【課題】 振動腕部に設けられる溝部の断面形状の対称性を改善し、また、容易に製造を容易とする。
【解決手段】 基部と基部から延設する振動腕部とからなる構造で振動腕部が長さ方向に溝部を有する音叉型水晶振動素子の製造方法であって、水晶ウェハに耐食膜を成膜する耐食膜成膜工程と、感光性レジストを形成し音叉形状に感光性レジストを残しつつ溝部となる部分の感光性レジストを除去し露出する耐食膜を除去するパターニング工程と、水晶ウェハの露出する水晶部分を除去するウェットエッチング工程とを含み、パターニング工程で、溝部となる部分内の感光性レジストが溝部となる部分の長さ方向の縁部分から直交する方向へ溝部となる部分内に突起させた状態で除去され、ウェットエッチング工程で、溝部となる部分に残された感光性レジストにより、水晶片の除去が徐々になされて溝部の断面形状を略Ｖ字形状に形成することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】振動腕部に設けられる溝部の断面形状の対称性を改善し、容易に製造を容易とする音叉型水晶振動素子の提供。
【解決手段】基部１１１と基部から延設する振動腕部１１２とからなる構造で振動腕部が長さ方向に溝部ＧＬを有する音叉型水晶振動素子の製造方法であって、水晶ウェハに耐食膜を成膜する耐食膜成膜工程と、感光性レジストを形成し音叉形状に感光性レジストを残しつつ溝部となる部分の感光性レジストを除去し露出する耐食膜を除去するパターニング工程と、水晶ウェハの露出する水晶部分を除去するウェットエッチング工程とを含み、パターニング工程で、溝部となる部分内の感光性レジストが溝部となる部分の長さ方向の縁部分から溝部となる部分内に斜めに突起させた状態で除去され、ウェットエッチング工程で、溝部となる部分に残された感光性レジストにより、水晶片の除去が徐々になされて溝部の断面形状を略Ｖ字形状に形成する。 （もっと読む）

【課題】より配向性および直線性のよいカーボンナノチューブの製造方法，カーボンナノチューブ製造用の単結晶基板，およびカーボンナノチューブを提供する。
【解決手段】単結晶石英基板を用意し（Ｓ１０）、この基板の表面に鏡面加工処理を施し（Ｓ２０）、さらに基板の表面上の単結晶を再成長させて新たな自然面を形成する（Ｓ３０）。このように、表面上に新たな自然面を形成するので、表面の結晶の格子配列をより滑らかな状態にすることができる。このため、この単結晶石英基板を用いれば、アニール処理、触媒金属の配置、炭素原料ガスの供給という一連の処理（Ｓ４０〜Ｓ６０）によって基板上にカーボンナノチューブを形成する際に、結晶の格子配列のひずみによって、単結晶石英基板上に形成されるカーボンナノチューブにもひずみが生じてしまうのを抑制することができる。 （もっと読む）

【課題】小型化された場合であっても、集積回路素子が搭載された後に圧電振動素子の電気的特性を容易に測定することができる圧電発振器を提供する。
【解決手段】基板部と２つの枠部とで構成され、両主面に凹部空間が形成され、一方の凹部空間の底面に複数の集積回路素子搭載パッドと２つ一対の測定用端子が設けられ、他方の凹部空間の底面に２つ一対の圧電振動素子搭載パッドが設けられている素子搭載部材と、圧電振動素子搭載パッドに搭載されている圧電振動素子と、圧電振動素子を気密封止する蓋部材と、を備え、圧電振動素子搭載パッドと所定の２つの集積回路素子搭載パッドとが電気的に接続され、測定用端子が圧電振動素子搭載パッド、または／及び、所定の２つの集積回路素子搭載パッドに電気的に接続され、前記測定用端子の幅が枠部の幅より広く形成されて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子の圧電振動部が素子搭載部材の凹部空間内底面に接触することを防ぎ、安定した発振周波数を出力することができる圧電デバイスの提供。
【解決手段】圧電デバイス１００は、凹部空間を有する素子搭載部材１１０と、凹部空間内に搭載される圧電振動素子１２０と、凹部空間を気密封止する蓋部材１３０と、を備える圧電デバイス１００であって、圧電振動素子１２０は、励振用電極が設けられている圧電振動部１２１と、圧電振動部を囲い、圧電振動部よりも薄くなるように設けられている圧電振動枠部１２２と、圧電振動枠部の一部に素子搭載部材の凹部空間内底面に向かって設けられている突起部１２３と、圧電振動枠部に形成される素子搭載部材接続電極１２５と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】蓋部材と部品素子が搭載されている素子搭載部材との間に設けられている硬化前の紫外光硬化樹脂を真空中で硬化させることができ、生産性を向上させることができ、小型化することができる封止装置を提供する。
【解決手段】蓋部材ＷＨと部品素子が搭載されている素子搭載部材ＷＴとの間に硬化前の紫外光硬化樹脂Ｊが挟まれた状態となっているワークを搭載する搭載手段１１２と、搭載手段１１２が内部に設けられている封止室１１０と、封止室１１０の開口部の縁部に沿って設けられている環状のパッキン１２２及び紫外光を透過する材料からなる透明部材１２１とで構成され、前記封止室１１０の開口部を閉塞する閉塞手段１２０と、封止室１１０と接続されており封止室内の空気を排気する排気手段１４０と、封止室１１０の外部であって透明部材を介して前記搭載手段と対向する位置に設けられており紫外光を放射する紫外光照射手段１３０と、を備えている。 （もっと読む）

【課題】温度情報の差異を低減し、発振周波数が変動することを防ぐ圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】基板部と、この基板部の一方の主面に設けられる第１の枠部と、基板部の他方の主面に設けられる第２の枠部とからなる素子搭載部材と、基板部と第１の枠部とで形成される第１の凹部空間内に露出した基板部の主面に設けられた圧電振動素子搭載パッドに搭載されている圧電振動素子と、基板部と第２の枠部とで形成される第２の凹部空間内に露出した基板部の主面に設けられたサーミスタ素子搭載パッドに搭載されているサーミスタ素子と、第１の凹部空間を気密封止する蓋体と、を備えていることを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】所定の電子デバイス接続端子と所定の電子デバイス搭載パッドとが対向した位置に設けられて電気的に接続されており、生産性のよいモジュールを提供する。
【解決手段】一方の短辺に沿って第一の電子デバイス接続端子が設けられ他方の短辺に沿って第二の電子デバイス接続端子が設けられている電子デバイスと、基板部と枠部で構成され形成された矩形形状の凹部空間の底面の一方の短辺に沿って第一の電子デバイス搭載パッドが設けられ、凹部空間の底面の他方の短辺に沿って第二の電子デバイス搭載パッドが設けられている電子デバイス搭載部材と、を備え、第一の電子デバイス接続端子と第一の電子デバイス搭載パッドとが対向する位置に設けられ、第二の電子デバイス接続端子と第二の電子デバイス搭載パッドとが対向する位置に設けられ、電子デバイスの一方の短辺側の側面と凹部空間の一方の短辺を含む枠部の内側の短辺側側面が接していることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】加熱などを必要とせず、また、製造時や使用環境においてガスを発生することなく、より強い強度で水晶が接合できるようにする接合方法を提供する。
【解決手段】スパッタ法により、水晶基板１０１の接合面に対する物質層１０２の形成、および水晶基板１１１の接合面に対する物質層１０２の形成を開始した後、０．２ｎｍ以上１ｎｍ未満の層厚の物質層１０２が各々形成された水晶基板１０１の接合面および水晶基板１１１の接合面とを、物質層１０２を介して着接する。物質層１０２の層厚が、１ｎｍになる前に、２つの基板の着接を行う。 （もっと読む）

【課題】より配向性および直線性のよいカーボンナノチューブの製造方法，カーボンナノチューブ製造用の単結晶基板，およびカーボンナノチューブを提供する。
【解決手段】基板を用意し（Ｓ１０）、この基板の表面に鏡面加工処理を施し（Ｓ２０）、さらに基板の表面にエッチング処理を施す（Ｓ３０）。これによって、単結晶石英基板を切断・研磨する際に表面に生じた加工層を除去することができる。このため、この単結晶石英基板を用いれば、アニール処理、触媒金属の配置、炭素原料ガスの供給という一連の処理（Ｓ４０〜Ｓ６０）によって基板上にカーボンナノチューブを形成する際に、基板に形成された加工層の存在に由来する結晶の格子配列の歪みによって、基板上に形成されるカーボンナノチューブにも歪みが生じてしまうのを抑制することができる。したがって、結晶が本来もつ格子配列に沿って配向性および直線性のよいカーボンナノチューブを製造することができる。 （もっと読む）