【課題】基板上の金属層の機能性が低下することを抑止することができる基板処理装置、及び基板処理方法を提供する。
【解決手段】基板処理装置１は、遷移金属により形成された金属層を有する基板Ｗの表面に第１の処理液を供給する第１の処理液供給装置６と、基板Ｗの表面に遷移金属に対して吸着特性を有する分子を含む第２の処理液を供給する第２の処理液供給装置７とを備える。 （もっと読む）

【課題】ロール状に巻かれたテープ状部材を走行させながら洗浄ガスによって洗浄する洗浄装置を提供することにある。
【解決手段】テープ状部材が巻装された供給リール２９と、供給リールに巻装されたテープ状部材を巻き取る巻取りリールと、巻取りリールと供給リールとの間に設けられ内部にテープ状部材が通されていて、巻取りリールによって巻き取られることでテープ状部材が内部を走行するよう配置された洗浄チャンバと、洗浄チャンバに気体を供給する気体供給管２及び洗浄チャンバ内に供給された気体を紫外光によって励起して洗浄ガスを生成する紫外光照射部を有し、紫外光照射部によって生成された洗浄ガスでテープ状部材の洗浄チャンバ内を走行する部分を洗浄する洗浄ガス供給手段を具備する。 （もっと読む）

【課題】本発明の実施形態は、生産性を向上させることができる反射型マスクの製造方法、および反射型マスクの製造装置を提供する。
【解決手段】実施形態によれば、基板の主面に反射層を形成する工程と、前記反射層の上に吸収層を形成する工程と、前記吸収層にパターン領域を形成する工程と、前記吸収層と前記反射層とに前記パターン領域を囲む遮光領域を形成する工程と、を備え、前記遮光領域を形成する工程において、前記反射層を塩素と酸素とを含むガスを用いてエッチング処理する反射型マスクの製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】この発明はＴＣＰに貼着された熱硬化性の粘着テープを、ＴＣＰを基板に実装する前に硬化させることがないようにした実装装置を提供することにある。
【解決手段】加熱することで溶融硬化する粘着テープが貼着されて実装ヘッド１４に吸着保持されたＴＣＰを、加圧加熱しながら基板に実装する実装装置であって、
実装ヘッドは、ＴＣＰの粘着テープが貼着された一方の面と反対側の他方の面を吸着保持する吸着面４８ａを有する実装ツール部４１と、ＴＣＰを基板に実装するときに実装ツール部を加熱するヒータ５８を有するヒータブロック４３と、実装ツール部とヒータブロックとの間に設けられＴＣＰが基板に実装されたならば、実装ツール部を冷却する冷却媒体が流される流通路５４が形成された伝熱ブロック４２を具備する。 （もっと読む）

【課題】塗布製品の品質を向上させる。
【解決手段】塗布液の塗布装置１は、塗布液を吐出する塗布ヘッド４と、その塗布ヘッド４に供給する塗布液を貯留する容器５と、その容器５内の塗布液を撹拌する撹拌装置６と、容器５内の塗布液の濃度情報を容器５の高さ方向の上下に離れた少なくとも二箇所で検出する検出装置７と、その検出装置７により検出された二箇所の濃度情報に基づいて撹拌装置６の撹拌力を制御する制御装置８とを備える。 （もっと読む）

【課題】より簡易な構造で安全性を確保することができる処理装置を提供することである。
【解決手段】発火及び爆発に対する所定の安全対策の施された設備が配置され、引火性のある処理液を用いて所定の処理が行われる処理室と、該処理室とは隔離されつつ一体となり、電気設備及び前記処理室にて用いられる前記処理液の通路が配置された遮蔽室とを備えた処理装置であって、前記遮蔽室内から気体を導出する気体導出手段と、該気体導出手段にて導出された気体のガス濃度を検出するガス濃度検出手段とを有する構成となる。 （もっと読む）

【課題】接着剤の流動防止のための線幅を細く維持しつつ、均一で高い貼り合わせ厚を確保可能な接着剤供給装置及び接着剤供給方法を提供する。
【解決手段】貼り合わせ対象となるワークＳ１に対して、その縁に沿って接着剤Ｒ１を供給することにより、土手部Ｂを形成する供給部１０と、接着剤Ｒ１におけるワークＳ１の外周側の縁に、接着剤Ｒ１の硬化を進行させる処理を行う硬化処理部１１と、を有する。ワークＳ１に形成された土手部Ｂ内に、供給部１０により接着剤Ｒ２を充填した後、貼合部において、ワークを貼り合わせる。 （もっと読む）

【課題】接着剤の流動防止のための線幅を細く維持しつつ、均一で高い貼り合わせ厚を確保できる接着剤供給装置及び接着剤供給方法を提供する。
【解決手段】貼り合わせ対象となるワークＳ１に対して、接着剤Ｒ１を線状に複数回、重ねて供給する供給部１０と、供給部１０が接着剤Ｒ１を供給する毎に、接着剤Ｒ１の硬化を進行させる処理を行うことにより、土手部Ｂを形成する硬化処理部１１と、を有する。供給部１０が、土手部Ｂ内に接着剤Ｒ２を充填し、貼合部において、他方のワークを貼り合わせる。 （もっと読む）

【課題】薄膜太陽電池及びそれを製造する製造装置の低コスト化、薄膜太陽電池の品質向上、薄膜太陽電池の発電効率の向上を図る。
【解決手段】基板上に、第１の電極膜を減圧雰囲気下で形成し、その後、大気に曝すことなく、前記第１の電極膜上に、光電変換層を減圧雰囲気下で形成し、その後大気に曝すことなく、前記光電変換層上に、第２の電極膜を減圧雰囲気下で形成して、積層膜を形成する工程と、前記積層膜を分断して、前記基板上に併設された複数の太陽電池セルを形成する工程と、前記複数の太陽電池セルのうちの第１の太陽電池セルの前記第２の電極膜及び前記光電変換層を選択的に除去して、前記第１の電極膜を表出させ、前記第１の太陽電池セルに隣接する第２の太陽電池セルの前記第２の金属膜と、表出させた前記第１の電極膜と、を電気的に接続する製造方法が提供される。 （もっと読む）

【課題】ワークへの接着剤の均一な塗布と、接着剤のワークからのはみ出し防止を実現できる接着剤供給装置及び接着剤供給方法を提供する。
【解決手段】貼り合せ対象となるワークＳに対して接着剤Ｒを供給する接着剤供給装置において、ワークＳの縁部に接離可能なダミー供給領域部１２を備え、ワークＳ及びダミー供給領域部１２に、接着剤Ｒを供給する供給部１０と、ダミー供給領域部１２を、ワークＳから離れる方向に移動させる移動部１３を有する。 （もっと読む）