【課題】発振周波数の変動を防ぐ圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイス１００は、長辺方向がＸ軸であり、短辺方向がＺ’軸であり、厚み方向がＹ’軸である直方体状の圧電素板に励振用電極１２２を被着形成し、その励振用電極１２２から前記圧電素板に対して同じ長辺に位置するように引き出し電極１２３が形成されている圧電振動素子１２０と、前記圧電振動素子の引き出し電極に対向する位置に２個一対の搭載部１１３が設けられ、前記２個一対の搭載部１１３にそれぞれ２個一対の圧電振動素子搭載パッド１１４が設けられている素子搭載部材１１０と、前記圧電振動素子１２０を気密封止する蓋部材１３０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】素子搭載部材ウエハの状態であってもそれぞれの素子搭載部材となる部分の電気的特性を検査することができ、部品素子用凹部空間を所定の位置に設けることができる生産性のよい素子搭載部材ウエハの製造方法及び素子搭載部材の製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】レーザーを用いて、一方の主面に部品素子用凹部空間が設けられている他方の主面に外部端子が設けられている素子搭載部材が行列状に設けられている素子搭載部材ウエハのそれぞれの素子搭載部材となる部分の縁に沿って溝を設けつつ、所定の一つの前記素子搭載部材の外部端子と隣接する所定の他の一つの前記素子搭載部材の外部端子とを電気的に接続している接続膜を切断する接続膜切断溝形成工程を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】有機接着剤からなる接着層を用いることなく光学素子を接合することができ、光学素子の倍の枚数の反射防止膜とホルダーが不要の光学デバイスを提供する。
【解決手段】それぞれの主面が平行となる位置に設けられている複数枚の光学素子１１０，１２０，１３０と、光が透過しない位置であって隣接しあう前記光学素子１１０，１２０，１３０の間に設けられ前記隣接しあう光学素子１１０，１２０，１３０の間に空気空間Ｋ１２，Ｋ２３を形成している金属または半導体材料からなる接着層Ｓ１２，Ｓ２３とを備えており、前記接着層Ｓ１２，Ｓ２３の総厚みが１０ｎｍ以下となっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動部から漏れる振動を軽減させてＣＩ値を向上させる。
【解決手段】保持部１１１と振動部１１２とから構成され、振動部１１２に電極が形成される圧電振動片１１０ａと、圧電振動片を囲う枠部１３０と、圧電振動片１１０ａの保持部１１１と枠部１３０とに設けられて圧電振動片１１０ａを支持する支持部１４０とを備え、支持部１４０が金属膜であり、保持部１１１と枠部１３０とを少なくとも３箇所で支持して構成されることを特徴とし、圧電振動片が、屈曲振動モード、厚み滑りモード、輪郭モードのいずれかに対応する振動モードで振動するように構成されている。 （もっと読む）

【課題】 振動腕部から漏れる振動を軽減させてＣＩ値を向上させる。
【解決手段】 基部と、基部から延設する２つ一対の振動腕部と、振動腕部の間であって基部から延設しつつ振動腕部より短く形成される突起部と、からなることを特徴とする音叉型圧電振動素子であり、２つ一対の振動腕部のうち、一方の振動腕部と突起部との間隔をＷ１、他方の振動腕部と突起部との間隔をＷ２としたとき、突起部が、０．２≦Ｗ１／Ｗ２≦１．０となる位置に設けられることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 音叉型屈曲水晶振動素子の幅方向に支持腕等を備えることなく、小型化することができ、振動腕部からの振動を減衰させる音叉型屈曲水晶振動素子を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の音叉型屈曲水晶振動素子は、振動腕部が延出する方向に溝状の第一の凹部を有する基部と、前記基部から延出する２本一対の振動腕部とを備え、前記基部が前記第一の凹部を表裏主面に有しつつ、所定の間隔をあけて設けられていることを特徴とする。よって、基部の振動腕部の延出する方向であって表裏主面に第一の凹部を所定の間隔をあけて設けたので、音叉型屈曲水晶振動素子の幅方向に支持腕等を備えることなく、小型化することができ、振動腕部からの振動を減衰させることができる。 （もっと読む）

【課題】 振動腕部の側面に設けられる励振用電極をショートさせずに、容易に電極形成をおこなう。
【解決手段】 音叉型屈曲水晶振動素子であって、基部と、基部から延設する２つ一対の振動腕部と、２つの振動腕部の中間に位置しており基部から前記２つ一対の振動腕部と同一方向に延設しつつ振動腕部より短く形成される突起部とからなり、突起部にスリットを延設方向に沿って設けられ、このスリットが厚さ方向に貫通し、突起部の先端から基部との境目までの長さを有して構成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】鍔部を設けることなく素子搭載部材と接合することができ、接合時の歪みによる変形及び破損を防ぐことができ、生産性のよい蓋部材とこの蓋部材の製造方法及び蓋部材ウエハの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の蓋部材となる部分が設けられている金属からなる蓋部材ウエハの両主面にレジストを付着させるレジスト付着工程と、それぞれの前記蓋部材となる部分の一方の主面であって部品素子用凹部空間の開口部と重なる部分の前記レジストを除去する第一のレジスト除去工程と、エッチング技術を用いてそれぞれの前記蓋部材となる部分に前記部品素子用凹部空間を設ける部品素子用凹部空間形成工程と、前記蓋部材ウエハに付着している前記レジストを全て除去する全レジスト除去工程と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ＣＩ値を低減し、振動特性が良好な音叉型屈曲水晶振動素子を提供することにある。
【解決手段】振動腕部の両主面には、基部との境界部分から振動腕部の先端に向って延びる溝部が、振動腕部の両主面間で対向するように設けられており、前記溝部は、小溝部と仕切部とから構成されており、前記仕切部は、前記溝部を長さ方向で複数の小溝部に仕切っており、前記小溝部の長さ寸法は、前記水晶片の厚み寸法の２倍以下の寸法であり、振動腕部の一方の主面の溝部に設けられた仕切部は、他方の主面の設けられた対向した溝部における小溝部のＶ字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられており、振動腕部の他方の主面の溝部に設けられた仕切部は、一方の主面の設けられた対向した溝部における小溝部のＶ字形状の底の尖った先端部に対応する位置に設けられている音叉型屈曲水晶振動素子。 （もっと読む）

【課題】 外装体と洗浄治具本体の間に水晶素板が入り込み、水晶素板が破損してしまうことを防止すると共に、洗浄治具自体の反りや破損を防止することができる洗浄治具を提供することを課題とする。
【解決手段】 薄板を洗浄する際に用いられる洗浄治具であって、薄板が挿入可能とするように、第１の基部と第１の枠部により設けられる第１の収容部を有し、第１の収容部底面に第１の貫通孔が設けられている第１の外装体と、第２の基部と第２の枠部により設けられる第２の収容部を有し、第２の収容部底面に第２の貫通孔が設けられ、第２の収容部底面の４隅に第２の注入排出孔が設けられている第２の外装体と、を備え、第１の枠部が第２の収容部内に嵌め込めるようになっており、第１の枠部の４隅に第１の注入排出孔が第２の注入排出孔と向かい合う位置に設けられ、第１の注入排出孔が第１の収容部と連通していることを特徴とするものである。 （もっと読む）