【課題】集光ミラーをクリーニングすることに伴うＥＵＶ光発生装置のダウンタイムの低減を図る。
【解決手段】クリーニング位置に位置されている集光ミラーのクリーニングを終了したことが判定され、かつＥＵＶ光集光位置に位置されている集光ミラーがクリーニングを必要とすることが判定された時点で、ＥＵＶ光集光位置に位置され、クリーニングを必要とする集光ミラーを、クリーニング位置まで搬送するとともに、クリーニング位置に位置され、クリーニングが終了した集光ミラーをＥＵＶ光集光位置まで搬送するようにしている。 （もっと読む）

【課題】立ち上がり時の押付力を精度よく制御することができるダイクッション装置を提供する。
【解決手段】ダイクッション装置では、緩衝装置は、減衰部と、弾性部とを有し、クッションパッドと支持部との間での衝撃を緩和させる。減衰部は、支持部に対するクッションパッドの相対速度に応じた反力を生じさせる。弾性部は、支持部に対するクッションパッドの相対変位に応じた反力を生じさせる。制御部１８は、第１速度検出部１５によって検出されたスライドの速度と第２速度検出部１６によって検出された支持部の速度との速度差が、時間の経過に応じて変化する所定の目標値となるようにサーボモータを制御する。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】発振段レーザ５０と増幅段レーザ６０とからなる露光用２ステージレーザ装置であって、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成している。 （もっと読む）

【課題】トランスミッションを大型化することなく、多段化することのできる多軸式トランスミッションを提供する。
【解決手段】入力軸６と、第１中間軸７と、第２中間軸９と、第１中間軸７と同軸上に設けられる第３中間軸８と、第２中間軸９と同軸上に設けられる後側出力軸１０と、前側出力軸１１と、入力軸６上に配され、この入力軸６からの動力を接断するＬクラッチ１４、Ｍクラッチ１５およびＲクラッチ１６と、第１中間軸７上に配され、入力軸６からの動力を接断するＨクラッチ２１および第１速用速度段クラッチ２２と、第２中間軸９上に配され、入力軸６からの動力を接断する第２速用変速段クラッチ３０および第３速用変速段クラッチ２９と、第２中間軸９上に配され、第２中間軸９の出力端に伝達された動力を後側出力軸１０および前側出力軸１１に伝達するインターアクスルディファレンシャル３４とを備える構成とする。 （もっと読む）

【課題】スライドへの押付力の立ち上がり時間を短縮させることができるダイクッション装置を提供する。
【解決手段】ダイクッション装置は、クッションパッドと、支持部と、サーボモータと、緩衝装置１２と、を備える。支持部は、クッションパッドを支持する。サーボモータは、支持部を昇降させることによりクッションパッドを昇降させる。緩衝装置１２は、オリフィス３３を有し、クッションパッドと支持部との間での衝撃を緩和させる。オリフィス３３は、支持部に対するクッションパッドの相対速度に応じた反力を生じさせる。 （もっと読む）

【課題】ＭＯＰＯ方式の高安定性、高出力効率、細い線幅である利点を活かしつつ、空間コヒーレンスを低くした半導体露光装置用に適した２ステージレーザ装置を提供する。
【解決手段】発振段レーザ５０と増幅段レーザ６０とからなる露光用２ステージレーザ装置であって、発振段レーザ５０として発振レーザ光に発散を有するものが用いられ、増幅段レーザ６０は入力側ミラー１と出力側ミラー２とからなるファブリペローエタロン型共振器を備え、その共振器は安定共振器を構成する。 （もっと読む）

【課題】コンパクトな多軸式トランスミッションを提供する。
【解決手段】入力軸３と、入力軸３の動力が伝達される第１中間軸４と、第１中間軸４の動力が伝達される第２中間軸５と、第２中間軸５の動力が伝達される第３中間軸６と、第１中間軸４と同軸上に配される第４中間軸７と、第３中間軸６と同軸上に配される後側出力軸８と、後側出力軸８の動力が伝達される前側出力軸９と、入力軸３からの動力を接断するＦＬクラッチ１３および後進用クラッチ１４と、第１中間軸４上に配され、入力軸３からの動力を接断するＦＨクラッチ１８および第１クラッチ１９と、第２中間軸５上に配され、入力軸３からの動力を接断する第２クラッチ２７および第３クラッチ２６と、第３中間軸６上に配され、入力軸３からの動力を接断する第４クラッチ３２と、第３中間軸６上の第４クラッチ３２と中壁１１を挟んで反対側に配されるインターアクスルディファレンシャル３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】減速力が急に落ちてしまうような感覚を運転者に与えることなく、エンジンのオーバランを防止することのできる作業車両のエンジンオーバラン防止装置を提供する。
【解決手段】エンジン２と変速装置５との間の動力伝達経路に介設されるモジュレートクラッチ４１のクラッチ力を制御するモジュレートクラッチ制御手段（３０，４２）を備える作業車両のエンジンオーバラン防止装置であって、このモジュレートクラッチ制御手段（３０，４２）は、エンジン回転数Ｎｅがエンジンオーバラン閾値Ｎｓ（＝Ｎｏ−ｎ）で推移するようモジュレートクラッチ４１のクラッチ力を制御するものとする（Ｓ２〜Ｓ６）。 （もっと読む）

【課題】
本願発明の目的は、電圧変動する蓄電池の上流側とＩＧＢＴのコレクタが接続されるスイッチング装置において、サージ電圧を効果的に抑制するサージ電圧抑制回路を提供することである。
【解決手段】
ＩＧＢＴのスイッチング回路に設けられた各ＩＧＢＴのコレクタとベース間に、ツェナーダイオードとスイッチング素子が配され、ツェナーダイオードのカソード側がＩＧＢＴのコレクタに接続され、ツェナーダイオードのアノード側はスイッチング素子のコレクタに接続され、スイッチング素子のエミッタはＩＧＢＴのベースに接続され、かつ、スイッチング素子のベースは蓄電池の上流側に接続されてなり、ＩＧＢＴの動作時に、ＩＧＢＴのコレクタ電圧が、蓄電池の電圧とツェナーダイオードのツェナー電圧の合計より大きくなると、スイッチング素子がオンされる。 （もっと読む）

【課題】形状が異なるキャブごとに共通の乗降用ドアを取り付けた場合でも、正面視における外観性を損なうことを回避することが可能な建設機械のキャブを提供する。
【解決手段】油圧ショベル１に搭載されたキャブ１０は、前面部１０ａと、側面部１０ｂと、スライドドアＳＤと、を備えている。前面部１０ａは、後方へ傾斜した状態で取り付けられている。側面部１０ｂは、上部旋回台３上において旋回するキャブ１０の外側の面を構成しており、前後方向においてキャブ幅が広くなるラウンド形状を有している。スライドドアＳＤは、側面部１０ｂに沿って移動可能な状態で、キャブ１０の内側へ傾斜した状態で取り付けられている。 （もっと読む）