【課題】半導体加工装置用部材として好適なエロージョン性に優れるサーメット溶射皮膜被覆部材とその製法を提供する。
【解決手段】Ｎｉ及びＮｉ−Ｃｒ系Ｎｉ基合金を主成分とする金属１０〜９０ｍａｓｓ％とＡｌ_２Ｏ_３、Ｙ_２Ｏ_３、ＹＡＧ等からなる酸化物９０〜１０ｍａｓｓ％のサーメット溶射材料を用いて、各種プラズマ溶射法によって気孔率０．４〜１０％、膜厚５０〜５００μｍの皮膜を被覆形成する。 （もっと読む）

【課題】ハロゲン化合物による腐食と耐プラズマエロージョン性、装置部材を清浄化するために頻発に繰り返される洗浄液に対しても優れた耐食性を示す、半導体加工装置用部材に適用して有用な溶射皮膜被覆部材を提供する。
【解決手段】金属と酸化物とからなるサーメット材料を用いて形成された溶射皮膜の表面に、高エネルギー照射処理して気密再溶融層を設けてなる部材について、成膜の初期に存在する皮膜表面の貫通気孔を消滅させると同時にひび割れを防止して、トップコート（溶射皮膜）の表面を実質的に無気孔で耐食性と耐プラズマエロージョン性に優れるサーメット溶射皮膜にする。 （もっと読む）

【課題】基材表面に、耐プラズマエロージョン性に優れたサーメット皮膜を形成する方法と、この方法によって得られるサーメット皮膜被覆部材とを提案すること。
【解決手段】導電性基材の表面に形成した非導電性セラミック溶射皮膜を、電気ニッケルめっき液中に浸漬して、電気ニッケルめっき処理を行うことによって、前記セラミック溶射皮膜の気孔中にめっき析出ニッケルを充填することにより、めっき析出ニッケルを充填したサーメット皮膜を形成し、次いで、高エネルギー照射処理を施して、皮膜表面を再溶融して緻密表面層を生成させる方法と、このようにして得られる皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】基材表面に、密着性と各種の特性に優れたサーメット皮膜を形成する方法、なかでも非導電性セラミック溶射皮膜を電気めっきすることによって、めっき金属充填形サーメット皮膜に変化させる方法と、この方法の実施によって得られるサーメット皮膜被覆部材とを提案すること。
【解決手段】導電性基材の表面に、非導電性セラミック溶射皮膜を形成すると共に、該皮膜の気孔中に、電気めっきによって析出しためっき金属を充填させることにより、サーメット皮膜と同じ構成の皮膜を形成し、同時に多孔質サーメット皮膜の封孔を実現して、基材の耐食性を改善する方法と、この処理によって得られるサーメット皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】基材表面に、耐食性と耐摩耗性に優れた緻密表面層をもつサーメット皮膜を形成する方法と、この方法によって得られるサーメット皮膜被覆部材とを提案すること。
【解決手段】導電性基材の表面に形成した非導電性セラミック溶射皮膜を電気亜鉛めっき液中に浸漬して、電気亜鉛めっき処理を行うことによって、前記セラミック溶射皮膜の気孔中にめっき析出亜鉛を充填することにより、めっき析出亜鉛を充填したサーメット皮膜を形成し、次いで、高エネルギー照射処理を施して、皮膜表面を再溶融して緻密表面層を生成させる方法と、このようにして得られる皮膜被覆部材。 （もっと読む）

【課題】耐腐食性及び耐摩耗性を向上させることで、メンテナンスのためのコストを低減できるスートブロワ用噴射管、及びスートブロワ装置を提供する。
【解決手段】往復動させることで伝熱管１０４が設置された炉内１０３へ抜き差しされるアウタチューブ２を有し、当該アウタチューブ２の先端部から噴射される噴射媒体ｆにより当該伝熱管１０４に付着した付着物を除去するスートブロワ装置１であり、アウタチューブ２の外表面２ｈに、自溶合金溶射皮膜２０を形成した。 （もっと読む）

【課題】強化層が母材から剥離する心配がなく、かつ、母材が表面に露出するように、アルミニウムやマグネシウムの軽金属とその合金の表面層を強化することである。
【解決手段】アルミニウム合金の母材Ｍよりも硬質で比重が大きく、母材Ｍの金属元素と合金を形成しないＷＣの強化粒子６を、重力によって溶融した母材Ｍ中に沈降させて溶融部の下部に堆積させ、この強化粒子６の堆積層９の上側に、溶融した母材Ｍを浮揚させて、堆積層９の強化粒子６の隙間を充填し、堆積層９の上側に浮揚させた母材Ｍを凝固後に除去することにより、強化粒子６の堆積層９が剥離しないようにするとともに、母材Ｍが表面に露出するようにした。 （もっと読む）

【課題】鋳物や鋼で形成されたものと同等以上の表面強度を有し、軽量で熱伝導性の優れた伸線機用キャプスタンブロックを提供することである。
【解決手段】キャプスタンブロック２を形成する母材Ｍをジュラルミンとし、外周面の母材Ｍをプラズマアークで所定の深さまで溶融して、この外周面の母材Ｍの溶融部の下部に、母材Ｍよりも比重が大きいＷＣで形成された強化粒子４を重力によって沈降、堆積させ、この強化粒子４を堆積させた堆積層５の上側に、溶融した母材Ｍを浮揚させた浮揚層６を形成して、この母材Ｍの浮揚層６の表面を平滑化し、平滑化した浮揚層６の表面に溶射法による硬質皮膜７を形成した。 （もっと読む）

【課題】強化層が母材から剥離する心配がなく、かつ、均質で母材と同質の部品表面が得られるように、アルミニウムやマグネシウムの軽金属とその合金の表面層を強化することである。
【解決手段】アルミニウム合金の母材Ｍよりも硬質で比重が大きく、母材Ｍの金属元素と合金を形成しないＷＣの強化粒子６を、重力によって溶融した母材Ｍ中に沈降させて溶融部の下部に堆積させ、この強化粒子６の堆積層９の上側に溶融した母材Ｍを浮揚させた浮揚層１０を形成して、凝固させた浮揚層１０の表面を平滑化することにより、母材Ｍ中に形成された強化粒子６の堆積層９が剥離しないようにするとともに、表面に形成された母材Ｍの浮揚層１０によって、均質で母材Ｍと同質の部品表面が得られるようにした。 （もっと読む）

【課題】低温度の環境下で被加工材の表面に、良好かつ高品位な炭素膜を形成することを目的とする。
【解決手段】所定の真空度に減圧可能とされる真空チャンバ１内に、被加工材４を保持し、基板電圧印加手段３により所定の電圧に印加される基板２と、上記基板２に対向配置される炭素原料基板５上で、真空チャンバ１内に導入される放電発生用の媒体ガスをパルス電源７より炭素原料基板５に出力される調整電力に基づきプラズマ化し、炭素原料基板５から上記基板２に保持される被加工材４に向けて炭素原料とともに放電するプラズマ発生源を備える。これにより被加工材４の表面に放電されるプラズマにより炭素膜を加工形成する。 （もっと読む）