【課題】複数のフィラメントを同時に交換することにより、フィラメント交換の作業時間を短縮でき、イオン注入装置の稼働率を向上できるイオン源及びそのフィラメント交換方法を提供する。
【解決手段】本発明のイオン源１は、プラズマ生成容器４に隣接して設けられた真空ボックス５と、真空ボックス５内に設けられ先端部で複数のフィラメント３をそれぞれ支持する複数の支持アーム７と、真空ボックス５とプラズマ生成容器４との間に配置され両者間を気密に仕切る開閉可能なゲートバルブ６と、真空ボックス５内を真空状態とするための真空機構９と、を備える。真空ボックス５には大気開放するための蓋部材８が設けられている。ゲートバルブ６は支持アーム７及びフィラメント３が通過可能な開口部１４を有している。支持アーム７は、先端に設けられたフィラメント３を、開状態のゲートバルブの開口部１４を通過させて真空ボックス５とプラズマ生成容器４との間を移動させるように真空ボックス５に設けられている。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成にて、高強度で塵や錆の発生が防止されたアイを有する被覆ワイヤ及びその製造方法を提供する。
【解決手段】アイ付き被覆ワイヤは、被覆層(8)にて覆われたワイヤロープ(6)の本体部(6a)と、被覆層(8)の少なくとも一端側から突出し、環状に湾曲されたワイヤロープ(6)の湾曲部(6b)と、湾曲部(6b)の先端側と基端側とを結合する結合部材(10)と、湾曲部(6b)が挿通されたチューブ(12)とを備える。 （もっと読む）

【課題】監視対象領域の状況変化に応じて長期に亘って安定に所要とする監視性能を維持することのできる簡易な構成のレーザ監視装置を提供する。
【解決手段】監視対象領域の全域に亘ってパルスレーザ光を走査しながら所定の周期で照射し、この走査に同期して前記監視対象領域における前記パルスレーザ光の反射光を受光して前記監対象領域における物体の有無を監視するレーザ監視装置において、前記監視対象領域における物体検出状況に応じて前記パルスレーザ光の出力強度を可変設定するレーザ光強度調整手段を備える。 （もっと読む）

【課題】 搬送テーブルの高速移動と、位置決め分解能の高い低速移動を実施できるようにする。
【解決手段】 駆動モータ８の出力軸８ａに、ローラ支持フレーム１０を、出力軸８ａの回転と独立して旋回可能に取り付ける。ローラ支持フレーム１０のテーブル移動方向の一端部に支持した高速側動力伝達軸１２に、出力軸８ａ上の出力ローラ１１に接触させる高速側減速ローラ１３と、大径の高速側駆動ローラ１４を取り付ける。テーブル移動方向の他端部に支持した低速側動力伝達軸１５に、出力ローラ１１に接触させる低速側減速ローラ１６と、小径の低速側駆動ローラ１７を取り付ける。ローラ支持フレーム１０を旋回させることで、高速側駆動ローラ１４がスライドバー２に接する状態と、低速側駆動ローラ１７がスライドバーに接する状態とを切り替えて運転させる。 （もっと読む）

【課題】ＢＯＧ圧縮機の容量調整範囲を超えて、ＢＯＧ圧縮機の容量調整下限より少ない容量から容量調整上限より多い容量までＢＯＧを圧縮することができるＢＯＧ圧縮設備及び方法を提供する。
【解決手段】低温液化ガスを貯蔵する貯蔵タンク１１内で発生したＢＯＧを所定の吐出圧力まで圧縮するＢＯＧ圧縮機１２と、ＢＯＧを貯蔵タンクからＢＯＧ圧縮機まで供給するメイン配管１４と、メイン配管と並列に設置されＢＯＧをＢＯＧ圧縮機の吸入側まで供給するサブ配管１６と、サブ配管の途中に設けられＢＯＧを所定の吸入圧力まで加圧するサクションガスブースター１８と、貯蔵タンク内の圧力を検出しメイン配管又はサブ配管を切替制御する圧力制御器２０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 搬送テーブルの大きな推力と、高精度の位置決めを両立させる。
【解決手段】 搬送テーブルに設けた駆動モータ６の出力軸６ａに、踏面７ａがフラットな小径の出力ローラ７を取り付ける。上下方向の動力伝達軸８の上部に、踏面９ａがフラットな大径の中間ローラ９を取り付けて、出力ローラ７に接触させる。動力伝達軸８の下部に、大径の駆動ローラ１０を取り付けて、ローラクラウンを有する踏面１０ａを、スライドバー２に接触させる。駆動モータ６の回転を、出力ローラ７と中間ローラ９の径の比に応じて減速させた後、駆動ローラ１０へ伝えることで、位置決め分解能を向上させる。
出力ローラ７と中間ローラ９の間は、フラットな踏面７ａ，９ａ同士を接触させることで大きな接触面積を確保させ、駆動ローラ１０とスライドバー２の間は、駆動ローラ１０を大径とすることで、大きな接触面積を確保させる。 （もっと読む）

【課題】大歯車軸に過大な軸移動が発生した場合、またはスラストカラーの不具合（抜けなど）が発生した場合でも、羽根車とケーシングとの過大接触を本質的に回避することができる歯車駆動ターボ圧縮機を提供する。
【解決手段】外部駆動装置により回転駆動される大歯車１２と、大歯車と歯合し高速回転する小歯車１４と、小歯車軸１３に固定されその軸心を中心に高速回転する羽根車１６と、小歯車軸に固定され大歯車の側面を摺動可能に支持し小歯車軸のスラスト力を大歯車に伝達するスラストカラー１８と、大歯車軸に作用するスラスト力を支持するスラスト軸受２０と、スラスト軸受２０で支持された小歯車軸１３が所定の閾値を超えて軸移動するときにその軸移動を制限するスラスト方向移動量制限器３０とを備える。 （もっと読む）

【課題】 遮蔽材や緩衝材の挿入作業の作業性を向上させる。
【解決手段】 軸心方向両端部が閉塞された横方向の円筒形状のものを、軸心位置を通る水平面で上下に２分割して上部容器２と下部容器３を形成し、それぞれの開口部２ａ，３ａの軸心方向に沿う対辺部分の外側にフランジ部４，５を設ける。各フランジ部４，５には、ボルト孔６を設ける。上部と下部の各容器２と３の内側に配置する遮蔽材又は緩衝材は、半円形状ブロック１０と半円環形状ブロック１１に成形しておく。下部容器３の内側に、各ブロック１０，１１を挿入した後、半円環形状ブロックの上側に形成される凹部にキャニスタ９を載置し、その上に、各ブロック１０，１１と上部容器３を順に載置してから、上部容器２と下部容器３の上下に重なるフランジ部４，５同士をボルト７とナット８で連結して、キャニスタ収納容器１を形成させる。 （もっと読む）

【課題】部材の移動操作の精度を特段に向上させる必要を生ずることなく、軸部品１０２の孔への挿入を短時間で完了することができ、さらに、軸部品１０２を孔部品１０１に押し付けたままで移動させることがない組立方法及び組立装置を提供する。
【解決手段】孔部品１０１又は軸部品１０２のいずれかを把持して移動操作して孔１０３に軸部品１０２を挿入する組立方法において、孔１０３に軸部品１０２を挿入させるときに軸部品１０２の先端部と孔１０３の周囲部とが当接した場合に孔部品１０１が受ける挿入方向の並進力及びこれに直交する軸周りのモーメントを検出し、検出された並進力及びモーメントに基づく演算を行い軸部品１０２の先端部の当接位置の孔１０３の中心からの方向及び距離を算出し、算出された方向及び距離に応じて孔部品１０１、または、軸部品１０２のいずれかを移動操作して、軸部品１０２を孔１０３に挿入させる。 （もっと読む）

【課題】掘穴内を自走してセグメントを組み立てることができる自走式エレクターおよびトンネル構築方法を提供する。
【解決手段】掘穴内を自走すると共に、その掘穴にセグメント３を組み立てる自走式エレクター１において、上記セグメント３を組み立てるためのエレクター本体６と、そのエレクター本体６を支持するための内筒２と、その内筒２の外周に前後方向に並べてスライド可能に嵌め合わされた複数の外筒４１−４３と、各外筒４１−４３の外周から既設セグメント３まで外方に張り出して該既設セグメント３を押圧し、かつ内方に縮退可能なグリッパー手段７と、各外筒４１−４３と上記内筒２とを前後方向に相対移動、或いは固定するためのスライド手段５と、上記内筒２内に形成され該内筒２を前後方向に挿通する搬送通路８とを備えたものである。 （もっと読む）