【課題】導電性接着剤の電気的特性に基づき、導電性接着剤の接続品質を容易かつ適確に判断可能な接続品質検査装置の提供を目的とした。
【解決手段】検査装置１は、接続部ＢＰおよび導電部ｓ２に対して接触したピンプローブ２０，２１間に電圧発生源１０により印加された印加電圧を掃引し、これにより発生する電流を電流測定計１１で測定することができる。検査装置１は、印加電圧の推移に対する測定電流の変動状態に基づいて、接続部ＢＰにおける接続品質の良否を判断することができる。 （もっと読む）

【課題】熱処理された板状体をスムーズに冷却可能な板状体冷却装置、並びに、当該板状体冷却装置を備えた熱処理システムの提供を目的とした。
【解決手段】板状体配置手段２０は、基板Ｗに向けて送風可能な送風手段４０が所定の間隔毎に設けられた送風手段配置部３０を複数有する。冷却対象である基板Ｗを出し入れする際は、送風手段配置部３０の側方に形成された作動領域２５に移載装置１１のフォーク爪１３を差し込んで作動させることができる。そのため、基板Ｗの支持用の支持ピン２３は、送風手段４０の高さ分だけ低くし、その分だけ基板Ｗと送風手段４０との間隔を小さくすることができる。また、これにより基板Ｗに沿って流れる空気の流速を高め、基板Ｗの冷却効率を上げることができる。 （もっと読む）

【課題】階層構造になった設定画面をボタン操作にて順次表示させて操作条件の設定入力及び設定変更を行う場合に、容易に操作条件の設定入力及び設定変更を行い得る環境試験装置を提供することにある。
【解決手段】環境試験装置では、操作部３でのボタン操作により、階層構造における設定画面を順次表示させて、操作条件の設定入力を行う。操作部３には、階層構造における所望の設定画面を直接表示させるクイックボタン２０と、クイックボタン２０における所望の設定画面を、設定入力及び設定変更する設定入力変更手段とが設けられている。 （もっと読む）

【課題】どの被計測対象物をどのケーブルに接続するか容易に判断する。
【解決手段】計測システム１は、スキャナ１１の出力端子に接続されたケーブル１４を介して、回路基板５０の端子間の絶縁抵抗を計測する。回路基板５０には、この回路基板５０に関する情報が示されたバーコードシール５２が貼り付けられている。この計測システム１は、バーコードシール５２から回路基板５０に関する情報を取得し、ケーブル１４をアースに接続して、このケーブル１４がどの出力端子に接続されているのか識別する。そして、計測システム１は、この回路基板５０に関する情報と、この回路基板５０に接続されているケーブル１４のケーブル情報とを対応付けて記憶している。 （もっと読む）

【課題】レジストの剥離処理における処理むらやパーティクルの集中による傷が生じ難い基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、主流路１２と、洗浄空間Ｓにそれぞれ連通される第１連通路３０及び第２連通路３５と、切り換え手段Ｓｗとを使用し、主流路１２の他端部１２ｂから第２連通路３５を通じて洗浄空間Ｓ内に超臨界流体が供給され且つ洗浄空間Ｓ内から第１連通路３０を通じて主流路１２の一端部１２ａに超臨界流体が排出される第１連通状態と、主流路１２の他端部１２ｂから第１連通路３０を通じて洗浄空間Ｓ内に超臨界流体が供給され且つ洗浄空間Ｓ内から第２連通路３５を通じて主流路１２の一端部１２ａに超臨界流体が排出される第２連通状態と、に切り換え手段Ｓｗを切り換えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超臨界流体が基板洗浄空間内に形成する渦の中心位置を変更することができる基板洗浄装置を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明に係る基板洗浄装置１０は、基板を洗浄するための洗浄空間Ｓを有する基板洗浄チャンバー２０を備え、この基板洗浄チャンバー２０は、洗浄空間Ｓを規定する内壁２５に沿って間隔をおいて設けられ、且つ内壁２５に対して所定の角度αで当該洗浄空間Ｓ内に超臨界流体を吐出するための複数の流体吐出部２１，２１，…と、これら複数の流体吐出部２１，２１，…に外部から供給される超臨界流体をそれぞれ分配するための分配流路２２と、を有し、分配流路２２は、複数の部分流路部２２ａ，２２ａ，…に分割され、各部分流路部２２ａは、外部から超臨界流体が供給され且つ流体吐出部２１が接続されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】超臨界流体が基板洗浄空間内に形成する渦の中心位置を変更することができる基板洗浄装置及び基板洗浄方法を提供することを課題とする。
【解決手段】本発明は、洗浄空間Ｓを規定する内壁２５に対して所定の角度αで当該洗浄空間Ｓ内に超臨界流体を吐出させる３つ以上の流体吐出部２１と、流体吐出部２１にそれぞれ超臨界流体を供給するための供給流路と、供給流路から分流されて各流体吐出部２１から吐出される超臨界流体の流量を制御する吐出流量制御手段３０と、を備え、吐出流量制御手段３０は、一部の流体吐出部２１から第１の流量で超臨界流体が吐出されると共にそれ以外の流体吐出部２１から第１の流量よりも小流量の第２の流量で超臨界流体が吐出され、且つ、第１の流量が分流される流体吐出部２１が順次移行するように、供給流路１１における超臨界流体の分流の流量を調整することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】非連続な複数のレジスタに保持されているデータを、外部装置からの要求に応じて送信する。
【解決手段】レジスタ制御装置２０は、データを保持するデータレジスタの番号を保持する複数の参照先管理レジスタ２３と、外部装置からのデータ取得要求から開始レジスタ番号と読み出しレジスタ数とを抽出し、上記抽出した開始レジスタ番号で指定される参照先管理レジスタ２３より開始して、上記抽出した読み出しレジスタ数で示される数だけの参照先管理レジスタ２３からデータレジスタの番号を取得し、該取得した番号で指定されるデータレジスタから該取得順でデータを取得し、該取得したデータを該取得順でデータバッファレジスタ２６１に格納するレジスタデータ取得部２６と、該格納されたデータを該格納順で取得するバッファリングデータ取得部２７と、該取得したデータを該取得順に含めた応答メッセージを送信する応答メッセージ送信部２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】空間に繊維系断熱材を充填しても外部に飛散しにくくする。
【解決手段】断熱部材製造装置１は、断熱材吹き込み装置２と、断熱材吹き込み装置２に取り付けられた断熱部材前躯体３とを有している。断熱材吹き込み装置２は、排気口９から空気を排出する送風機７と、送風機７の排気口９に一方の端部が接続された配管１０と、配管１０内に繊維系断熱材２５を供給する供給機構２０と、配管１０の他方の端部と接続されたカバー３０と、繊維系断熱材２５の粒径よりも小さい開口径を有する複数の開口４１が形成された網４０とを有している。カバー３０は、空間６の入口６ａ全体を覆うように、断熱部材前躯体３に取り付けられている。網４０は、空間６の出口全体を覆うように、配置されている。 （もっと読む）

【課題】省電力化を効果的に促進することができるようにする。
【解決手段】試験室１２の温度制御を行うにあたって冷凍機３４の冷凍能力を減少させる場合、インバータ５８を制御して電源周波数を低くすることにより圧縮機５０の駆動モータ６０の回転数を下げ、その後にアクチュエータを制御して電子式膨張弁５４を絞ることにより蒸発器５６の蒸発温度を低くする一方、冷凍機３４の冷凍能力を増大させる場合、アクチュエータを制御して電子式膨張弁５４を開くことにより蒸発器５６の蒸発温度を高くし、その後にインバータ５８を制御して電源周波数を高くすることにより圧縮機５０の駆動モータ６０の回転数を上げるようにする。 （もっと読む）