【課題】水晶振動素子の励振電極にのみ感応膜を容易に形成することができる感応膜形成用ジグと、ＱＣＭセンサ素子に用いた場合のＱＣＭセンサ素子の検出精度を向上させ、かつ、生産性が向上された感応膜形成方法を提供する。
【解決手段】基部と脚部と固定部とからなる保持具に搭載されている水晶振動素子の励振電極に感応膜を形成するときに用いる感応膜形成用ジグであって、第一のジグと第二のジグと第一のＯリングと第二のＯリングと第三のＯリングとから構成されており、第一のＯリングが第一のジグと水晶片とで挟まれつつ第二のＯリングが第二のジグと水晶片とで挟まれ、第三のＯリングが第一のジグと第二のジグとで挟まれるように固定することができ、第一のジグ及び第二のジグに形成されている貫通穴によって水晶振動素子のそれぞれの励振電極を露出することができる構成となっていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 生産性を向上することができる圧電デバイスの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 本発明の圧電デバイスの製造方法は、複数の端子部材１５０を切り出すことが可能な集合端子部材１５に電子部品１４０を実装する工程と、集合端子部材１５に圧電振動子１０を接合する工程と、集合端子部材１５を切断して圧電デバイス１００を得る工程とを含むものである。圧電デバイスの製造工程中、集合端子部材１５自体が電子部品搭載用キャリアとして機能するようになっていることから、電子部品搭載用キャリアは不要であり、集合端子部材の分割によって得られた個々の端子部材を圧電振動子に搭載するといった煩雑な作業も一切不要となる。これによっても、圧電デバイスの生産性が向上されるようになる。 （もっと読む）

【課題】圧電振動素子の角部の欠けが生じることを低減することができるパッケージ及び圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】上面に搭載パッド１１１を有したベース１１０ａと、搭載パッド１１１を囲むようにしてベース１１０ａ上に取着され、内側に圧電振動素子が配置される枠体１１０と、搭載パッド１１１と枠体１１０ｂ内壁との間に設けられた弾性部材１１２と、によってパッケージ１１０を構成する。その目的は、パッケージ１１０に圧電振動素子１２０を搭載する際に圧電振動素子１２０が破損する可能性を低減することができる （もっと読む）

【課題】
本発明は、集積回路素子の電極パッドと、半田バンプとの接合強度の低下を防ぐ圧電装置を提供することを課題とする。
【解決手段】
本発明の圧電装置１００は、素子搭載部材１１０と、素子搭載部材１１０に搭載されている圧電素子１２０と、素子搭載部材１１０の表面に形成されており、素子搭載領域１１８ａおよび引き回し領域１１８ｂを含んでいる金属パターン１１８と、半田バンプ１３２によって金属パターン１１８の素子搭載領域１１８ａに電気的に接続されている集積回路素子１３０とを備え、金属パターン１１８が素子搭載領域１１８ａと引き回し領域１１８ｂとの間に設けられた凸部１１９を有しており、凸部１１９の少なくとも表面部分が金属酸化物から成る。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子の発振周波数の変動を低減することができる圧電デバイスを提供することを課題とする。
【解決手段】 圧電デバイス１００は、圧電振動子１０と、前記圧電振動子１０に設けられた複数の端子部材１５０と、前記複数の端子部材１５０の少なくとも２つに固定されており、該端子部材１５０と電気的に接続された電子部品１４０と、を備えることを特徴とするものである。これにより、圧電デバイス１００の発振周波数が変動してしまうことを低減することができる。 （もっと読む）

【課題】 圧電デバイスの経年変化を軽減する。
【解決手段】 圧電デバイス１００は、平板形状の圧電振動素子３０と、ろう材４０を介して前記圧電振動素子３０の側面を支持する保持部２０ａをそれぞれ有しており、前記圧電振動素子３０を挟むようにして支持している複数の支持部材２０とを備えており、前記ろう材４０は、平面視において前記圧電振動素子３０から前記支持部材２０の前記保持部２０ａに向かって狭まるように形成されていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】接合後のウエハの主面が平行となり生産性を向上させるウエハの接合方法を提供する。
【解決手段】一方のウエハの一方の主面に接着剤を塗布し、一方のウエハと他方のウエハとが対向するように接着剤をウエハの主面間で挟んだ状態でウエハを重ね合わせてワークを形成し、第一のプレス板と第二のプレス板と第二のプレス板から第一のプレス板に向かう方向に所定の圧力を加えることができる加圧手段とを備えたプレス装置の、第二のプレス板側を向く第一のプレス板の面に一方のウエハの他方の主面が接触するようにワークを配置するワーク配置工程と、加圧手段により第一のプレス板と第二のプレス板とでワークに加圧するワーク加圧工程と、プレス装置の第一のプレス板からワークを取り出した後、ウエハ間に存在する接着剤を硬化させる接着剤硬化工程と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】面ダレ部分を備えていない水晶片の形成方法であって、外形寸法精度が優れ、水晶板から効率よく複数の水晶片を同時に形成することができる生産性が向上された形成方法を提供する。
【解決手段】少なくとも一方の主面が鏡面状態となっている水晶片の形成方法であって、前記水晶片の主面より大きい主面の水晶板を形成する水晶板形成工程と、前記水晶板の主面をラッピングするラッピング工程と、前記ラッピングされた前記水晶板の主面が鏡面状態となり、かつ、前記ラッピングされた前記水晶板の主面を前記ラッピングされた前記水晶板の板厚が前記水晶片の板厚と同じとなるまで、ポリシングするポリシング工程と、前記ポリシングされた前記水晶板の主面の大きさが前記水晶片と同じ大きさとなるまで、前記ポリシングされた前記水晶板の側面を研削する研削工程と、を備えていることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】より所望のＦＳＲに近いＦＳＲを得ることが可能なエタロンフィルタを提供する。
【解決手段】エタロンフィルタ１は、基板３と、基板３の入出射面に配置された第１反射膜５Ａ及び第２反射膜５Ｂとを有する。基板の厚みｄは、一般に知られている理論式ＦＳＲ＝ｃ／２ｎｄに基づいて得られる厚みｄ_１よりも小さい。なお、ｃは光速、ｎは前記基板の屈折率である。 （もっと読む）

【課題】 従来よりも短波長の光を透過させ、紫外線による劣化を防ぐ。
【解決手段】 水晶からなり所定のパターンで形成された流路が形成された第一のプレートと、水晶からなり第一のプレートと接合される第二のプレートと、第一のプレートの流路が形成された面と第二のプレートの流路と対向させる面とに１ｎｍ以下の厚みで設けられる接合材と、を備え、第一のプレートに設けられた接合材と第二のプレートとに設けられた接合材とが原子拡散接合法により接合されて構成されることを特徴とする。 （もっと読む）