【課題】 構成が比較的シンプルであり、基板の熱処理に伴って発生する生成ガスが冷却されて発生するいわゆる昇華物の発生を抑制可能な熱処理装置の提供を目的とする。
【解決手段】 熱処理装置１は、基板処理部５が熱風を供給するための熱風供給手段１４を備えた空気調整部１１と基板を熱処理するための熱処理室１２とを有する。熱処理装置１は、熱処理室１２の最下流側に基板を処理した際に発生する生成ガスの酸化分解を促進する触媒を担持させた触媒壁４０を配している。そのため、熱処理装置１は、生成ガスが冷却されることにより発生する、いわゆる昇華物の発生量が極めて少ない。また、熱処理装置１は、生成ガスの酸化分解の際に反応熱が発生するため、熱処理の際に混合ガスを加熱するのに要する消費電力が僅かで済む。 （もっと読む）

【課題】 被加熱物の熱処理に伴って発生する生成ガスや、生成ガスが冷却されて発生するいわゆる昇華物の漏出を抑制可能な熱処理装置の提供を目的とする。
【解決手段】 熱処理装置は、熱処理室１２に基板を出し入れするための換装部６を有する。換装部６と熱処理室１２との境界部分を構成する遮蔽板４４の挿通孔４４ｃの上下には、清浄な空気を噴出可能なエアノズル６５，６６が配されている。エアノズル６５，６６から空気が噴出されると、換装部６と熱処理室１２との境界部分にエアカーテンＣが形成される。そのため、熱処理室１２内において発生した生成ガスや昇華物は、換装部６を開閉しても熱処理装置１の外部に漏出しない。 （もっと読む）

【課題】 湿度センサが据え付けられている計測現場において短時間で簡易に校正がなし得る湿度センサの校正方法およびそれに用いる湿度センサを提供することを目的とし、さらに自動的に校正を行う湿度センサを提供する。
【解決手段】 本発明の湿度センサの校正方法は、少なくとも温度の異なる３点における湿度を計測し、それらの計測値により湿度算出直線を導出し、その湿度算出直線を用いて計測値を補正することにより、湿度検知手段の検知部による計測値の非線形性を解消するものである。また、本発明の湿度センサＳは、線形性校正手段１３を備え、線形性校正手段１３により、少なくとも温度の異なる３点における湿度の計測値を用いて湿度算出直線が導出され、その湿度算出直線を用いて計測値が補正されて湿度検知手段１の検知部１ａによる計測値の非線形性が解消されてなるものである。 （もっと読む）

【課題】 簡単な構造で低コストで製造でき、水位検出器の細かな位置調整が不要で、均圧が確保され水位変動幅の低減と補給水の温度の影響を軽減できるウイック用水保有容器を提供する。
【解決手段】 ウイックパンアーム１は、境界面１３の上下に狭い幅Ｂ₁ の溝状部１４と広い幅Ｂ₂ の広幅溝状部１５とを形成し、これをそのまま水位検出器２に接続される構造のものである。
【効果】 水保有量を少なくし、それに対応して補給水量を少なくし、水が広幅溝状部に入ると水面が広くなって水位変動が少なくなり、ウイックパンアームが傾斜しても均圧用の空間及びウイック用の水位を確保でき、湿度検出の精度を維持できる。 （もっと読む）

【課題】 加振手段を所定レベルに励磁した状態で振動信号を供給することにより振動を発生させる振動試験装置に関し、消費電力を低減できる振動試験装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 励磁電源１０１の出力直流電流を、加振力検出回路１０５での加振力検出結果に応じて冷却用ブロア電源回路１０２を加振力検出回路１０５での加振力検出結果に応じて制御し、試料９への加振能力に応じた冷却を行うようにする。 （もっと読む）

【課題】 相対湿度の測定精度を上げ環境試験装置の温湿度の制御精度を良くする。
【解決手段】 相対湿度及び温度素子２１、２２を試験室１内に配置してプローブ２４を介して室外のアンプボックス２３に接続した相対湿度計４とその近傍に温度センサ３とを設け、これらの検出値を温湿度調節器４の計算部４１に入力し、検出した相対湿度を温度センサ３の検出値で補正し、補正相対湿度と温度センサ３の温度とを用いて環境試験装置１００の加熱器１２及び加湿器１３の制御出力を発生させる。
【効果】 試験室１の内外で温度差があり、プローブ及びアンプ部の熱伝達によって検出部の雰囲気温度が変動したときでも、正確な温湿度を得て精度の良い制御をすることができる。又、環境試験装置を広範囲の温湿度に適用でき、検出部の風速増加による試料等への影響も軽減される。 （もっと読む）

【課題】 環境試験装置の加湿制御性を向上させる。
【解決手段】 環境試験装置は、通常の構成であるヒータ１ａを内蔵した加湿器１及びこれから発生した蒸気を本体部分の試験室３に供給する蒸気ホース２等に加えて、加湿ラインに空気を循環させるための補助送風機４、自動開閉弁５、これらを低湿運転条件時等に作動させる低湿制御部６１、これが設けられた全体的な操作制御装置６、等で構成されている。
【効果】 低湿運転条件等において加湿器内の水が飽和温度以下になっているときに、試験室内の空気を加湿ラインに循環させることにより、水の自然蒸発を促進して必要な蒸発量を得ることができる。これにより、ある程度加湿出力に対応した加湿蒸気が得られ、試験室の湿度制御性を良好にすることができる。 （もっと読む）

【課題】 フロートをなくし構造を簡素化し雑菌の繁殖を防止する。
【解決手段】 乾球及び湿球温度センサ４及び１により乾球、湿球温度ｔ、ｔ´を測定して給水制御部６に入れ、（ｔ−ｔ´）から予め記憶されている式によってウイック水消費量を出し、少量の余剰水を加えた水量を送水するように電磁ポンプ４の運転率を制御する。余剰水はウイックパン３の水入れ部からオーバーフローさせる。
【効果】 フロートによる水位制御が不要になる。使用条件により送水量を変えて制御するので、余剰水を少なくすることができ、その回収が不要になり、装置が簡素化される。ウイックパンの水入れ部が短く、水位制御用のタンク等がなくなるので、保有水量が少なくなり、水の滞留時間が短くなり、雑菌の繁殖を抑制できる。 （もっと読む）