【課題】 人が快適に在室することができる絶対圧力制御室の換気システムを提供することである。
【解決手段】 送風手段３を備えた給気通路４１と、排気手段４を備えた排気通路４２とを備えており、内部に光学式測長器等の気圧変動の影響を受け易い機器を配置するための絶対圧力制御室２において、送風手段３と排気手段４の最低出力値を設定することにより、前記絶対圧力制御室２内の目標設定気圧が、外気圧よりも高い場合においては、予め設定した所定量以上の空気排出量を確保し、前記絶対圧力制御室内の目標設定気圧が、外気圧よりも低い場合においては、予め設定した所定量以上の空気供給量を確保し、絶対圧力制御室２内の気圧を目標設定気圧に保ちながら絶対圧力制御室２内を換気するようにした。 （もっと読む）

【課題】 熱伝導性が極めて良好で、且つ、同時に多数の試料を試験することができる温度制御装置を提供することである。
【解決手段】 熱伝達プレート２上に試料載置部３を設け、前記試料載置部３に配置した試料１０の温度制御を行う温度制御装置１において、前記試料載置部３に配置した試料１０を覆う蓋４を設け、前記蓋４は、前記熱伝達プレート２から熱伝達され、熱伝達プレート２と蓋４とで形成した室２５内の空気が、熱伝達プレート２と蓋４とから熱伝達され、試料１０の温度を、前記熱伝達プレート２と前記空気とで制御するようにした。 （もっと読む）

【課題】 外気圧と室内の設定気圧の間の差圧が小さい場合においても、室内の気圧を精度よく目標設定気圧に調整することができる絶対圧力制御室の制御装置を提供することである。
【解決手段】 送風手段３を備えた給気通路４１と、排気手段４を備えた排気通路４２とを備えており、内部に光学式測長器を配置するための絶対圧力制御室２において、送風手段３と排気手段４の出力値に最低出力値を設定し、絶対圧力制御室内の目標設定気圧が、外気圧よりも高い場合においては、排気通路４２に備えた排気手段４の出力値が、最低出力値を下回らないように給気通路４１に備えた送風手段３の出力値を設定し、絶対圧力制御室２内の目標設定気圧が、外気圧よりも低い場合においては、給気通路４１に備えた送風手段３の出力値が、最低出力値を下回らないように排気通路４２に備えた排気手段４の出力値を設定した。 （もっと読む）

【課題】 絶縁性を示す試験体の電気的特性を高精度に検出する。
【解決手段】 本発明に係る検出装置１は、試験体に、正弦波発信器５３によって周波数が徐々に変化する正弦波信号を試験体に印加すると共に、試験体からの出力信号をＦＦＴ５２によって検出し、正弦波信号における複数の周波数に対する出力信号の複素インピーダンスを算出する。また、演算部２５によって、算出した複素インピーダンスに基づいて、試験体を構成する固体分子と結合した液体分子によって示される電気的特性と、上記試験体を構成する固体分子の間隙に含まれる液体分子によって示される電気的特性とを、互いに分離して検出する （もっと読む）

【課題】 導電性接着剤の電気的特性を非破壊で正確に検査できる検査装置および検査方法を提供する。
【解決手段】 接着樹脂と導電性フィラーからなる導電性接着剤によって接合された接合部を有する試験体を、荷重試験部１０における試験体保持部に固定する。制御部２は、駆動制御部８を制御し、上記接合部に荷重を繰り返し加えさせながら、抵抗値測定部９を制御し、上記接合部の抵抗値を測定させ、測定結果をデータ蓄積部４に記憶させる。また、制御部２は、測定した抵抗値と予め設定された判定基準値とを判定部５に比較させ、上記接合部の電気的特性の良否を判定する。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で装置及び運転費用が安価で高発熱型半導体デバイスのバーンインも可能なバーンイン装置を提供する。
【解決手段】バーンイン装置は、水供給系２、噴霧器３、等を有し、バーンインボード４１のソケット４５に装着されたデバイス１の上面１１に対して、噴霧器３で水をミスト化して噴射するようにした装置である。高発熱デバイスの発生させた熱量は、ミストが上面１１に当たって蒸発するときの大きな潜熱を含む熱量によって除去され、デバイスは目的とする温度に冷却されつつバーンインされる。 （もっと読む）

【課題】 被加熱物が積載される積載段同士の間隔が狭く、高密度に被加熱物を積載して熱処理することが可能な熱処理装置の提供を目的とする。
【解決手段】 熱処理装置１は、熱風を供給する熱風供給手段１４において発生する熱風が導入される熱処理室１２を有する。熱処理室１２には、ゴンドラ５５とガイドレール７１と支持手段９０とを具備した基板換装システム５４が内蔵されている。ゴンドラ５５は、基板が積載される積載段５６をゴンドラ枠７０の領域内に積み重ねたものである。支持手段９０は、ゴンドラ５５の昇降動作から独立させて積載段５６を支持することができる。熱処理装置１は、基板の換装動作を行う際に回転軸９１が回転して支持片９３が所定の積載段５６の下方に入ることを条件としてゴンドラ５５を下方に移動させ、所定の積載段５６と上方の積載段５６との間隔を拡げる間隔拡張動作を行う。 （もっと読む）

【課題】冷却効果が大きいと共に温度精度良くデバイスを冷却することができ高発熱型デバイスの冷却に使用可能な冷却装置を提供する。
【解決手段】冷却装置は、バーンインボード７１のソケット７６に取り付けたデバイス１に放熱板２３を備えた冷却体２を圧接させ、送風機３で放熱板２３の間を通過するように空気を供給すると共に、圧縮空気供給系５から供給される圧縮空気をノズル６で放出させ、冷却体２の冷却上面２２の一部分に直接当てるように構成されている。これらの両方の空気の冷却効果により、高発熱型デバイスを温度精度良く冷却することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で装置及び運転費用が安価で半導体デバイスのバーンインも可能な冷却装置を提供する。
【解決手段】冷却装置は、空気供給系２、水供給系３、噴霧器４、等を有し、バーンインボード５１のソケット５５に装着されたデバイス１の上面１１に対して、噴霧器４で水と圧縮空気とを混合させて空気と共に水をミスト化して噴射するようにした装置である。高発熱デバイスの発生させた熱量は、ミストが上面１１に当たって蒸発するときの大きな潜熱を含む熱量によって除去され、デバイスは目的とする温度に冷却されつつバーンインされる。 （もっと読む）

【課題】 様々な設備で使用される管１に、気体又は気液混合流体を通す際に発生する騒音を抑制することができる消音部材３を備えた管１を提供することである。
【解決手段】 気体又は気液混合流体を通す管１であって、前記管１内に前記流体の流れる方向に拡がる複数の面７、８を有する消音部材３を配置し、前記複数の面７、８の辺４〜６のうち、流体が流れる方向に延びる少なくとも二つの辺が、前記管１の内壁２と当接しており、且つ、前記複数の面７、８のうちの少なくとも一つの面が、管１の流路を横切っている。 （もっと読む）