【課題】 パッケージ開口部への蓋体載置後の位置ずれを抑制するとともに、選択的な個割切断を行うことにより外形寸法を変えることができる圧電振動デバイスの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 上部が開口したパッケージ４が複数個形成されたパッケージ基板８の収納部７に水晶振動素子３を搭載接合し、前記収納部の開口部を蓋体２で気密接合した後、個割り切断して複数の圧電振動デバイスを得る製造において、前記パッケージに形成された蓋体を係止するための段差状のガイド部６を介して、蓋体とパッケージとが嵌合されて気密接合されるとともに、前記ガイド部６の一部を含む領域またはガイド部の外側の領域で切断することにより、複数の圧電振動デバイスを得る。 （もっと読む）

【課題】振動エネルギーが漏洩するのを抑制するとともに、上下電極間のショートを防ぐ。
【解決手段】圧電振動共振子１には、絶縁性材料からなる基板２と、基板２上に形成された圧電薄膜３と、基板２上に形成されるとともに圧電薄膜３の表裏面３１，３２に対向して形成された上下電極４１，４２とが設けられ、下電極４２が基板２と圧電薄膜３との間に介在される。下電極４２は、上電極４１と圧電薄膜３を挟んで対向する励振電極部４２１と、外部と電気的接続を行う接続電極部４２２とから構成されている。基板２にはキャビティ２３が形成され、キャビティ２３に対応して下電極４２の励振電極部４２１が配される。圧電薄膜３は、上下電極４１，４２間の振動領域３３と、それ以外の他領域３４とから構成され、振動領域３３の厚みに対して他領域３４の厚みが１／２以下の厚さに設定される。 （もっと読む）

【課題】基板と圧電薄膜との間に絶縁部を必須の構成として設けずに圧電薄膜デバイスの低背化を図る。
【解決手段】圧電振動共振子１には、絶縁性材料からなる基板２と、基板２上に形成された圧電薄膜３と、基板２上に形成されるとともに圧電薄膜３の表裏面３１，３２に対向して形成された上下電極４１，４２とが設けられ、下電極４２が基板２と圧電薄膜３との間に介在される。下電極４２は、上電極４１と圧電薄膜３を挟んで対向する励振電極部４２１と、外部と電気的接続を行う接続電極部４２２とから構成されている。基板２にはキャビティ２３が形成され、キャビティ２３内で下電極４２の励振電極部４２１が露出して配される。下電極４２の励振電極部４２１のうち、少なくともキャビティ２３から露出される部位に、発振周波数調整を行う調整部５１が設けられる。 （もっと読む）

【課題】 圧電振動素子の接合構成を簡略化するとともに、安価で汎用性の高い手法により電極材料の熱拡散の影響をなくした、より実用的で信頼性の高い圧電振動子の製造方法を提供する。
【解決手段】 絶縁ガラスを介してリード端子が貫通固定された金属ベース１と、ベースに搭載される電極が形成された圧電振動素子２と、キャップ３とからなる圧電振動子の製造方法であって、前記低融点金属メッキが形成されたリード端子のインナーリード部と前記圧電振動素子の接続電極との間に、当該接続電極の表面の金属材料と同一の金属材料を含有させたフラックスを介在された状態で、前記インナーリード部に圧電振動素子を配置するとともに、前記インナーリード部の前記低融点金属を溶融することで、前記圧電振動素子の接続電極とリード端子を接合してなる。 （もっと読む）

【課題】 小型化に適し、金属バンプと圧電振動片の接合強度ばらつきが生じにくい圧電振動デバイスの製造方法及び圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】 ベース３と蓋４とが接合されてパッケージが構成され、前記パッケージの内部の前記ベース上に圧電振動片２が保持されるとともに、前記パッケージの内部が気密封止された圧電振動デバイスの製造方法において、圧電振動片の両主面に励振電極と引き出し電極とが形成され、かつ引き出し電極と圧電振動片の両主面を貫通する貫通孔が形成された圧電振動片を用い、ベース上部に形成され、幅広の底部と幅狭の胴部を具備した一体型の金属バンプに対して前記圧電振動片の貫通孔を挿入し、圧電振動片の貫通孔から突出した前記金属バンプの胴部をボンディングツールにより超音波印加しながら電気的機械的に接合する。 （もっと読む）

【課題】液体のリッチ現象を回避するとともに、液体吐出装置の構成の簡略化、及び小型化を図る。
【解決手段】液体吐出装置１は、導電性接着剤３を吐出するものであり、吐出対象の導電性接着剤３には、少なくとも金属フィラーが含まれている。また、液体吐出装置１には導電性接着剤３を収納するシリンジ４が設けられ、このシリンジ４に収納している導電性接着剤３を攪拌する攪拌部材６が設けられている。また、攪拌部材６は、導電性接着剤３と非接触状態で電磁誘導により金属フィラーを移動させて導電性接着剤３を攪拌する。 （もっと読む）

【課題】 直列抵抗値のバラツキを抑制する水晶振動子を提供する。
【解決手段】 水晶振動板１とパッケージ２とキャップを有する水晶振動子であって、水晶振動板は、矩形状で、厚みすべり振動する水晶振動板の表裏面に対向して一対の励振電極が形成され、当該各励振電極は短辺方向の水晶振動板の両端部まで形成されるとともに引出電極により水晶振動板の短辺の端部に引き出されてなり、前記各引出電極は水晶振動板の短辺の側面のみを介して反対面に引き出されてなり、前記水晶振動板の引出電極がパッケージの支持体と導電性接合材により接合され、水晶振動板がパッケージに搭載支持されてなるとともに前記キャップをパッケージに被せて気密封止している。 （もっと読む）

【課題】 急速な排水および排水制御を行うことのできる排水装置および当該排水装置を用いた洗浄装置を提供する。
【解決手段】純水Ｌが貯留された洗浄槽１に前記水晶ウェハＷの格納されたバケットが浸漬され、その後揺動装置により所定の揺動動作がバケットＢに対して与えられる。その後前記コック５１の開放により圧縮エアが流通管に供給され、前記吹出口２１に供給される。これにより吹出口の圧力は瞬時に高まり、バルブ４を押し上げる。この動作により、フランジ部４１が上昇し排出口が開放され、洗浄槽１の純水（液体）は排出口から排出される。また、天板部を押し上げた圧縮エアは天板部の内側からバルブの側壁部に沿って下方に導かれ、最終的に前記排出口２２から強勢に排出される。これにより急速排水が実施される。 （もっと読む）

【課題】 接着剤を内部に充填したシリンジ等の貯留部の環境温度が比較的大きく変動した場合でも、その変動に応じて貯留部内の接着剤の温度補償を確実に行うことのできる、接着剤の温度調整装置および当該温度調整装置を用いた接着剤供給装置を提供する。
【解決手段】シリンジ１１には導電樹脂接着剤Ｓが充填されている。ポンプ５５により水槽の温度調整された液体を流通管２に循環させ、最終的に温度測定槽の温度センサで液体の温度を測定する。液体の温度調整が必要な場合は、温度調整部で加熱冷却を行う。シリンジ内の接着剤は適温に保たれ、基板Ｂの電極パッドＰ上に意図した接着剤Ｓの供給（塗布）を行うことができる。 （もっと読む）

【課題】 超小型化し、高周波数化した場合でも、圧電振動素子の保持並びに気密封止を確実に行うことのできる新規なチップ型の圧電振動デバイスを提供する。
【解決手段】
当該水晶振動板１には中央部分に薄肉部１ａが形成され、その周囲に厚肉部１ｂが形成されており、全体として逆メサ（両凹形）構成を有している。薄肉部１ａの表裏には励振電極１１，１２が対向して形成され、これら励振電極は各々引出電極１１ａ，１２ａにより厚肉部１ｂに引き出されている。水晶振動板１の薄肉部は蓋体２１，２２により気密封止されている。水晶振動板１の短辺の側面（端面）１ｃには引出電極１１ａ，１２ａが延出され、この両側面１ｃに端子部３１，３２がそれぞれ接合されている。 （もっと読む）