【目的】 ＴｉＣｌ₄ 等の常温で液体の材料を含むガスを成膜装置内へと導入するのに際し、上記材料が凝結するのを防止し、安定して成膜やクリーニングを行えるようにすることである。これによって、上記材料がチャンバー内に滞留するのを防止し、チャンバーの腐食が生じないようにすることである。
【構成】 ガス供給用部材１の盤状基体２はセラミックスからなり、複数のガス導入孔が盤状基体２に設けられている。抵抗発熱体が盤状基体２に埋設されている。常温で液状の材料を含むガスを、矢印Ａのようにチャンバー１８内へと供給する。チャンバー１８の内側に発熱材２１を設置する。発熱材２１の筒状基体６はセラミックスからなり、筒状基体６の内部に抵抗発熱体４Ｃが埋設されている。発熱材２１の内側に半導体ウエハー１２が設置されている。半導体ウエハー１２を加熱しながら、成膜する。 （もっと読む）

【目的】 構造が簡単で感度の高いチューブリーク検出装置を提供する。
【構成】 金属やセラミックスよりなる棒状の超音波共振体１の振動の節となる部分に保持部２を形成し、この保持部２を利用して超音波共振体１を原子力発電所や火力発電所の圧力容器の壁面等に保持させる。この超音波共振体１はチューブリーク時に発生する超音波により共振し、その後端部に取り付けられた振動センサ４がこれを電気信号として取り出す。なお、超音波共振体１の先端部に振動板５を一体に形成することが好ましい。 （もっと読む）

【目的】 果汁製品製造過程における果汁と大気との接触を防止し、また加熱殺菌温度を低減することにより、果汁成分の変質と熱による異臭味成分の生成を抑止し、これにより、フレッシュな風味の果汁製品を製造する。
【構成】 果実の搾汁によって得られた原果汁をセラミック膜で濾過する工程と、得られた透過果汁を必要に応じて高温瞬間加熱殺菌を行った後に容器に充填する工程、あるいは容器に充填した透過果汁を６５〜８５℃で加熱殺菌処理する工程からなり、それらの工程を一貫して窒素ガス雰囲気下に行う。 （もっと読む）

【目的】 接合強度を確保できるとともに、熱的応力や機械的応力に対する接合の信頼性を高く、しかも製造を容易とし、かつ電池の安全性を高める。
【構成】 筒状の陽極容器の端部に絶縁リング４を接合する。この絶縁リング４の内周面に有底円筒状をなす固体電解質管５の開口端部を配置して、絶縁リング４と固体電解質管５との間をガラス２４を介して接合する。前記絶縁リング４の内周面には、固体電解質管５の開口端部の外周面５ｂ及び開口端面５ａに近接対向するＬ字状の第１の対向面としての係止部１４と、その係止部１４と固体電解質管５との間隔より広い間隔をもって開口端部の外周面５ｂに対向する第２の対向面としてのガラス充填用切欠き２０とを形成した。 （もっと読む）

【目的】 水熱合成法による単結晶の育成に際し、種結晶の溶解を抑制し育成効率を向上したＺｎＯ単結晶の育成方法を提供する。
【構成】 ＺｎＯを溶解させたアルカリ溶液を育成容器に注入し、水熱条件下でＺｎＯ単結晶を育成する。
【効果】 種結晶が育成中に溶解せず、歩留り良くＺｎＯ単結晶を育成できる。小さな種結晶を用いることが可能となる。 （もっと読む）

【目的】 被焼成物との反応の無い表面層を有するセラミック焼成用耐火材を提供する。
【構成】 セラミック成形体を焼成する焼成用治具等の材料として使用されるセラミック焼成用耐火材において、基材の表面に、平均粒径５〜１００μｍの安定化ジルコニアからなる４０〜２００μｍの厚さのコーティング層を設ける。 （もっと読む）

【目的】 高い耐熱スポーリング性と実用的な曲げ強度を備えた、比重の小さい軽量セッターを製造することである。
【構成】 耐火材を構成するセラミックス粉末 100重量部、水及び平均粒径100〜300 μm の熱分解性樹脂ビーズ10〜30重量部を混合してスラリーを得、このスラリーにウレタン発泡材料を添加及び混合し、この混合物を発泡及び硬化させ、この硬化物を脱脂、焼成し、軽量セッターを得る。ウレタン発泡材料としては、末端にＮＣＯ基を有する親水性ウレタンプレポリマーを用いるか、ポリオールと有機イソシアネートを併用する。 （もっと読む）