説明

株式会社小松製作所により出願された特許

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【課題】常に安定な出力及び波長を得ることが可能な、注入同期式又はMOPA方式のレーザ装置を提供する。
【解決手段】このレーザ装置は、オシレータ放電によってレーザガスを励起するオシレータ放電回路を有するオシレータと、増幅放電によってシードレーザ光を増幅する増幅放電回路を有する増幅器と、シードレーザ光の発光から出射レーザ光の発光まで、或いは、オシレータ放電の開始から増幅放電の開始までの遅れ時間を設定する遅延回路と、オシレータ及び増幅器にそれぞれ設けられ、オシレータ放電回路及び増幅放電回路にそれぞれ印加される充電電圧に基づいてトリガ信号からオシレータ放電及び増幅放電の開始までの総所要時間のジッタを補正する複数のジッタ補正回路と、オシレータ放電回路及び増幅放電回路の特性の変化に基づいて複数のジッタ補正回路をそれぞれ補正する複数のドリフト補正回路とを具備する。 (もっと読む)


【課題】LPP式EUV光源装置において、EUVコレクタミラーのスパッタ量を正確に反映させることにより、ミラー交換の時期を適切に判断できるようにする。
【解決手段】このEUV光源装置は、真空チャンバ内に配置され、プラズマから発生したイオンを検出して、そのイオン量を表す検出信号を出力するイオン検出器と、該イオン検出器から出力された検出信号に基づいて、イオン量を積算して積算値を算出する計算部と、該計算部によって算出された積算値が所定の基準値に至った場合に、集光ミラーの交換時期又は修理時期を表す判定信号を出力する判定部とを含む。 (もっと読む)


【課題】LPP式EUV光源装置において、EUVコレクタミラーのスパッタ量を正確に反映させることにより、ミラー交換の時期を適切に判断できるようにする。
【解決手段】このEUV光源装置は、真空チャンバ内に配置され、表面に膜が形成されているセンサを有し、プラズマから発生したイオンを含む粒子が該センサ表面に形成された膜をスパッタすることにより生じる膜厚の変化をモニタして、膜厚の変化を表す検出信号を出力するスパッタ量検出器と、該スパッタ量検出器から出力された検出信号に基づいて、膜厚の変化量を算出する計算部と、該計算部によって算出された膜厚の変化量が所定の基準値に至った場合に、集光ミラーの交換時期又は修理時期を表す判定信号を出力する判定部とを含む。 (もっと読む)


【課題】メインフレームによって形成したハウジング室の上方に補強用の部材を配設することなく、メインフレームの底部フレームから立設した左右一対のサイドフレームにおける剛性を高めた、スキッドステアローダにおける車体構造を提供する。
【解決手段】底部フレーム14から立設された左右一対のサイドフレーム13の下端部には、対向するサイドフレーム13の側面間に挿入され、各サイドフレーム13の後端面に当接する補強部材としての厚板板金15を設ける。各サイドフレーム13の下端部側におけるコーナー部において、コーナー部に配したL型ガセット17によって、厚板板金15の上面と各サイドフレーム13の側面側と固定する。これにより、従来、エンジン室23の上方に配していた補強用の部材を廃止できる。 (もっと読む)


【課題】 分光器における受光部のスペックルを軽減し、スペクトルE95の高精度な計測を行うこと。
【解決手段】 計測光(レーザ光)をレンズで集光し、光ファイバ12を通して取り込む。光ファイバ12の出射側には、ファイバ揺動/移動機構13が設けられており、計測の間、常時、揺動もしくは移動させる。光ファイバ12から出射される光は、シリンドリカルレンズから構成されるコリメータレンズ14により集光され、エタロン15に入射する。エタロン15から出た光は、集光レンズ16で集光され、CCDセンサなどのセンサ17上にフリンジ像が結像する。センサ17により取得したデータは積算処理され、波長スケール変換された後、デコンボリューション処理され、E95が計測される。 (もっと読む)


【課題】ラバースプリング装置がアコーディオン状の変形を生じたとしても、ラバー層の径方向内部において、局部的な亀裂の発生を防止し、耐久性の向上を図ることのできるラバースプリング装置を架設したオフロードトラックを提供する。
【解決手段】平面形状でイコライザバーの長手方向と平行な方向に配される長さ寸法Wを、車軸方向と平行な方向に配される長さ寸法Hよりも短く構成した硬質板32と、ラバー層33とを交互に貼り合せて複数層に積層し、ラバースプリング装置30を構成する。このラバースプリング装置30を、アーティキュレートダンプトラックにおけるイコライザバーの端部とセンタ車軸との間に配設して、サスペンションとして機能させる。これにより、ラバースプリング装置30がアコーディオン状に変形したとしても、ラバー層33内での内部応力のピーク位置を分散させて小さくさせることができ、ラバー層内での亀裂の発生を防止できる。 (もっと読む)


【課題】必要ガス流速の増大及びファンへの投入電力の増大を抑え、4kHz以上のさらなる高繰り返し動作と長時間使用を可能にした放電励起式パルス発振ガスレーザ装置を提供する。
【解決手段】細長いアノードとカソードの放電面形状が、電極長手方向に直交する断面において凸面の曲線形状であり、接地電位の電極の幅Weと放電電極間の最小間隔gがg/We>3の関係を有し、放電電極間へ4KHz以上のパルス繰り返し数で、50mJ/cm3以上の密度の電力を供給する電源を備えており、放電面の凸面の曲線形状が、楕円、双曲線、又は、xN/(We/2)N+yN/hN=1(hは電極曲線部高さ、xは電極の幅方向の位置座標、yは電極の凸面方向の座標、Nは3以上の整数)で表現される高次関数の何れかであり、電極幅内において、ΔE=電界強度の差、Eave=電界強度平均値とし、その割合ΔE/Eaveが35%以下である。 (もっと読む)


【課題】スペクトル純度幅E95の制御を、中心波長の制御にほとんど影響を与えることなく広い制御範囲で行えるようにし、スペクトル純度幅E95を安定化させた狭帯域化レーザ装置を提供する。
【解決手段】光共振器内の出力側、すなわち出力カプラ31側に波面調整器32が設けられる。レーザチャンバ10で発生した光は、レーザチャンバ10側から波面調整器32を通過し、出力カプラ31に達する。波面調整器32は所望のスペクトル純度幅E95が得られるように、凹レンズ33と凸レンズ34間の距離を調整することで所望の波面になるように調整する。 (もっと読む)


【課題】フィンの厚さを最適化することによって、加工性に優れながら、さらに優れた冷却効果を得ることができる熱交換器を提供する。
【解決手段】建設現場で用いられる機械に搭載され、高温となった冷却水を冷却する熱交換器1であって、内部に冷却水が流れるチューブ21と、チューブ21に接合されるとともに、無開口な面状の放熱面を有したフィン25とを備え、フィン25の厚さが、0.2mmを超え、かつ0.4mm以下に設定されている。また、チューブ21およびフィン25の材料としてはアルミニウムが選択され、互いはアルミニウム鑞を用いることによって接合されて構成されている。 (もっと読む)


【課題】軸受の冷却を確実に行うことができる建設機械の電動モータおよび電動モータの冷却回路を提供すること。
【解決手段】建設機械の電動モータ1の冷却回路は、電動モータ1のロータシャフト81に設けられたシャフト側通路813を含む循環通路と、循環通路に冷却流体を供給するポンプと、循環通路におけるシャフト側通路813以外の部分に設けられてロータシャフト81の軸受7を冷却する軸受冷却用通路23とを備えている。 (もっと読む)


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