段１０が、試料移動手段８を制御して試料Ｓを移動させ設定された測定点に、例えばロジウム、タングステン、モリブデンなどのＸ線管であるX線源１から１次Ｘ線２を照射させて、試料Ｓから発生する特定元素の蛍光Ｘ線６の強度を検出器７にて検出する。このようにして測定手段１０によって設定された複数の測定点が測定される。
【００２０】
各測定点の測定終了毎に、処理手段１１によって測定値が処理され、表示手段１２によって図２Ａ〜Ｉに示すような画像が表示される。図２Ａ〜Ｉに示すように、各測定点の測定終了毎に、処理手段１１が測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして各ランクによって大きさと色ともに異なるマークを決定し、表示手段１２が決定されたマークを各測定点に対応した位置に画像表示する。図２Ａ〜Ｉはウエーハなどの円形試料を最初の１点目から順に９点目まで測定したときの各測定点の測定終了時のマークとともに試料の形状の画像を示している。図２Ａ〜Ｉの内円は試料Ｓを示し、外円は試料移動手段８の試料保持部を示している。
【００２１】
各測定点の測定値が如何にランク分けされ、どのようにしてマークが表示されるかについて、上記の図２Ｉの９点測定を例にとり以下に詳細に説明する。マーク記憶手段１３は、例えば図３に示すランク数１〜１０のランク数毎のマークの表示形態を記憶している。この表示形態は、１〜１０の各ランク数において、ランク数と同数であって大きさと色ともに異なる円形のマークである。ランク数１０の表示形態では、最小測定値のランクである第１ランクは紫色１号円、第２ランクは紺色２号円、第３ランクは青色３号円、第４ランクは水色４号円、第５ランクは緑色５号円、第６ランクは黄緑色６号円、第７ランクは黄色７号円、第８ランクは橙色８号円、第９ランクは赤色９号円、最大測定値のランクである第１０ランクは茶色１０号円である。つまり、各ランクで色が異なるとともに、円の大きさも異なっており、１号円から順に円の半径は大きくなり、１０号円で最大半径となる。小さい測定値から大きい測定値になるにしたがって順にランクの等級が大きくなる。
【００２２】
さらに、最初に表示されるランク数１のマークは１０ランクの中間ランクである第６ランクの黄緑色６号円を表示し、ランク数２は第５ランクの緑色５号円、第６ランクの黄緑色６号円で、ランク数３は第５ランクの緑色５号円、第６ランクの黄緑色６号円、第７ランクの黄色７号円で表示され、ランク数が増加するにしたがって第６ランクの黄緑色６号円の両側の色の号円が追加される表示形態になっている。
【００２３】
図２Ｉに示す測定点のマーク表示は各測定点の測定終了毎に測定値に基づいてリアルタイムで表示されるが、説明をし易くするために、前もって９点の測定点の測定値を図４に示す。前記のように測定が開始され、測定手段１０によって測定された１点目の測定点Ｎｏ．１の測定値は、３６８．９ｋｃｐｓである。測定点は１点であり、ランク数は１であるので、マーク記憶手段１３からランク数１の表示形態が読みだされ、測定点Ｎｏ．１に対応する位置に黄緑色６号円が適用されて図２Ａの画像が表示手段１２に表示される。このとき、黄緑色６号円の中心が測定点Ｎｏ．１に対応しており、この円内に測定点の測定順を表すアラビア数字１が記号として表示される。以下の測定点においても同様に円形マークの中心が測定点であり、その円内に測定順を表すアラビア数字が表示される。なお、測定点の測定順を表す記号はアラビア数字だけでなく、ローマ数字、アルファベット、片仮名などであってもよい。
【００２４】
同様にして２点目の測定点の測定値は３６８．９ｋｃｐｓである。この測定値は１点目と同じ数値であるので、１点目と同様に黄緑色６号円が適用されて図２Ｂの画像が表示手段１２に表示される。
【００２５】
同様にして３点目の測定点について測定値３６８．８ｋｃｐｓが求められる。処理手段１１が、３測定点の最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６８．８ｋｃｐｓとの差０．１ｋｃｐｓを、測定手段１０に設定された測定値の最小有効値０．１ｋｃｐｓで除算し、その数値に数値１を加算して求めた演算値の数値２と測定点数の数値３とを比較して小さい方の数値である２をランク数と定め、最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６８．８ｋｃｐｓとの差０．１ｋｃｐｓをランク数の数値２で除算した数値０．０５をランク幅と決定する。次に、処理手段１１は、１点目と２点目の測定値の差はなく、３点目と１点目との差は０．１ｋｃｐｓであることに基づいて、１点目と２点目は同一ランク、３点目は１点目よりも１ランク小さいランクとしてランク分けし、マーク記憶手段１３からランク数２の表示形態を読出して、測定点Ｎｏ．１とＮｏ．２に黄緑色６号円を、測定点Ｎｏ．３に緑色５号円を適用して図２Ｃの画像を表示手段１２に表示させる。このように、測定値の所定の最小有効値に基づいてランク数を適切に決定することができる。
【００２６】
同様にして４点目の測定点について測定値３６６．６ｋｃｐｓが求められる。処理手段１１は、４測定点の最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６６．６ｋｃｐｓとの差２．３ｋｃｐｓを、測定手段１０に設定された測定値の最小有効値０．１ｋｃｐｓで除算し、その数値に数値１を加算して求めた演算値の数値２４と測定点数の数値４とを比較して小さい方の数値である４をランク数と定め、最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６６．６ｋｃｐｓとの差２．３ｋｃｐｓをランク数の数値４で除算した数値０．５７をランク幅と決定する。次に、処理手段１１は、１点目と２点目の測定値の差はなく、３点目と１点目との差は０．１ｋｃｐｓ、１点目と４点目との差は２．３ｋｃｐｓであることに基づいて、３点目は１点目から１（０．１／０．５７≦１）ランク幅以内のランクであって１点目〜３点目は同一ランク、４点目は１点目よりも４．０３（２．３／０．５７≒４．０３）ランク幅だけ小さいランクとしてランク分けし、マーク記憶手段１３からランク数４の表示形態を読出して、測定点Ｎｏ．１〜３に黄色７号円を、測定点Ｎｏ．４に水色４号円を適用して図２Ｄの画像を表示手段１２に表示させる。
【００２７】
同様にして５点目の測定点について測定値３６５．６ｋｃｐｓが求められる。処理手段１１は、５測定点の最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６５．６ｋｃｐｓとの差３．３ｋｃｐｓを、測定手段１０に設定された測定値の最小有効値０．１ｋｃｐｓで除算し、その数値に数値１を加算して求めた演算値の数値３４と測定点数の数値５とを比較して小さい方の数値である５をランク数と定め、最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６５．６ｋｃｐｓとの差３．３ｋｃｐｓをランク数の数値５で除算した数値０．６６をランク幅と決定する。次に、処理手段１１は、１点目と２点目の測定値の差はなく、３点目と１点目との差は０．１ｋｃｐｓ、１点目と４点目との差は２．３ｋｃｐｓであり、１点目と５点目との差は３．３ｋｃｐｓであることに基づいて、３点目は１点目から１（０．１／０．６６≦１）ランク幅以内のランクであって１点目〜３点目は同一ランク、４点目は１点目よりも３．４８（２．３／０．６６≒３．４８）ランク幅だけ小さいランク、５点目は１点目よりも５．００（３．３／０．６６＝５．００）ランク幅だけ小さいランクとしてランク分けし、マーク記憶手段１３からランク数５の表示形態を読出して、測定点Ｎｏ．１〜３に橙色８号円を、測定点Ｎｏ．４に緑色５号円を、測定点Ｎｏ．５に水色４号円を適用して図２Ｄの画像を表示手段１２に表示させる。
【００２８】
同様にして、測定手段１０が６〜８点目の測定点を測定し、処理手段１１がそれぞれの測定値を処理して、各測定点数に対応した図２Ｅ〜２Ｈの画像を表示手段１２に表示させる。
【００２９】
同様にして９点目の測定点について測定値３５９．４ｋｃｐｓが求められる。処理手段１１は、９測定点の最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３５９．４ｋｃｐｓとの差９．５ｋｃｐｓを、測定手段１０に設定された測定値の最小有効値０．１ｋｃｐｓで除算し、その数値に数値１を加算して求めた演算値の数値９６と測定点数の数値９とを比較して小さい方の数値である９をランク数と定め、最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３５９．４ｋｃｐｓとの差９．５ｋｃｐｓをランク数の数値９で除算した数値１．０６をランク幅と決定する。
【００３０】
次に、処理手段１１は、１点目と２点目の測定値の差はなく、３点目と１点目との差は０．１ｋｃｐｓ、１点目と４点目との差は２．３ｋｃｐｓ、１点目と５点目との差は３．３ｋｃｐｓ、１点目と６点目との差は５．４ｋｃｐｓ、１点目と７点目との差は３．４ｋｃｐｓ、１点目と８点目との差は８．１ｋｃｐｓ、１点目と９点目との差は９．５ｋｃｐｓであることに基づいて、３点目は１点目から１（０．１／１．０６≦１）ランク幅以内のランクであって、１点目〜３点目は同一ランク、４点目は１点目よりも２．１７（２．３／１．０６≒２．１７）ランク幅だけ小さいランク、５点目は１点目よりも３．１１（３．３／１．０６≒３．１１）ランク幅だけ小さいランク、６点目は１点目よりも５．０９（５．４／１．０６≒５．０９）ランク幅だけ小さいランク、７点目は１点目よりも３．２０（３．４／１．０６≒３．２０）ランク幅だけ小さいランク、８点目は１点目よりも７．６４（８．１／１．０６≒７．６４）ランク幅だけ小さいランク、９点目は１点目よりも８．９６（９．５／１．０６≒８．９６）ランク幅だけ小さいランクとしてランク分けし、マーク記憶手段１３からランク数９の表示形態を読出して、測定点Ｎｏ．１〜３に茶色１０号円を、測定点Ｎｏ．４に橙色８号円を、測定点Ｎｏ．５とＮｏ．７に黄色７号円を、測定点Ｎｏ．６に緑色５号円を、測定点Ｎｏ．８に青色３号円を、測定点Ｎｏ．９に紺色２号円を適用して図２Ｉの画像を表示手段１２に表示させる。
【００３１】
本発明の実施形態によれば、標準物質を使用せず、各測定点の測定終了毎に、各測定点の測定値のランクに対応した大きさと色のマークが各測定点に対応した位置に画像表示されるので、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができる。
【００３２】
次に、図４に示した測定値の試料と異なる試料の測定において、上限と下限の分析管理値が測定手段１０に入力され、設定されて測定されたマークの画像表示を図５に示す。処理手段１１が、測定点Ｎｏ．８とＮｏ．９の測定値は上限を超え、測定点Ｎｏ．１の測定値は下限未満であり、いずれも異常値であるとし、表示手段１２に測定点Ｎｏ．８は赤色９号円、測定点Ｎｏ．９は茶色１０号円、測定点Ｎｏ．１は紺色２号円で表示させ、それぞれのマークの全体に赤色の×印を付けて表示させている。併せて、例えばＦＰ法の演算が収束しない測定点Ｎｏ．１０の場合には、処理手段１１が演算エラーと判断して異常値マークを表示手段１２に表示させる。演算エラーの異常値マークは図５に示すように、灰色１号円に赤色の×印を付けて表示させている。
【００３３】
このように、分析管理値の範囲内でない測定値や演算エラーの測定値に異常値マークが、その測定点に対応する位置に表示されるので、視覚的に容易に異常値の測定点を判別することができる。
【００３４】
表示手段１２が、試料の各測定点に対応した位置にマークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とを同一画面に表示するのが好ましい。例えば、図６に示すように、表示手段１２が、左画面に測定値リストを表示し、右下画面において試料の各測定点に対応した位置にマークを表示する画像を表示する。測定者がこの右下画面のマークをマウスでクリックすると、そのマークに対応する測定値リストの測定点の測定値がハイライト表示される。また逆に、測定値リストの測定値をマウスでクリックすると、その測定値に対応する右下画面のマークがハイライト表示される。
【００３５】
この場合には、試料の各測定点に対応した位置にマークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とが同一画面に表示されるので、各測定点の測定値のランクを容易に視覚的に判別できるとともに、各測定点の測定値そのものを判別することができる。
【００３６】
図７に示すように、測定者が表示手段１２のマウス（図示なし）のマウスポインタを画像のマークに位置させると、表示手段１２によってそのマークが表示されている測定点の測定値がポップヒントとして表示されるのが好ましい。このポップヒントによって測定値そのものをマーク表示画面より直接読み取ることができる。本実施形態における円形マークの１号円の半径は試料Ｓのシリコンウエーハの半径の１／１５、１０号円の半径はシリコンウエーハの半径の１／５の比率でシリコンウエーハの円形状とともに表示されるのが好ましい。測定点が近接しマークが重なるときは小さいマークが前面（手前）に表示されるのが好ましく、複数のマークが重なって表示される場合にも視覚的に容易に判別できる。
【００３７】
マークの形状は円形に限らず三角形、四角形、五角形以上の多角形であってもよく、これらの相似形のマークの大小によって測定値の大小が表示される。これらの形状のマークを使用した場合も円形マークと同様に、マークの中心（重心）が測定点であり、そのマーク内に測定順を表す記号が表示され、異常値には×印が表示される。
【００３８】
本実施形態では測定点は９点であったが、それよりも多い点数であってもよく、例えば図９に１７点の測定点のマーク表示画像を示している。また、ランク数１０の実施形態について説明したが、ランク数１０を超えて表示してもよく、マークを大きさとともに色の３要素の色相、彩度、明度を変化させて表示すればよい。
【００３９】
本実施形態では試料としてシリコンウエーハの円形試料について説明したが、ドーナツ形試料、四角形試料などの試料形状を測定手段１０に入力することによって、図８や図９に示すようにドーナツ形試料、四角形試料などについても本実施形態と同様のマーク表示をすることができる。
【００４０】
本実施形態の装置では、ゴニオメータを走査（スキャン）する走査型の波長分散蛍光Ｘ線分析装置について説明したが、測定元素毎に独立のゴニオメータを配して同時に多元素を分析する多元素同時型の波長分散蛍光Ｘ線分析装置でもよく、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置であってもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１ Ｘ線源
２ １次Ｘ線
４、６ ２次Ｘ線
８ 試料移動手段
９ 検出手段
１０ 測定手段
１１ 処理手段
１２ 表示手段
１３ マーク記憶手段
Ｓ 試料
【技術分野】
【０００１】
本発明は、試料の複数の測定点の測定値をランク分けして、各ランクに対応したマークを各測定点に対応した位置に画像表示するＸ線分析装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
半導体の生産工程において、例えばウエーハ、ガラス基板、電子回路基板などの試料表面のマッピング検査に蛍光Ｘ線分析装置などのＸ線分析装置が使用されている。
【０００３】
既知の標準物質のＸ線強度を基準にして、測定したＸ線強度に応じて色又は明度を変えたコントラスト強度を決定してマッピング表示するＸ線分析装置がある（特許文献１）。このＸ線分析装置は一つの照射ポイント（測定点）を一つの画素として、検出したＸ線強度に応じて色又は明度を変えた強度コントラストを決定し、ディスプレイにおいて照射ポイントに対応した位置に画像として二次元的に表示している。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２０１０−３２４８５号公報
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
しかし、特許文献１のＸ線分析装置では、標準物質を基準として色や明度のコントラスト強度を決定しているため、標準物質がなければ実施することが困難である。また、色と明度のコントラスト強度のみで表示されているために、装置の設置場所によっては色や明度のコントラスト強度の識別が困難であり、色弱など色の判別が困難な測定者では測定が困難となる。さらに、１つの測定点を１つの画素として表示するため、各測定点の情報を視覚的に容易に認識することができない。
【０００６】
そこで、本発明は前記従来の問題に鑑みてなされたもので、標準物質を使用せず、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができるＸ線分析装置を提供することを目的とする。
【課題を解決するための手段】
【０００７】
前記目的を達成するために、本発明のＸ線分析装置は、試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、前記Ｘ線源から１次Ｘ線が照射された試料から発生する２次Ｘ線の強度を検出する検出手段と、試料を測定位置に移動させる試料移動手段と、前記試料移動手段を制御して試料を移動させ、試料の所定の測定点に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させて前記検出手段によって検出された２次Ｘ線の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段と、前記測定手段による各測定点の測定終了毎に、測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、ランクによって大きさおよび色が異なるマークを決定する処理手段と、前記処理手段によって決定されたマークを試料の各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段とを備える。
【０００８】
本発明のＸ線分析装置によれば、標準物質を使用せず、各測定点の測定終了毎に、各測定点の測定値のランクに対応した大きさと色のマークが各測定点に対応した位置に画像表示されるので、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができる。
【０００９】
本発明のＸ線分析装置は、さらに、ランク数毎にランク数と同数の、ランクによって大きさおよび色が異なるマークの表示形態を記憶しているマーク記憶手段を備え、前記処理手段が、前記ランク分けしたランク数と同数のマークの表示形態を前記マーク記憶手段から読出して、各ランクに適用して前記表示手段に各ランクのマークを試料の各測定点に対応した位置に画像表示させるのが好ましい。この場合には、ランク数によってマークの表示形態を記憶しているマーク記憶手段を備えているので、測定点数が定まっている日常管理分析などにおいて、迅速に各測定点に対応した位置にマークを表示することができる。
【００１０】
本発明のＸ線分析装置においては、前記処理手段が、前記測定手段によって測定された最大測定値と最小測定値との差を前記測定手段に設定された測定値の最小有効値で除算した数値に数値１を加算し、この演算された数値と測定点数とのうち小さい方の数値を前記マークの前記ランク数とし、最大測定値と最小測定値の差を前記ランク数で除算した数値をランク幅として決定し、それぞれの測定値の差が前記ランク幅以内の測定値を同一ランクとしてランク分けすることが好ましい。この場合には、測定値の所定の最小有効値に基づいてランク数を適切に決定することができる。
【００１１】
本発明のＸ線分析装置においては、前記処理手段が、前記測定手段に入力され設定されている分析管理値の範囲を超える測定値および／または前記測定手段において測定値を求める際の演算エラーを異常値として、前記表示手段に異常値マークをその測定点に対応した位置に画像表示させることが好ましい。この場合には、分析管理値の範囲を超える測定値および／または測定手段において測定値を求める際の演算エラーを異常値として異常値マークを表示することによって、視覚的に容易に異常測定値を判別することができる。演算エラーとは、例えば蛍光Ｘ線分析のＦＰ法（ファンダメンタル・パラメータ法）における未収束の演算結果のように、検出したＸ線強度に基づいて分析値を定量する際の演算において生じたエラーをいう。
【００１２】
本発明のＸ線分析装置においては、前記表示手段が表示する前記マークの形状は、円形または多角形の相似形状であることが好ましい。これらの形状であれば、大きさおよび色の異なるマークが視覚的に容易に判別することができる。
【００１３】
本発明のＸ線分析装置においては、前記表示手段が前記マークに測定順を表す記号を表示することが好ましい。この場合には、マークに測定順を表す記号が表示されるので、各測定点の測定順が容易に視覚的に判別することができる。
【００１４】
本発明のＸ線分析装置においては、前記表示手段が、試料の各測定点に対応した位置に前記マークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とを同一画面に表示することが好ましい。この場合には、マークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とが同一画面に表示されるので、各測定点の測定値のランクを容易に視覚的に判別できるとともに、各測定点の測定値そのものを判別することができる。
【図面の簡単な説明】
【００１５】
【図１】本発明の実施形態のＸ線分析装置を示す概略図である。
【図２Ａ】同実施形態における１点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｂ】同実施形態における２点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｃ】同実施形態における３点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｄ】同実施形態における４点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｅ】同実施形態における５点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｆ】同実施形態における６点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｇ】同実施形態における７点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｈ】同実施形態における８点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図２Ｉ】同実施形態における９点目測定完了時のマークの画像を示す図である。
【図３】同実施形態におけるマーク記憶手段に記憶されているマーク表示形態の図である。
【図４】同実施形態における９点測定の測定値リストである。
【図５】同実施形態における測定値の異常値マークの画像を示す図である。
【図６】同実施形態における測定点のマーク画像と測定値リストとを同一画面で表示した図である。
【図７】同実施形態におけるマークの測定値を示す画像を示す図である。
【図８】ドーナツ形状試料の測定点のマークの画像を示す図である。
【図９】四角形試料の測定点のマークの画像を示す図である。
【発明を実施するための形態】
【００１６】
以下、本発明の実施形態のＸ線分析装置について説明する。まず、Ｘ線分析装置の構成について、図１にしたがって説明する。この装置は、試料を測定位置に移動させる試料ステージなどの試料移動手段８に載置されたシリコンウエーハなどの試料Ｓに、Ｘ線管などのＸ線源１から１次Ｘ線２を照射して、発生する２次Ｘ線（蛍光Ｘ線）４の強度を検出手段９で検出する蛍光Ｘ線分析装置などのＸ線分析装置であり、試料移動手段８を制御して試料Ｓを移動させ、試料Ｓの所定の測定点にＸ線源１から１次Ｘ線２を照射させて検出手段９によって検出された２次Ｘ線６の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段１０と、測定手段１０による各測定点の測定終了毎に、それまでに測定済のすべての測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、各ランクによって大きさと色ともに異なるマークを決定する処理手段１１と、処理手段１１によって決定されたマークを各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段１２とを備える。測定値はＸ線強度そのものであっても、Ｘ線強度に基づいて定量された分析値のいずれであってもよい。
【００１７】
この装置は、マーク記憶手段１３を備える。マーク記憶手段１３は、ランク数毎にランク数と同数の、ランクによって大きさと色ともに異なるマークの表示形態を記憶している。処理手段１１は、各測定点の測定終了毎に、ランク分けしたランク数とマーク記憶手段１３に記憶されている同数のランク数のマーク表示形態をマーク記憶手段１３から読出して、ランク分けした各ランクに適用して表示手段１２に各ランクのマークを各測定点に対応した位置に画像表示させ、併せて、測定手段１０に設定されている分析管理値の範囲を超える測定値および／または測定手段１０において測定値を求める際の演算エラーを異常値として、表示手段１２に異常値マークをその測定点に対応した位置に画像表示させる。分析管理値は日常分析において製品の品質などを管理するために定められた測定値の上限および／または下限である。
【００１８】
検出手段９は、試料Ｓから発生した２次Ｘ線４が入射されて測定対象の２次Ｘ線６を回折する分光素子５と、その回折された２次Ｘ線６の強度を検出する検出器７とを含む。分光素子５と検出器７とは、図示しないゴニオメータにより、分光素子５で分光される２次Ｘ線６の波長を変えながらその２次Ｘ線６が検出器７に入射するように、一定の角度関係を保って回動される。
【００１９】
実施形態のＸ線分析装置の動作について説明する。図１に示すように、試料ステージなどの試料移動手段８にシリコンウエーハなどの試料Ｓを載置し、測定条件、測定値の最小有効値、試料の形状とともに試料Ｓの所定の複数の測定点を測定手段１０に入力し、設定する。例えば、設定される測定値の最小有効値は０．１ｋｃｐｓである。測定を開始する旨が測定手段１０に入力されると、測定手段１０が、試料移動手段８を制御して試料Ｓを移動させ設定された測定点に、例えばロジウム、タングステン、モリブデンなどのＸ線管であるX線源１から１次Ｘ線２を照射させて、試料Ｓから発生する特定元素の蛍光Ｘ線６の強度を検出器７にて検出する。このようにして測定手段１０によって設定された複数の測定点が測定される。
【００２０】
各測定点の測定終了毎に、処理手段１１によって測定値が処理され、表示手段１２によって図２Ａ〜Ｉに示すような画像が表示される。図２Ａ〜Ｉに示すように、各測定点の測定終了毎に、処理手段１１が測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして各ランクによって大きさと色ともに異なるマークを決定し、表示手段１２が決定されたマークを各測定点に対応した位置に画像表示する。図２Ａ〜Ｉはウエーハなどの円形試料を最初の１点目から順に９点目まで測定したときの各測定点の測定終了時のマークとともに試料の形状の画像を示している。図２Ａ〜Ｉの内円は試料Ｓを示し、外円は試料移動手段８の試料保持部を示している。
【００２１】
各測定点の測定値が如何にランク分けされ、どのようにしてマークが表示されるかについて、上記の図２Ｉの９点測定を例にとり以下に詳細に説明する。マーク記憶手段１３は、例えば図３に示すランク数１〜１０のランク数毎のマークの表示形態を記憶している。この表示形態は、１〜１０の各ランク数において、ランク数と同数であって大きさと色ともに異なる円形のマークである。ランク数１０の表示形態では、最小測定値のランクである第１ランクは紫色１号円、第２ランクは紺色２号円、第３ランクは青色３号円、第４ランクは水色４号円、第５ランクは緑色５号円、第６ランクは黄緑色６号円、第７ランクは黄色７号円、第８ランクは橙色８号円、第９ランクは赤色９号円、最大測定値のランクである第１０ランクは茶色１０号円である。つまり、各ランクで色が異なるとともに、円の大きさも異なっており、１号円から順に円の半径は大きくなり、１０号円で最大半径となる。小さい測定値から大きい測定値になるにしたがって順にランクの等級が大きくなる。
【００２２】
さらに、最初に表示されるランク数１のマークは１０ランクの中間ランクである第６ランクの黄緑色６号円を表示し、ランク数２は第５ランクの緑色５号円、第６ランクの黄緑色６号円で、ランク数３は第５ランクの緑色５号円、第６ランクの黄緑色６号円、第７ランクの黄色７号円で表示され、ランク数が増加するにしたがって第６ランクの黄緑色６号円の両側の色の号円が追加される表示形態になっている。
【００２３】
図２Ｉに示す測定点のマーク表示は各測定点の測定終了毎に測定値に基づいてリアルタイムで表示されるが、説明をし易くするために、前もって９点の測定点の測定値を図４に示す。前記のように測定が開始され、測定手段１０によって測定された１点目の測定点Ｎｏ．１の測定値は、３６８．９ｋｃｐｓである。測定点は１点であり、ランク数は１であるので、マーク記憶手段１３からランク数１の表示形態が読みだされ、測定点Ｎｏ．１に対応する位置に黄緑色６号円が適用されて図２Ａの画像が表示手段１２に表示される。このとき、黄緑色６号円の中心が測定点Ｎｏ．１に対応しており、この円内に測定点の測定順を表すアラビア数字１が記号として表示される。以下の測定点においても同様に円形マークの中心が測定点であり、その円内に測定順を表すアラビア数字が表示される。なお、測定点の測定順を表す記号はアラビア数字だけでなく、ローマ数字、アルファベット、片仮名などであってもよい。
【００２４】
同様にして２点目の測定点の測定値は３６８．９ｋｃｐｓである。この測定値は１点目と同じ数値であるので、１点目と同様に黄緑色６号円が適用されて図２Ｂの画像が表示手段１２に表示される。
【００２５】
同様にして３点目の測定点について測定値３６８．８ｋｃｐｓが求められる。処理手段１１が、３測定点の最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６８．８ｋｃｐｓとの差０．１ｋｃｐｓを、測定手段１０に設定された測定値の最小有効値０．１ｋｃｐｓで除算し、その数値に数値１を加算して求めた演算値の数値２と測定点数の数値３とを比較して小さい方の数値である２をランク数と定め、最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６８．８ｋｃｐｓとの差０．１ｋｃｐｓをランク数の数値２で除算した数値０．０５をランク幅と決定する。次に、処理手段１１は、１点目と２点目の測定値の差はなく、３点目と１点目との差は０．１ｋｃｐｓであることに基づいて、１点目と２点目は同一ランク、３点目は１点目よりも１ランク小さいランクとしてランク分けし、マーク記憶手段１３からランク数２の表示形態を読出して、測定点Ｎｏ．１とＮｏ．２に黄緑色６号円を、測定点Ｎｏ．３に緑色５号円を適用して図２Ｃの画像を表示手段１２に表示させる。このように、測定値の所定の最小有効値に基づいてランク数を適切に決定することができる。
【００２６】
同様にして４点目の測定点について測定値３６６．６ｋｃｐｓが求められる。処理手段１１は、４測定点の最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６６．６ｋｃｐｓとの差２．３ｋｃｐｓを、測定手段１０に設定された測定値の最小有効値０．１ｋｃｐｓで除算し、その数値に数値１を加算して求めた演算値の数値２４と測定点数の数値４とを比較して小さい方の数値である４をランク数と定め、最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６６．６ｋｃｐｓとの差２．３ｋｃｐｓをランク数の数値４で除算した数値０．５７をランク幅と決定する。次に、処理手段１１は、１点目と２点目の測定値の差はなく、３点目と１点目との差は０．１ｋｃｐｓ、１点目と４点目との差は２．３ｋｃｐｓであることに基づいて、３点目は１点目から１（０．１／０．５７≦１）ランク幅以内のランクであって１点目〜３点目は同一ランク、４点目は１点目よりも４．０３（２．３／０．５７≒４．０３）ランク幅だけ小さいランクとしてランク分けし、マーク記憶手段１３からランク数４の表示形態を読出して、測定点Ｎｏ．１〜３に黄色７号円を、測定点Ｎｏ．４に水色４号円を適用して図２Ｄの画像を表示手段１２に表示させる。
【００２７】
同様にして５点目の測定点について測定値３６５．６ｋｃｐｓが求められる。処理手段１１は、５測定点の最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６５．６ｋｃｐｓとの差３．３ｋｃｐｓを、測定手段１０に設定された測定値の最小有効値０．１ｋｃｐｓで除算し、その数値に数値１を加算して求めた演算値の数値３４と測定点数の数値５とを比較して小さい方の数値である５をランク数と定め、最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３６５．６ｋｃｐｓとの差３．３ｋｃｐｓをランク数の数値５で除算した数値０．６６をランク幅と決定する。次に、処理手段１１は、１点目と２点目の測定値の差はなく、３点目と１点目との差は０．１ｋｃｐｓ、１点目と４点目との差は２．３ｋｃｐｓであり、１点目と５点目との差は３．３ｋｃｐｓであることに基づいて、３点目は１点目から１（０．１／０．６６≦１）ランク幅以内のランクであって１点目〜３点目は同一ランク、４点目は１点目よりも３．４８（２．３／０．６６≒３．４８）ランク幅だけ小さいランク、５点目は１点目よりも５．００（３．３／０．６６＝５．００）ランク幅だけ小さいランクとしてランク分けし、マーク記憶手段１３からランク数５の表示形態を読出して、測定点Ｎｏ．１〜３に橙色８号円を、測定点Ｎｏ．４に緑色５号円を、測定点Ｎｏ．５に水色４号円を適用して図２Ｄの画像を表示手段１２に表示させる。
【００２８】
同様にして、測定手段１０が６〜８点目の測定点を測定し、処理手段１１がそれぞれの測定値を処理して、各測定点数に対応した図２Ｅ〜２Ｈの画像を表示手段１２に表示させる。
【００２９】
同様にして９点目の測定点について測定値３５９．４ｋｃｐｓが求められる。処理手段１１は、９測定点の最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３５９．４ｋｃｐｓとの差９．５ｋｃｐｓを、測定手段１０に設定された測定値の最小有効値０．１ｋｃｐｓで除算し、その数値に数値１を加算して求めた演算値の数値９６と測定点数の数値９とを比較して小さい方の数値である９をランク数と定め、最大測定値３６８．９ｋｃｐｓと最小測定値３５９．４ｋｃｐｓとの差９．５ｋｃｐｓをランク数の数値９で除算した数値１．０６をランク幅と決定する。
【００３０】
次に、処理手段１１は、１点目と２点目の測定値の差はなく、３点目と１点目との差は０．１ｋｃｐｓ、１点目と４点目との差は２．３ｋｃｐｓ、１点目と５点目との差は３．３ｋｃｐｓ、１点目と６点目との差は５．４ｋｃｐｓ、１点目と７点目との差は３．４ｋｃｐｓ、１点目と８点目との差は８．１ｋｃｐｓ、１点目と９点目との差は９．５ｋｃｐｓであることに基づいて、３点目は１点目から１（０．１／１．０６≦１）ランク幅以内のランクであって、１点目〜３点目は同一ランク、４点目は１点目よりも２．１７（２．３／１．０６≒２．１７）ランク幅だけ小さいランク、５点目は１点目よりも３．１１（３．３／１．０６≒３．１１）ランク幅だけ小さいランク、６点目は１点目よりも５．０９（５．４／１．０６≒５．０９）ランク幅だけ小さいランク、７点目は１点目よりも３．２０（３．４／１．０６≒３．２０）ランク幅だけ小さいランク、８点目は１点目よりも７．６４（８．１／１．０６≒７．６４）ランク幅だけ小さいランク、９点目は１点目よりも８．９６（９．５／１．０６≒８．９６）ランク幅だけ小さいランクとしてランク分けし、マーク記憶手段１３からランク数９の表示形態を読出して、測定点Ｎｏ．１〜３に茶色１０号円を、測定点Ｎｏ．４に橙色８号円を、測定点Ｎｏ．５とＮｏ．７に黄色７号円を、測定点Ｎｏ．６に緑色５号円を、測定点Ｎｏ．８に青色３号円を、測定点Ｎｏ．９に紺色２号円を適用して図２Ｉの画像を表示手段１２に表示させる。
【００３１】
本発明の実施形態によれば、標準物質を使用せず、各測定点の測定終了毎に、各測定点の測定値のランクに対応した大きさと色のマークが各測定点に対応した位置に画像表示されるので、装置の設置場所や測定者の如何にかかわらず、各測定点の測定値のランクを視覚的に容易に判別することができる。
【００３２】
次に、図４に示した測定値の試料と異なる試料の測定において、上限と下限の分析管理値が測定手段１０に入力され、設定されて測定されたマークの画像表示を図５に示す。処理手段１１が、測定点Ｎｏ．８とＮｏ．９の測定値は上限を超え、測定点Ｎｏ．１の測定値は下限未満であり、いずれも異常値であるとし、表示手段１２に測定点Ｎｏ．８は赤色９号円、測定点Ｎｏ．９は茶色１０号円、測定点Ｎｏ．１は紺色２号円で表示させ、それぞれのマークの全体に赤色の×印を付けて表示させている。併せて、例えばＦＰ法の演算が収束しない測定点Ｎｏ．１０の場合には、処理手段１１が演算エラーと判断して異常値マークを表示手段１２に表示させる。演算エラーの異常値マークは図５に示すように、灰色１号円に赤色の×印を付けて表示させている。
【００３３】
このように、分析管理値の範囲内でない測定値や演算エラーの測定値に異常値マークが、その測定点に対応する位置に表示されるので、視覚的に容易に異常値の測定点を判別することができる。
【００３４】
表示手段１２が、試料の各測定点に対応した位置にマークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とを同一画面に表示するのが好ましい。例えば、図６に示すように、表示手段１２が、左画面に測定値リストを表示し、右下画面において試料の各測定点に対応した位置にマークを表示する画像を表示する。測定者がこの右下画面のマークをマウスでクリックすると、そのマークに対応する測定値リストの測定点の測定値がハイライト表示される。また逆に、測定値リストの測定値をマウスでクリックすると、その測定値に対応する右下画面のマークがハイライト表示される。
【００３５】
この場合には、試料の各測定点に対応した位置にマークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とが同一画面に表示されるので、各測定点の測定値のランクを容易に視覚的に判別できるとともに、各測定点の測定値そのものを判別することができる。
【００３６】
図７に示すように、測定者が表示手段１２のマウス（図示なし）のマウスポインタを画像のマークに位置させると、表示手段１２によってそのマークが表示されている測定点の測定値がポップヒントとして表示されるのが好ましい。このポップヒントによって測定値そのものをマーク表示画面より直接読み取ることができる。本実施形態における円形マークの１号円の半径は試料Ｓのシリコンウエーハの半径の１／１５、１０号円の半径はシリコンウエーハの半径の１／５の比率でシリコンウエーハの円形状とともに表示されるのが好ましい。測定点が近接しマークが重なるときは小さいマークが前面（手前）に表示されるのが好ましく、複数のマークが重なって表示される場合にも視覚的に容易に判別できる。
【００３７】
マークの形状は円形に限らず三角形、四角形、五角形以上の多角形であってもよく、これらの相似形のマークの大小によって測定値の大小が表示される。これらの形状のマークを使用した場合も円形マークと同様に、マークの中心（重心）が測定点であり、そのマーク内に測定順を表す記号が表示され、異常値には×印が表示される。
【００３８】
本実施形態では測定点は９点であったが、それよりも多い点数であってもよく、例えば図９に１７点の測定点のマーク表示画像を示している。また、ランク数１０の実施形態について説明したが、ランク数１０を超えて表示してもよく、マークを大きさとともに色の３要素の色相、彩度、明度を変化させて表示すればよい。
【００３９】
本実施形態では試料としてシリコンウエーハの円形試料について説明したが、ドーナツ形試料、四角形試料などの試料形状を測定手段１０に入力することによって、図８や図９に示すようにドーナツ形試料、四角形試料などについても本実施形態と同様のマーク表示をすることができる。
【００４０】
本実施形態の装置では、ゴニオメータを走査（スキャン）する走査型の波長分散蛍光Ｘ線分析装置について説明したが、測定元素毎に独立のゴニオメータを配して同時に多元素を分析する多元素同時型の波長分散蛍光Ｘ線分析装置でもよく、エネルギー分散型の蛍光Ｘ線分析装置であってもよい。
【符号の説明】
【００４１】
１ Ｘ線源
２ １次Ｘ線
４、６ ２次Ｘ線
８ 試料移動手段
９ 検出手段
１０ 測定手段
１１ 処理手段
１２ 表示手段
１３ マーク記憶手段
Ｓ 試料
【特許請求の範囲】
【請求項１】
試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線源から１次Ｘ線が照射された試料から発生する２次Ｘ線の強度を検出する検出手段と、
試料を測定位置に移動させる試料移動手段と、
前記試料移動手段を制御して試料を移動させ、試料の所定の測定点に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させて前記検出手段によって検出された２次Ｘ線の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段と、
前記測定手段による各測定点の測定終了毎に、測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、ランクによって大きさおよび色が異なるマークを決定する処理手段と、
前記処理手段によって決定されたマークを試料の各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段と、
を備えるＸ線分析装置。
【請求項２】
請求項１において、
さらに、ランク数毎にランク数と同数の、ランクによって大きさおよび色が異なるマークの表示形態を記憶しているマーク記憶手段を備え、
前記処理手段が、前記ランク分けしたランク数と同数のマークの表示形態を前記マーク記憶手段から読出して、各ランクに適用して前記表示手段に各ランクのマークを試料の各測定点に対応した位置に画像表示させるＸ線分析装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記処理手段が、前記測定手段によって測定された最大測定値と最小測定値との差を前記測定手段に設定された測定値の最小有効値で除算した数値に数値１を加算し、この演算された数値と測定点数とのうち小さい方の数値を前記マークの前記ランク数とし、最大測定値と最小測定値の差を前記ランク数で除算した数値をランク幅として決定し、それぞれの測定値の差が前記ランク幅以内の測定値を同一ランクとしてランク分けするＸ線分析装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において、
前記処理手段が、前記測定手段に入力され設定されている分析管理値の範囲を超える測定値および／または前記測定手段において測定値を求める際の演算エラーを異常値として、前記表示手段に異常値マークをその測定点に対応した位置に画像表示させるＸ線分析装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項において、
前記表示手段が表示する前記マークの形状は、円形または多角形の相似形状であるＸ線分析装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項において、
前記表示手段が前記マークに測定順を表す記号を表示するＸ線分析装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項において、
前記表示手段が、試料の各測定点に対応した位置に前記マークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とを同一画面に表示するＸ線分析装置。
【請求項１】
試料に１次Ｘ線を照射するＸ線源と、
前記Ｘ線源から１次Ｘ線が照射された試料から発生する２次Ｘ線の強度を検出する検出手段と、
試料を測定位置に移動させる試料移動手段と、
前記試料移動手段を制御して試料を移動させ、試料の所定の測定点に前記Ｘ線源から１次Ｘ線を照射させて前記検出手段によって検出された２次Ｘ線の強度に基づいて複数の測定点について測定値を求める測定手段と、
前記測定手段による各測定点の測定終了毎に、測定済の測定点を所定の測定値範囲毎にランク分けして、ランクによって大きさおよび色が異なるマークを決定する処理手段と、
前記処理手段によって決定されたマークを試料の各測定点に対応した位置に画像表示する表示手段と、
を備えるＸ線分析装置。
【請求項２】
請求項１において、
さらに、ランク数毎にランク数と同数の、ランクによって大きさおよび色が異なるマークの表示形態を記憶しているマーク記憶手段を備え、
前記処理手段が、前記ランク分けしたランク数と同数のマークの表示形態を前記マーク記憶手段から読出して、各ランクに適用して前記表示手段に各ランクのマークを試料の各測定点に対応した位置に画像表示させるＸ線分析装置。
【請求項３】
請求項１または２において、
前記処理手段が、前記測定手段によって測定された最大測定値と最小測定値との差を前記測定手段に設定された測定値の最小有効値で除算した数値に数値１を加算し、この演算された数値と測定点数とのうち小さい方の数値を前記マークの前記ランク数とし、最大測定値と最小測定値の差を前記ランク数で除算した数値をランク幅として決定し、それぞれの測定値の差が前記ランク幅以内の測定値を同一ランクとしてランク分けするＸ線分析装置。
【請求項４】
請求項１〜３のいずれか一項において、
前記処理手段が、前記測定手段に入力され設定されている分析管理値の範囲を超える測定値および／または前記測定手段において測定値を求める際の演算エラーを異常値として、前記表示手段に異常値マークをその測定点に対応した位置に画像表示させるＸ線分析装置。
【請求項５】
請求項１〜４のいずれか一項において、
前記表示手段が表示する前記マークの形状は、円形または多角形の相似形状であるＸ線分析装置。
【請求項６】
請求項１〜５のいずれか一項において、
前記表示手段が前記マークに測定順を表す記号を表示するＸ線分析装置。
【請求項７】
請求項１〜６のいずれか一項において、
前記表示手段が、試料の各測定点に対応した位置に前記マークを表示する画像と、各測定点の測定値のリスト画像とを同一画面に表示するＸ線分析装置。
【図１】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図２Ｄ】
【図２Ｅ】
【図２Ｆ】
【図２Ｇ】
【図２Ｈ】
【図２Ｉ】
【図４】
【図６】
【図３】
【図５】
【図７】
【図８】
【図９】
【図２Ａ】
【図２Ｂ】
【図２Ｃ】
【図２Ｄ】
【図２Ｅ】
【図２Ｆ】
【図２Ｇ】
【図２Ｈ】
【図２Ｉ】
【図４】
【図６】
【図３】
【図５】
【図７】
【図８】
【図９】
【公開番号】特開２０１１−２４７７４０（Ｐ２０１１−２４７７４０Ａ）
【公開日】平成２３年１２月８日（２０１１．１２．８）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２０１０−１２１０３４（Ｐ２０１０−１２１０３４）
【出願日】平成２２年５月２６日（２０１０．５．２６）
【出願人】（０００２５０３３９）株式会社リガク (206)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年１２月８日（２０１１．１２．８）
【国際特許分類】
【出願日】平成２２年５月２６日（２０１０．５．２６）
【出願人】（０００２５０３３９）株式会社リガク (206)
【Ｆターム（参考）】
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