【課題】遮光性の高い遮光枠を有する反射型ブランクマスク及び反射型マスク、その製造方法を提供する。
【解決手段】本発明は、基板１１と、前記基板表面に形成された多層反射層２１と、前記多層反射層２１の上に形成された吸収層５１を有する反射型マスクブランクおよびマスクの製造工程において、前記多層反射層形成時に選択的に成膜しない、もしくは成膜後物理的または化学的または熱処理により多層反射層２１から発生する反射強度を下げ、遮光性の高い遮光枠２５を作製する。 （もっと読む）

【課題】基板を搬送しながら成膜を行う成膜装置において、設備を大型化することなくサイクル数増やして成膜を行うことができる成膜装置を提供する。
【解決手段】基板１０４を搬送しながら気相状態にある原料を用いて基板１０４に薄膜を形成する成膜装置であって、基板１０４を基板搬送機構１０７により、成膜用ドラム１０２の周速より遅い速度で成膜用ドラム１０２の外0周面に沿い連続的または断続的に搬送する。この状態で、前記成膜用ドラム１０２の外周面に設けられた成膜源２０１Ａ，２０１Ｂ，２０２Ａ，２０２Ｂから原料を気相状態で基板１０４に向け放出し、基板１０４の成膜用ドラム１０２と対向する面に成膜する。 （もっと読む）

【課題】容易にカバーシートとインレイとを貼り合わせることができ、製品不良の少ないＩＣ付冊子カバーの製造方法及びＩＣ付冊子カバー製造装置を提供すること。
【解決手段】カバーシートと、少なくとも一つのＩＣモジュールを備えたベースシートと、を貼り合わせたＩＣ付冊子カバーの製造方法において、カバーシートのベースシートとの貼り合わせ面に接着層が設けられ、ベースシートは、冊子の背部分に開口が設けられるか、あるいは背部分で左右に分離され、ベースシートを前記接着層上に設けることでカバーシートの接着層が部分的に露出するように配置し、カバーシートとベースシートの積層体を、カバーシートよりも幅広の第一のロールをカバーシート側とし、溝部を有する第二のロールを前記露出した接着層にロールが接触しないように溝部を配置してベースシート側としたプレスロールにより該積層体を加圧して接着する。 （もっと読む）

【課題】ホログラム層を有する光学素子において、文字や絵柄等の微細なパターンを有する光学素子を提供する。
【解決手段】ホログラム形成層と反射層を有するホログラム層を有する光学素子であって、該ホログラム形成層４が、微小凹凸からなる回折構造を有し、該反射層が、パターン状に形成された第１反射層６と、第２反射層７と、を有し、該第１反射層上には、第１反射層より１０〜５０μｍ大きくパターン状に形成された耐薬品性隠蔽樹脂層８を有し、かつ、該第２反射層７が、該第１反射層６及び耐薬品性隠蔽樹脂層８を覆うように形成されてなる光学素子。 （もっと読む）

【課題】コストに優れ信頼性高い半導体パッケージの製造方法を提供する。
【解決手段】基材の配線形成領域に下地層１３、第一金属層１４を積層し、第一金属層１４と基材を接着させる工程と第一金属層１４に感光性樹脂層を形成する工程と基板上に下地層１３、第一金属層１４およびビルドアップ配線層が形成された構造体の下地層１３の周縁に対応する部分を切断することにより、基板上の下地層１３から第一金属層１４を分離し第一金属層１４上にビルドアップ配線層が形成された配線部材を得る工程と、第一金属層１４をエッチングにより除去して露出した第二金属層１６の表面に第三金属層を形成する工程と感光性樹脂層を剥離し半導体素子接続パッドを形成する工程とを有する半導体パッケージの製造方法。 （もっと読む）

【課題】多くの時間と熟練を必要とすることなく、ドクターブレードの接触角を簡単かつ適正に設定することができるドクター装置を提供すること。
【解決手段】印刷製品の種類毎に異なる版胴を使用した時、その径の変化に応じてドクターブレードの設置位置を調節するように構成されたドクター装置において、ドクターブレードを保持するドクターホルダーと、このドクターホルダーを保持するドクター架台と、このドクター架台を支持する支持軸と、この支持軸を異なる版胴径に対する各々のドクターブレードの接点を結ぶ仮想線と並行に移動できるガイド部材を有する移動用ラックと、この移動用ラックを昇降移動する手段を具備したことを特徴とするドクター装置。 （もっと読む）

【課題】検査費用のコストダウンを可能とする自走コンベア搬送方式の搬送装置を用いた自動欠陥検査装置を提供する。
【解決手段】カラーフィルタ基板やタッチパネル基板の欠陥を検査する自動欠陥検査装置であって、基板を搬送する自走コンベアと、搬送された基板表面を照明する照明手段と、照明された基板表面を撮像する撮像手段と、基板上に設けられた特徴点を撮像する特徴点撮像手段と、基板上に設けられた特徴点の設計上の座標値と、特徴点撮像手段によって撮像された特徴点の座標値を比較して、特徴点撮像手段によって得られた座標値を補正する座標補正手段と、撮像手段によって撮像された検査画像を座標補正手段によって得られた座標補正に基づいて画像処理して検査する画像処理手段と、を備えたことを特徴とする自動欠陥検査装置。 （もっと読む）

【課題】バリア性が高く、フレキシブルで、電極や電解液を外部環境から保護し、発電効率を長期維持できる、バリア性電極シート及び色素増感太陽電池を提供する。
【解決手段】透明樹脂基材の少なくとも一方の面にバリア性薄膜層、耐溶剤性薄膜層、導電性薄膜層が積層され、前記バリア性薄膜層が無機酸化物、無機窒化物、無機酸窒化物のいずれか、または混合物から選択される少なくとも１層以上の積層体であり、前記耐溶剤性薄膜層が無機酸化物、無機窒化物、無機酸窒化物、高分子樹脂薄膜のいずれか、または混合物から選択される少なくとも1層以上の積層体である。 （もっと読む）

【課題】本発明では、ＩＣカードや磁気カードなどのカードにおいて、従来までの技術とは異なり、画像自体が立体的に見える装飾性に優れたカードとすることを課題とする。
【解決手段】上記課題を解決するため、本発明では、単層からなるカード基材又は１層以上のコア基材と外装基材からなるカード基材と、カード基材上に反射層を有し、該反射層上に光透過性パターンを有するカードであって、該反射層が該光透過性パターンに追従する凹凸形状を有することを特徴とするカードとする。 （もっと読む）

【課題】ウェルへの送液を行う試料分析チップにおいて、送液方法が簡易でかつ低コストな試料分析チップを提供すること。
【解決手段】基材に複数のウェル１０２と、各ウェルに繋がる流路と、流路に連絡し、溶液を注入する注入口とを有し、該基材を回転させてウェルに溶液を配液する試料分析チップであって、前記流路は、前記注入口と連絡し、回転中心側に設けられた主流路１０３と、各前記ウェルと前記主流路をと連絡する側路１０５とを有し、前記ウェルの一部の親水性が異なることを特徴とする試料分析チップとする。 （もっと読む）