【課題】定期的な締付操作が不要であり、パーティクルの発生を抑制することができるフィルタ固定機構を提供する。
【解決手段】耐熱フィルタ枠５が熱風通過用開口枠１に直接接触していることにより、熱風通過用開口枠１と耐熱フィルタ枠５との間が密閉され、また、締結軸２および耐熱フィルタ枠５が同一の熱膨張係数の材料から成ることにより、熱風通過用開口枠１と耐熱フィルタ枠５とが完全に密着することができるので、シールド部材を備える必要がなくなる。 （もっと読む）

【課題】大型化や性能劣化を回避しつつ、高い露点測定精度を確保することのできる露点計を提供する。
【解決手段】露点計を、所定径かつ所定長を有する一端が有底の筒状体内に、冷却体と、加熱体と、温度センサとが内蔵された構成とした。そして、少なくとも筒状体の先端が測定対象のガス中に露出された状態で、冷却体の冷却動作と加熱体の加熱動作とを交互に行わせ、冷却期間中及び加熱期間中において、或るタイミングにおいて、水蒸気と露との間の相変化に起因して、温度変化の程度が一時的に小さくなる不連続点Ａ，Ｂが生じることを用いて、この不連続点Ａ，Ｂに対応する温度を露点とする。 （もっと読む）

【課題】広範囲な流量レンジに亘って高精度な背圧制御を可能にする。
【解決手段】弁開度を調整可能に構成されるボールバルブ３０と、ドームロード弁２２とを備える。ボールバルブ３０とドームロード弁２２とは、配管２０における燃料電池１２の下流側に並列に設けられる。燃料電池１２への供給流量に基づいてボールバルブ３０の制御を行うバルブ制御部３２を備えている。燃料電池１２への供給流量は、マスフローコントローラ２４から供給される乾きガスの体積流量と、燃料電池１２へ供給されるガスの露点と、ドームロード弁２２の設定圧力とによって規定される。 （もっと読む）

【課題】結露が存在する時間を長期化したり、結露が生じる時間をある程度制御することができる環境試験装置を提供する
【解決手段】被試験物３０を低温低湿度の環境と高温高湿度の環境に交互にさらして被試験物３０に結露を発生させる環境試験装置１において、少なくとも送風手段及び送風環境制御手段１０を有し、送風環境制御手段１０によって送風量、風速、風向の少なくともいずれかを変化させることができることを特徴とする環境試験装置１。 （もっと読む）

【課題】電子部品と基板との接合部に大きな温度差を与えることにより接合不良が発生する可能性を正確に把握したり、接合不良の発生状態を的確に再現可能な接合不良検知装置、並びに、接合不良検知方法の提供を目的とする。
【解決手段】接合不良検知装置１は、基板Ｓを恒温状態に維持可能な恒温手段３と、電子部品Ｐのパッケージ部ｐ２を局所的に加熱可能な部品加熱手段５とを備えている。接合不良検知装置１は、部品加熱手段５により電子部品Ｐを所定の加熱設定温度Ｔｐに加熱しつつ、基板Ｓを加熱設定温度Ｔｐ以下の温度範囲内に維持することができ、この状態で検知されたピンプローブ７ａ，７ｂ間の電気的な導通状態に基づいて基板Ｓの導電部ｓ２に対する電子部品Ｐの接合不良を検知することができる。 （もっと読む）

【課題】熱損失がほとんど無く、高いクリーン性能を持ち、さらに設備負担を低減するクリーンオーブンを実現する。
【解決手段】本発明のクリーンオーブン１は、炉外に設けられているダクト１１と炉内が、互いに雰囲気ガスの圧力の等しい接続部Ｂと接続部Ｃにおいて、該接続部Ｂと接続部Ｃとをつなぐように接続されており、ダクト１１は内部に冷却器６と冷却器用ファン１２とを備えている。冷却器６が炉外にもうけられているため熱損失がほとんどなく、さらにダンパーが設けられていないので、発塵せず高いクリーン性能を持つ。また、加熱中に冷却水の供給が停止した場合、冷却器用ファン１２が停止するので、クリーンルーム外に蒸気を排出するためのダクトが不要である。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で、燃料電池表面の局所的な発電能力を測定することができる燃料電池局部発電性能測定装置および燃料電池局部発電性能測定方法を提供することにある。
【解決手段】本発明の燃料電池局部発電性能測定装置１は、燃料電池の負極側の電極表面における複数の任意の点において電位を測定するセンサーユニット２と、センサーユニット２により測定された各点の電位から、前記電極表面の電位測定された各点で規定される測定範囲内の発電量を算出する信号処理手段とを備えている。センサーユニット２は、前記測定範囲内の前記電極表面の中心に点接触し、前記接触部位の電位を測定するための中心測定部材Ｐ５と、Ｐ５が前記電極表面に接触したときに、前記電極表面の、Ｐ５の接触点を交点として直交する２ｎ本の直線上に、前記交点を介して点接触し、前記接触部位の電位を測定するための一対の周辺測定部材Ｐ１、Ｐ３およびＰ２、Ｐ４とを含んでいる。 （もっと読む）

【課題】ガスの露点を短時間で変更することができる飽和ガス供給装置を提供する。
【解決手段】飽和ガス供給装置１は、内部に水が溜められる容器２と、この容器２の上部に被設されるジャケット３と、このジャケット３に接続されて、ジャケット３に収容される液体の循環路を形成する管路４とを備えている。管路４は、前記液体を加熱可能な加熱部４２と、前記液体を冷却可能な冷却部４３と、前記容器２内に溜められる水中に配置されて、当該水の温度を前記液体の温度と同温度に調整するための熱交換部４５とを有している。 （もっと読む）

【課題】接続されている２種類の試料のそれぞれに対して条件の異なる加熱冷却試験を同時にすることが可能な加熱冷却試験装置を提供する。
【解決手段】第１試験空間１０は、第１容器１０ａにより画定されている。また、第２容器２０ａは、第１容器１０ａの内部に配置されており、第２試験空間２０は第２容器２０ａの内部の空間である。試料である電子基板１００は、基板１１０上に電子部品１２０が実装されたもので、第１試験空間１０の内部に基板１１０が配置され、第２試験空間２０の内部に電子部品１２０が配置される。制御部３２は、第１試験空間１０内の第１温度センサ１５、第２試験空間２０内の第２温度センサ２５からの出力信号に基づいて、第１試験空間１０及び第２試験空間２０の温度が記憶部３１に記憶された試験温度になるように第１加熱部１２、冷却部１４及び第２加熱部２２を制御する。 （もっと読む）

【課題】はんだ接合部に対する加速寿命の信頼性評価を、変曲点を超えた後に予測することで、簡易な方法で、迅速かつ高精度で行う。
【解決手段】接合評価装置は、はんだ接合部８に対して加熱と冷却とを繰り返し行う冷却部１２及び加熱部１３と、熱供給中のはんだ接合部８の抵抗値を所定周期で測定する測定回路部１１及び測定部２２と、抵抗値が測定される毎に得られた抵抗値から抵抗変化率及び抵抗変化率の変化速度を算出する演算部２３と、算出された抵抗変化率の変化速度から該抵抗変化率の速変化度が低下を開始する変曲点に達したか否かを判断する判断部２４と、変曲点に達した後に、抵抗変化率と抵抗変化率の変化速度から求める予測抵抗変化率が基準閾値に達するまでの期間を演算する評価部２５と、演算から得られた期間の情報を報知する報知部３とを備えている。 （もっと読む）