【課題】ダイヤモンドを用いたマイクロ電極４２ｐやマイク電極４２ｐを複数備えたアレイ電極を製造する場合に、電極表面を高精度に製造可能とすることで、計測精度などに優れた測定を可能とするマイクロダイヤモンド電極４２を得る方法を提供する。
【解決手段】
シリコン等の基板４１１上にダイヤモンド薄膜４２を成膜する成膜工程と、前記ダイヤモンド薄膜４２をエッチングすることで所定の箇所を除去しマイクロ電極４２ｐを設けるエッチング工程とを備えるようにする。 （もっと読む）

【課題】常に検査対象基板を基準とする座標系で異物の位置を検出する。
【解決手段】検査対象基板１の外周縁１ｂ，１ｃの異なる複数箇所の位置を、ステージＳｔを基準とするステージ座標系（Ｘ，Ｙ）において検知する非接触型の位置検知手段１１と、検知された外周縁１ｂ，１ｃの各位置から検査対象基板１を基準とする基板座標系（ｘ，ｙ）を作成し、検査対象基板１上の各点の位置をステージ座標系から基板座標系に変換するための座標変換定数を求める変換定数算出手段Ｐａと、検査対象基板１にレーザ光Ｌを照射する光源部２と、このレーザ光Ｌの照射に伴って生じる反射散乱光Ｒを検出する検出部７と、前記反射散乱光Ｒを分析することにより検査対象基板１上の表面にある異物のステージ座標系における位置（Ｘａ₁ ，Ｙａ₁ ）…を検出し、前記座標変換定数を用いて基板座標系における異物の位置（ｘａ₁ ，ｙａ₁ ）…を演算する異物位置検出手段Ｐｂとを有する。 （もっと読む）

【課題】ダイヤモンド電極４２を所望の原子で精度良く終端化し、より完全な終端表面を有するダイヤモンド電極４２を得る方法を提供する。
【解決手段】水素終端化されているダイヤモンド電極４２の表面を、希ガスをスパッタリングすることにより、当該希ガスで終端化する希ガス終端化工程と、そのダイヤモンド電極４２の表面の希ガスを、目的物質で置き換えて終端化する目的物質終端化工程とを備えるようにした。 （もっと読む）

【課題】 レティクルやマスクなどパターンが形成された基板上の異物検査において、パターンからの散乱や回折光による誤検出を低減しながら、かつ、異物の見逃しも低減することができる異物検査装置および異物検査方法を提供する。
【解決手段】 検査対象基板１の表面に対して一定の偏光角を有するレーザ光Ｌを走査しながら照射する光源部２と、検査対象基板１の表面に形成されたパターンによる散乱／回折光を消光する光学手段１１を設け、その出力信号Ｒｍを検出する主検出器１３と、前記散乱／回折光Ｒを透過する光学手段１２を設け、その出力信号Ｒｒを検出する参照用検出器１４と、主検出器１３の偏光成分出力から参照用検出器１４の偏光成分を減算して差信号Ｄを求め、この差信号Ｄに含まれるパターンによる幅の広い信号Ｐad, Ｐbdと異物Ａａ，Ａｂによる鋭いピークを持つ信号Ａad, Ａbdをその周波数によって弁別して取出す信号処理部２０とを有する。 （もっと読む）

整流器は、流体の流れの方向におおむね平行な羽根を並べて構成した本体を含む。前記羽根は、効果的に流れの中の大規模な渦を削減すべく複数のチェンバーを形成する。前記羽根は、効果的に不規則な流れを削減し、抗力を低減するチェンバー間の圧力調整を可能にする穿孔を表面に持つ。さらに好ましい特徴として、円板を備える整流器の流入口と流出口で流れの断面積を低減して形成された音響チョーク部を含む。前記板は、微細な渦の発生を増加させる粗いエッジを持つ。

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【課題】 応答性を犠牲にすることなく強度を大幅に向上させると共に、製造工程の自動化を容易に図ることができ生産性を向上するガラス電極の製造方法を提供する。
【解決手段】 支持管２の開放端部２ａに多孔性のセラミック６を挿入し、このセラミック６の前記支持管開放端部２ａからの露出面６ｂ，６ｃの全てを応答ガラス１２が溶融されてなる溶融ガラス７に浸漬した後にこれを引き出すことにより、前記セラミック６の露出面６ｂ，６ｃに応答ガラス膜１２を形成する。 （もっと読む）

【課題】試料を分散媒を用いて自動的に調整する機能を有する粒度分布測定装置において、試料の特性、特に粘度の相違による粒度分布の誤差の解消や測定時間の短縮を図ることを目的とする。
【解決手段】一部にＶ字又はＬ字形状を有する試料容器の当該形状部分から、試料を混合部に投入することを特徴とする粒度分布測定装置を供給する。 （もっと読む）

【課題】水質分析装置において、微量の試料または薬液を簡易かつ精度よく注入することを課題とする。
【解決手段】ポンプ・配管・切換弁・液面検知素子を配した水質分析装置の試料採取・薬液注入ラインにおいて、減圧された一定の径を有する配管に導入された試料等を、空気を媒体として移動し、所定の部材に注入する。定量性は、細管部に設けられた光学素子によって液面検知することで非常に精度を上げることができる。試料や薬液の数を増減する場合においては、特に有効な手段となる。 （もっと読む）

【課題】 磁製るつぼ内部にブランク値上昇の原因となる炭素成分が侵入するのを防止できる磁製るつぼの成形方法および磁製るつぼを提供すること。
【解決手段】 高周波加熱炉５に設置される磁製るつぼ１の成形方法において、二酸化ケイ素の粉末を二酸化ケイ素の融点より低い温度で焼成して磁製るつぼ本体２を形成した後、この磁製るつぼ本体２を二酸化ケイ素の融点より高い温度で一定時間加熱処理して、磁製るつぼ本体２を覆う被覆膜３を生成するようにしている。 （もっと読む）

【課題】 試料の燃焼速度を制御することにより、精度よく試料分析を行うことができる元素分析装置を提供すること。
【解決手段】 高周波燃焼炉１内の上方に設けられた酸素供給管７からるつぼ３に対してその上方から酸素ａを供給し、るつぼ内の試料を、酸素供給下において高周波誘導加熱によって燃焼させて燃焼ガスｃを発生させ、この燃焼ガスをガス分析部において分析するように構成された元素分析装置において、前記酸素供給管７の内部に、前記試料の燃焼に伴って発せられる放射光を高周波燃焼炉外の放射温度計２３に伝送する光ファイバ２０を設けて前記試料の燃焼時における温度を測定し、この測定結果に基づいて前記試料の燃焼状態が分析対象の元素に最適な状態になるように制御するようにした。 （もっと読む）