【課題】ＭｇＯ基板のエッチング時のサイドエッチング角をできるだけ大きくとれるようにし、生産性の高い赤外線検出素子の製造方法を提供すること。
【解決手段】 基板１（１’）の表面１ａ側に下部電極２および上部電極３に挟まれる状態で薄膜の焦電体４が設けられ、絶縁膜５を介して上部電極３上に赤外線吸収膜６が設けられ、マスク１２を用いて基板１（１’）のエッチングを裏面１ｂ側から行うことにより焦電体４に対応する基板領域Ｒに空洞部１５を設ける赤外線検出素子Ｄの製造方法において、基板１（１’）に対して密着性の良い材料よりなるマスク１２を用いることを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】 物理現象または化学現象を電荷情報に変換することによって定量化を行い、高い測定精度および優れた応答性、さらに優れた直線性を有する測定方法および測定装置を提供すること。
【解決手段】 物理的または化学的な量の大きさに対応して電位が変化するセンシング部に対して電荷供給部から電荷を供給し、供給された電荷をセンシング部からフローティングディフュージョンを介して取出し、供給された電荷量を検出することによって該物理現象または化学現象を測定する方法であって、前記センシング部からフローティングディフュージョンへの電荷転送を、複数の電荷転送手段を介して直列的に行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 全体に亘って連続部位が段階的に様々な温度変化を呈する被測定体であっても、画素数に制限されることなく、画像認識を容易にしつつ被測定体全体の温度分布の状況を正確に把握し得るように温度表示できるようにする。
【解決手段】 可視画像を撮像する撮像装置２と、この撮像装置２の視野内の多点温度を非接触で計測可能な赤外線二次元放射温度計３と、可視画像を表示する表示器４とを備え、表示器４画面に表示された可視画像上で赤外線二次元放射温度計３による計測温度領域に、計測温度値に対応して予め設定されているＲ，Ｇ，Ｂ三原色成分の割り振り配色を基にした階調表示を行なうように構成している。
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【課題】 エンジン排ガス中に含まれるＰＭにおけるドライスート、ＳＯＦおよびサルフェートを、それらが微量であっても、個々に分別して簡便かつ精度よく測定することができるエンジン排ガス中の粒子状物質の分析方法および装置を提供する。
【解決手段】 エンジン排ガスＧ中に含まれる粒子状物質を捕集したフィルタ２を加熱炉１内に設け、まず、加熱炉１内に不活性ガスを流しながらフィルタ２を所定温度で加熱して粒子状物質中の炭化水素とサルフェートを気化し、気化した炭化水素を酸化してＣＯ₂ とする一方、気化したサルフェートを還元してＳＯ₂ とし、前記ＣＯ₂ およびＳＯ₂ をガス分析部１５で分析し、その後、前記加熱炉１内に酸素を流しながら前記フィルタ２を加熱してこのフィルタ２上に残った粒子状物質を酸化してＣＯ₂ を発生させ、このＣＯ₂ をガス分析部１５で分析するようにした。
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【課題】
簡単かつ低コストな構成で、Ｓｏｏｔ濃度測定の際に必要な希釈比を求め、精度のよいＳｏｏｔ濃度測定が可能な排気ガス分析装置を提供する。
【解決手段】
排気ガスラインに対し、ＳＯＦ濃度を連続測定可能なＳＯＦ測定系と、Ｓｏｏｔを連続測定可能なＳｏｏｔ測定系とを接続し、前記Ｓｏｏｔ測定系を、前記排気ガス又は炭化水素濃度が既知である標準ガスのいずれを一方を選択的に希釈用ガスで希釈して導出する希釈器と、前記希釈器の希釈比を調整可能な希釈比調整手段と、前記希釈器で希釈されたガス中のＳｏｏｔを連続測定するＳｏｏｔ検出器とを備えたものにするとともに、前記ＳＯＦ測定系を、前記希釈器に接続可能に構成して当該希釈器で希釈された標準ガスの炭化水素濃度を測定可能なものにした。 （もっと読む）

【課題】
希釈比を簡便に変更、調整でき、しかも希釈されたガスの品質を脈動等がない安定したものにできる希釈システムを提供する。
【解決手段】
希釈用ガスが流れる内部の主経路上に、ノズル及びデフューザを直列に設け、希釈用ガスが加速されて負圧になる負圧領域を形成するとともに、その負圧領域に連通させた連通路を介してサンプルガスを吸い込み、前記希釈用ガスと混合して導出する希釈器と、外部からの所定操作によって、前記希釈器におけるサンプルガスの吸い込み流量がほぼ一定に保たれる範囲内で、当該希釈器に導入される希釈用ガスの流量を変化させる希釈比調整手段とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 少なくとも油分抽出能力をクロロトリフロロエチレンダイマーを用いた場合と同等に維持しながら、オゾン破壊係数だけでなく、地球温暖化係数も小さくできる油分濃度測定方法および油分濃度測定装置を提供すること。
【解決手段】 油分を含んだ液体に油分抽出用溶媒を加えて油分を抽出した油分抽出用溶媒を赤外吸光法によって分析する油分濃度測定装置において、前記油分抽出用溶媒としてハイドロクロロフルオロカーボンを用い、油分を抽出したハイドロクロロフルオロカーボンが供給されるセル１１と、その一端側に配置された赤外光源１６と、セル１１の他端側に配置された光学フィルタ１９，２０および赤外光検出器１７，１８とを備えている。 （もっと読む）

【課題】 スパッタリングによる影響を排除して、高精度の測定を安定して行えるようにする。
【解決手段】 グロー放電発光分析装置は、生成した高周波電力の高周波電圧に係る平均電圧値が一定となるように生成する高周波電力の電力値を変更する。グロー放電発光分析装置が有する電源部のジェネレータは、試料へ印加する高周波電圧の平均電圧値を検出し、検出電圧値とユーザにより設定された基準電圧値とを比較し、検出電圧値が基準電圧値に比べて高い場合、生成する高周波電力の値を低下させ、検出電圧値が基準電圧値に比べて低い場合、高周波電力の値を上昇させ、給電中は試料に印加される電圧値を基準電圧値と同等にしてスパッタリングの安定を図り、それに伴い発光強度の振れを抑制して安定した測定結果を得る。 （もっと読む）

【課題】歯牙外部からう蝕部表面のｐＨ等の溶液物性値を正確に測定する歯牙の状態検出方法およびその装置の提供。
【解決手段】測定電極２側のスポンジ状部材１５Ａを歯牙２０のう窩部２１に挿入し接触させ、比較電極４側のスポンジ状部材１５Ｂを前記歯牙２０の健全部２２に当接させ、う窩部２１の表面部のう蝕部２１ａはもとより、う窩部２１の底部から凹んだ細孔の奥部などの狭い領域のう蝕部２１ｂにも非緩衝液を積極的に供給するとともに、健全部２２の表面にも非緩衝液を積極的に供給し、う蝕部２１ａ，２１ｂの表面および健全部２２の表面が湿潤された状態となり、スポンジ状部材１５Ａに接触する測定電極２およびスポンジ状部材１５Ｂに接触する比較電極４によってｐＨが測定される。 （もっと読む）

【課題】 キャビティリングダウン分光法を用いた分析装置であり、小角を含む広範囲の前方及び後方散乱光を検出可能とすることである。
【解決手段】 レーザ光Ｌの光源２と、一対の反射鏡３１、３２により形成され、レーザ光Ｌを閉じこめ、粒子Ｓが導入される光学キャビティ３と、一部に光を透過する透光部４ａを有する反射鏡保持部材４と、レーザ光Ｌが反射鏡３２で反射する際の漏れ光ＬＭを検出する漏れ光検出器５と、レーザ光Ｌの粒子Ｓからの散乱光ＬＳを検出する複数の散乱光検出器６１、６２、６３と、これら漏れ光強度及び散乱光強度に基づき、粒子Ｓの粒径、散乱係数、消散係数等の粒子特性を算出する演算装置７とを備えた粒子分析装置である。 （もっと読む）