【課題】微細気泡を用いた基板処理能力低下を防止すること。
【解決手段】微細気泡を含む処理液Ｓ２を生成する微細気泡発生装置３と、微細気泡を含む処理液Ｓ２を吐出するノズル５と、微細気泡発生装置３とノズル５を接続する配管４ｂと、前記配管４ｂ途中で配管内壁に付着した気泡を取り除く排気機構を設ける。ここで、排気機構は、内側の配管４１ａ、この内側の配管４１ａと外側の配管４１ｂとの間に形成された空間Ｋ、ポンプＰ２によって構成される。 （もっと読む）

【課題】洗浄工程数を減らし、さらに、基板に対する汚染粒子の再付着を防止する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、基板Ｗを搬送する搬送部２と、その搬送部２により搬送される基板Ｗの被洗浄面Ｓに、酸化膜除去可能な液体中に酸化性ガスを溶存状態および微小気泡状態で有する洗浄液を供給する供給ノズル３とを備え、その供給ノズル３は、被洗浄面Ｓ上に到達した微小気泡がサイズ変化を抑えつつ基板Ｗの外縁まで移動する流速で洗浄液を供給する。 （もっと読む）

【課題】シートの送り長さを精度よく制御することができるようにした実装装置を提供することにある。
【解決手段】上面に基板８が載置されるステージ１０と、ステージに載置された基板の電子部品が実装される側辺部の下面を支持するバックアップツール３と、基板のバックアップツールによって支持された部分の上面にＴＣＰ７を加圧して実装する加圧ツール４と、供給リール２２から繰り出されて基板と加圧ツールとの間を通されて巻き取りリール３３に巻き取られるシート２１と、下部ローラ２７及び下部ローラに転接する上部ローラ２８を有し、実装ツールの前側と後側に配置されシートの実装ツールの前側と後側に位置する部分を挟持するとともに下部ローラが回転駆動されてシートの実装ツールに対応する部分を下部ローラの回転方向に応じて送る一対のシート送り機構２６Ａ，２６Ｂを具備する。 （もっと読む）

【課題】基板を洗浄する回転ブラシに、汚染粒子が静電吸着されることを防止することができる基板洗浄装置、基板洗浄方法、表示装置の製造装置及び表示装置の製造方法を提供する。
【解決手段】基板洗浄装置１は、基板９を搬送する搬送機構２と、基板９との摩擦によりマイナスに帯電する材料で形成され、基板９に接触して回転することにより基板９に付着している汚染粒子を除去する回転ブラシ３と、マイナスに帯電している微小気泡を含む洗浄液を回転ブラシ３に向けて供給する第１洗浄液供給部６と、を備える。 （もっと読む）

【課題】この発明は不良チップをピックアップせず、良品チップだけを確実にピックアップできるピックアップ装置を提供することにある。
【解決手段】半導体ウエハを照明する光源４４と、半導体ウエハの各チップを撮像する撮像カメラ４３と、撮像カメラによってチップを撮像するとき、光源によって半導体ウエハを照明する照明光の光量を、ミラーチップからの反射光の影響を受ける部分ではその影響の度合に応じて影響を受けない部分よりも減少させる設定部４２及び演算処理部４７と、光量が制御された照明光によって半導体ウエハを照射して撮像カメラで撮像し、撮像カメラの撮像信号を閾値と比較してチップが良品チップ或いは不良チップであるかを判定する制御装置４１の判定部４８具備する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、基板に対してＴＣＰの実装を能率よく行なうことができるようにした実装装置を提供することにある。
【解決手段】矩形状の基板を供給する供給部５と、供給部に並設され供給部から供給された基板の長辺にＴＣＰを実装する一対の第１の実装部１４Ａ，１４Ｂと、第１の実装部に並設されこの実装部でＴＣＰが実装された基板が排出される排出部１１と、供給部の基板を一対の第１の実装部に対して交互に供給する第１の供給用搬送テーブル２３、ＴＣＰが実装され終わった基板を交互に取り出して排出部に搬送する搬出用搬送テーブル５２を具備する。 （もっと読む）

【課題】 金属イオンによる塗布対象物の品質低下を抑制して良好な塗布を行なう。
【解決手段】 ノズルプレート７ｂが金属材料で構成されたインクジェット式の塗布ヘッド７に供給する塗布液を貯留する給液タンク１２と、塗布ヘッド７と給液タンク１２とを接続し塗布ヘッド７に塗布液を供給する給液管１３、１４と、塗布ヘッド７から塗布液を排出する排液管２２、２３と、給液タンク１２に貯留された塗布液を塗布ヘッドに向けて送液する送液手段１８と、この送液手段１８を制御する制御装置とを備え、制御装置は、塗布液中に含有される金属イオンの濃度が設定濃度に到達したときに、塗布液を排出管を通して排出させるように送液手段１８を制御する。 （もっと読む）

【課題】この発明は、基板に対してＴＣＰの実装を能率よく行なうことができるようにした実装装置を提供することにある。
【解決手段】基板を供給する供給部４に並設された第１の支持部５と、第１の支持部に支持された基板の長辺の１つにＴＣＰを実装する第１の実装部８と、第１の支持部に並設され基板を９０度回転させて支持する第２の支持部６と、第２の支持部に対向して設けられ基板の短辺にＴＣＰを実装する第２の実装部９と、第２の支持部に並設されＴＣＰが実装された基板が排出される排出部７と、上記各部の並設方向に沿って直線的に駆動可能に設けられ供給部の基板を第１の支持部に供給するとともに、第１の支持部で長辺にＴＣＰが実装された基板を排出するときには、その基板を第１の支持部から排出部に搬送し、第１の実装部で長辺にＴＣＰが実装された基板の短辺にＴＣＰを実装するときには、その基板を第２の支持部に供給してから排出部に搬送する搬送手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】塗布ヘッドの吐出安定性を正確に判定する。
【解決手段】液滴を吐出する吐出口を有する塗布ヘッド４の吐出不良を検出する吐出不良検出装置８は、塗布ヘッド４の吐出口から液滴が吐出される空間を撮像する撮像部８ａと、その撮像部８ａにより撮像された画像を処理し、その画像中に点状の画像があるか否かを判断し、画像中に点状の画像があると判断した場合、塗布ヘッド４の吐出が安定していないと判定する判定部８ｆとを備える。 （もっと読む）

【課題】シール若しくは接着剤の流動防止のための線幅を細く維持しつつ、均一で高い充填空間を確保できる接着剤供給装置及び接着剤供給方法を提供する。
【解決手段】紫外線の照射により硬化する接着剤Ｒを供給する接着剤供給装置において、ワークＳ１に対して線状に接着剤Ｒを供給する供給部１０と、供給部１０による接着剤Ｒの供給とともに、接着剤ＲにおけるワークＳ１との界面に対して、界面における接着剤が硬化するのに必要なエネルギーを有する紫外線を照射する照射部１１と、を有する。 （もっと読む）