【課題】 付随誘電体膜の発生をコントロールして良好な高誘電体膜又は強誘電体膜を形成できる製膜条件特定の容易化及び効率化を図る。
【解決手段】 製膜条件に係る複数のパラメータ中、一つのパラメータに対しては相異するパラメータ値を設定し、他のパラメータに対しては同一の所定値を設定し、基板上に高誘電体膜又は強誘電体膜を形成した２枚の膜体を製作する。各膜体の膜特性を分光エリプソメータで解析し、解析結果を比較して付随誘電体膜の存在する割合が小さい方法の膜体を良好と判断し、良好な膜体の製作で設定したパラメータ値を特定する。以下、同様な処理を行い一つのパラメータに対する最適なパラメータ値を特定すると共に、他のパラメータに対しても同様の処理を行い、他のパラメータに対しても最適なパラメータ値を特定する。 （もっと読む）

【課題】電気慣性補償機能を有するシャシダイナモメータにおいては、試験時における負荷状態の精度の高い性能評価ができない。
【解決手段】速度検出器とトルク検出器にて測定された速度検出信号Ｖmとトルク信号ＦLCをシャシダイナモメータから別設される評価装置に直接導入し、予め設定された走行抵抗のパラメータとメカニカルロス信号ＦMLを入力し、これら走行抵抗のパラメータとメカニカルロス信号ＦMＬ及び前記速度検出信号Ｖｍを用いて車両モード運転状態における駆動力、仕事率、仕事量の何れかを評価値演算部にて演算し、求められた演算値に基づいてダイナモメータの負荷状態を評価するものである。 （もっと読む）

【課題】
分析データファイルを素早く検索することができる分析装置を提供することである。
【解決手段】
分析対象物Ｓを分析した結果とその際の測定条件等の副次事項とを、測定毎に１つの分析ファイルに保存するファイル保存部３２と、前記分析ファイルを示すアイコンを画面上に生成するアイコン生成部３４と、前記分析ファイルを開いて操作するためのアプリケーション本体部とを備えた分析装置１において、前記アイコン生成部３４が、分析ファイルに含まれる分析結果の内容を、前記アプリケーション本体部を起動することなく、一定の規格に従ってグラフ化し、この分析ファイルに対応するアイコンの表示領域ＩＨ内に表示するとともに、当該分析ファイルに含まれる前記副次事項の少なくとも一部を、当該アイコンの表示領域ＩＨ内に前記グラフＧとともにテキスト形式で並列表示するようにした。 （もっと読む）

【課題】
電極の表面を適切に処理することで研磨に要する手間や装置を必要とせずに電極の再利用を可能とし、更に感度が良く、測定精度の再現性を向上させるポーラログラフ法を用いた測定に関連する種々の方法を提供する。
【解決手段】
結晶性炭素である電極原料を電解質溶液に浸漬し、第１の陰イオンの酸化が起こる境界となる電圧である第１境界電圧を加える活性化工程により得られる前記電極を作用極１とし、ポーラログラフ法を用いた測定を行う測定工程と、前記測定工程の後に、第２の陰イオンの酸化が起こる境界となり、且つ前記第１境界電圧以下の電圧である第２境界電圧を作用極１に印加することで、作用極１に付着した物質を取り除くコンディショニング工程とを備え、前記電解質溶液に由来し、且つ前記第１境界電圧以下の電圧で酸化される陰イオンが、前記コンディショニング工程で用いる支持電解質溶液に含まれる陰イオンと共通とした。 （もっと読む）

【課題】 ポーラログラフ法による残留塩素計において、軸受を不要にして電極の洗浄機構を簡略化する。
【解決手段】 被測定液中に浸漬した作用極７と対極８との間に電圧を印加し、両極間を流れる電流に基づき前記被測定液中の遊離残留塩素濃度を測定する残留塩素計において、作用極７の周りに被測定液とセラミックビーズなどの電極研磨材９が収納される研磨材収納部１０を設け、研磨材収納部１０を振動させる振動モータ１１を設け、作用極７と、その周りの被測定液中に混在させた電極研磨材９とを相対的に振動させることにより、作用極７の電極面を研磨、洗浄し、電極面の汚れを防止しながら被測定液中の留塩素濃度を連続測定するように構成する。
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【課題】 スパッタリングによる測定レベルの低下を防止して、高精度の測定結果を短時間で取得可能にする。
【解決手段】 グロー放電発光分析装置１は、試料Ｓへ高周波電圧を断続的に印加する電源部３を備えると共に、分光器７から第１基板１６が断続印加中の単位印加の時期に同期して測定値の取得を行い、断続印加中の非印加時に係るノイズが混入した測定値の取得を防止すると共に、試料Ｓの電圧印加に対する悪影響を低減して高電圧値を試料Ｓへ印加し、高レベルの測定値を得る。また、第１基板１６は単位印加の時期に測定値を複数回取得することで、分析制御部８は短時間に多数の測定値を得て、測定時間の短縮化を図る。 （もっと読む）

【課題】粒径分布測定装置においてセルの交換に要する作業を省力化すること。
【解決手段】一定方向に光を照射する光源２と、粒子群Ｓを収容する複数のセルＣ１、Ｃ２と、それらセルＣ１、Ｃ２を移動可能に保持するセル保持機構７と、光照射位置ＰにあるセルＣ１、Ｃ２に収容された粒子群Ｓから発生する回折散乱光ＬＳの光強度に基づいて粒子群Ｓの粒径分布を算出する演算装置５とを備えたものであって、
前記セル保持機構７が、セルＣ１、Ｃ２の移動方向に沿って延伸するレール部材７１と、前記各セルＣ１、Ｃ２を搭載するセル搭載部材７２と、狭持体７３と、セル搭載部材７２及び狭持体７３間に配置した弾性部材７４とを備えてなり、セル搭載部材７２に設けた第１接触面と、前記狭持体７３に設けた第２接触面とを前記レール部材７１を挟んで対向する位置に配置するとともに、弾性部材７４の弾性復帰力により前記接触面同士を互いに引きつけ、それら接触面を前記レール部材７１に移動可能に押圧接触させるように構成した。 （もっと読む）

【課題】 単一のサーモパイル等の測温素子のみを用いて小型化、低コスト化を図りつつ、熱容量を低減して高感度化及び高速応答化並びにガス種の選択化を容易に実現できるようにする。
【解決手段】 シリコン基板２面に成膜されたダイヤフラム４上にサーモパイル等の測温素子５が形成され、この測温素子５の感熱部に対応するダイヤフラム４の裏面には酸化触媒６が担持され、かつ、シリコン基板２の表面上には、酸化触媒６を活性状態に維持可能な電熱ヒータ７が設けられている。
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【課題】 電界、磁界、超音波の他の外力や複雑な流体制御機構を用いることなく容易な構成を用いることにより３次元的な流れを作りだしてサンプル流を確実に収束させることができるマイクロチップおよびマイクロチップ中における流体制御方法を提供すること。
【解決手段】 流入側の流路８３と、流出側の流路８４と、流入側の流路８３の上流側に合流するよう設けたサンプル液導入路８７ａおよびシース液導入路８３ａ，８３ｂとを備え、サンプル液の流れＳをシース液の流れＦ₁ ，Ｆ₂ によって挟み込むようにしてあるマイクロチップにおいて、シース液の流れＦ₁ ，Ｆ₂ で挟み込まれたサンプル液の流れＳを収束させる段差部２を流入側の流路８３に設けてある。 （もっと読む）

【課題】ソフトウェアや光検出部に異常がないか否かを安価に且つ迅速に検証できる構成を備えた新規有用な粒径分布測定装置を提供する。
【解決手段】予め基準試料Ｗを使用した測定によって演算処理部２６から得られた粒径分布データＤｐを記憶する基準分布データ記憶部５１と、測定時に光検出部２０Ｘが出力した信号Ｓｐと同様の信号を擬似信号Ｓｖとして発生する擬似信号発生部５２と、動作確認時等にこの擬似信号発生部５２で発生する擬似信号Ｓｖを演算処理部２６に入力することにより演算処理部２６において得られる粒径分布データＤｖを記憶する実分布データ記憶部５４と、これら基準分布データ記憶部５１及び実分布データ記憶部５４に記憶されている分布データＤｐ，Ｄｖを取り出して比較処理する分布データ比較処理部５３とを備えるものとした。 （もっと読む）