【課題】熱インプリント性、耐エッチング性の良好なエッチングマスク、エッチングマスク付き基材、および微細加工品およびその製造方法の提供。
【解決手段】特定の環状オレフィンの開環重合体もしくはその水素化物を少なくとも１種類含有する熱可塑性樹脂からなるエッチングマスク。 （もっと読む）

【課題】加工精度に大きく影響し、集積度やさらには歩留まりを左右する大きなファクターである、半導体リソグラフィー工程におけるレジストパターン形状を改善するために低分子領域における水酸基含有繰り返し単位の組成を制御した半導体リソグラフィー用共重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】本発明によれば、水酸基を有する単量体と水酸基を有さない単量体とを共重合して得る半導体リソグラフィー用共重合体において、水酸基を有する繰り返し単位の組成を制御した共重合体を用いることにより、上記の目的を達成することができる。 （もっと読む）

【課題】 温和な条件下でアルミニウムを効率よく導入することが可能な、粒子径が２μｍ以下の結晶性ケイ酸アルミニウムミクロ多孔体の製造方法を提供することで、産業利用可能な結晶性ミクロ多孔体、あるいは、結晶性ミクロ多孔体成型物を提供すること。また、触媒としての利用等の用途において高い性能を発揮する結晶性ミクロ多孔体を提供すること。
【解決手段】
次の工程（１）ないし（４）
（１）カネマイト、アルミナ前駆体およびアンモニウム化合物、ホスホニウム化合物またはアミン類から選ばれる少なくとも一種の結晶化調整剤を含んでなるアルカリ性の混合液を調製し、６時間以上撹拌する混合工程
（２）工程（１）で得た混合液のｐＨを、７.６ないし８.４となるよう中和する中和工程
（３）工程（２）で中和された混合液中に析出した微粒子を、混合液中から分離する固液分離工程
（４）固液分離された微粒子を加熱して結晶化させる結晶化工程
を含むことを特徴とする結晶性ケイ酸アルミニウムミクロ多孔体の製造方法およびこれにより製造された結晶性ケイ酸アルミニウムミクロ多孔体。 （もっと読む）

【課題】 芳香族ポリアミドが本来有する優れた耐熱性及び機械的特性等を損なうことなく有機溶媒への可溶性を付与し、マトリックス樹脂に芳香族ポリアミドを分子レベルで分散させたナノコンポジットを提供すること。
【解決手段】 脂肪族ポリイミド及び／またはその前駆体をマトリックスとし、前記脂肪族ポリイミドの前駆体である脂肪族イミドに対し相溶性を示す有機溶媒可溶性芳香族ポリアミドを強化繊維分子として含有するアラミドナノコンポジットおよびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】
硬化性に優れ、低粘度であり、硬化速度が速く、硬化塗膜の表面硬度及び基材への密着性に優れ、さらに硬化収縮が起こらない硬化性組成物を提供する。
【解決手段】
次の成分（Ａ）、（Ｂ）および（Ｃ）
（Ａ）エポキシ樹脂
（Ｂ）下記一般式（１）
【化１】


（式中、Ｒ_１は水素原子または炭素数１〜４のアルキル基を表し、Ｒ_２はエーテル結合
を含んでいても良い炭素数１〜４のアルキレン基を表す）
で示されるビニルエーテル基を有するオキセタン化合物
（Ｃ）カチオン重合開始剤
を含有することを特徴とする液状硬化性組成物。 （もっと読む）

【課題】解像度、電気絶縁性、熱衝撃性、密着性等に優れ、半導体素子の層間絶縁膜や表面保護膜などに適した感光性樹脂成分の原料として有用な、新規なヒドロキシスチレン系ＡＢＡ型トリブロック共重合体とその簡便な製造方法を提供する。
【解決手段】ヒドロキシスチレン系繰り返し単位（ａ１）を含むセグメントＡとビニルエーテル系繰り返し単位（ｂ）を含むセグメントＢとからなり、セグメントＡとセグメントＢの連結部位が、次の一般式（３）


（ａはセグメントＡとの結合部位を表し、ｂはセグメントＢとの結合部位を表す）で表されるヒドロキシスチレン系ＡＢＡ型トリブロック共重合体とその製造方法である。両末端にチオール基を有するポリビニルエーテルを連鎖移動剤とし、ヒドロキシスチレン系単量体とラジカル重合することによって製造することができる。 （もっと読む）

【課題】熱インプリントによる微細加工において、パーティクル状物の発生を抑制するために、耐熱劣化性に優れ、かつ流動化時の樹脂弾性率が低く微細パターン転写性の良好な熱インプリント用樹脂、当該樹脂を用いた熱インプリント用樹脂溶液、当該樹脂を用いた熱インプリント用射出成型体、当該樹脂を用いた熱インプリント用薄膜およびその製造方法を提供する。
【解決手段】空気中、昇温速度5℃/minでの示差走査熱量計測定において、酸化に伴う発熱ピークの発熱開始温度（酸化開始温度）が、当該樹脂のガラス転移温度＋35℃以上であり、窒素気流中、周波数1rad/secでの動的粘弾性率測定おいて、樹脂のガラス転移温度＋35℃での複素弾性率が0.24MPa未満である熱インプリント用樹脂。また、これを用いた熱インプリント用樹脂溶液、熱インプリント用射出成型体、熱インプリント用薄膜およびその製造方法。 （もっと読む）

【課題】 熱インプリントプロセスに実質的に適用可能な樹脂溶液、その薄膜およびこれらの製造方法を提供すること。
【解決手段】 熱インプリント用途に供される薄膜を形成するための熱インプリント用樹脂溶液であって、熱可塑性樹脂と当該樹脂を溶解する少なくとも１種類以上の溶剤とを含み、粒径0.2μｍ以上の異物の含有量が3000個／ｃｍ^３未満に調製する。また、この熱インプリント用樹脂溶液から薄膜を形成する際、薄膜の残存揮発分を0.25％以下にする。 （もっと読む）

成型樹脂製品を製造する方法であって、（ｉ）１つの樹脂に対し反応モノマーをそれぞれ含む複数の液体樹脂成分であり、少なくとも１つの液体樹脂成分は触媒を含み、少なくとも１つの液体樹脂成分は活性化剤を含み、少なくとも１つの液体樹脂成分は熱膨張マイクロスフィアを含むものであり（ｉｉ）液体樹脂成分を混合し（ｉｉｉ）予め決められた温度で型に混合した液体樹脂成分を注入するものであり、その予め決められた温度が熱膨張マイクロスフィアの膨張開始温度よりも少なくとも１０℃以上低いものである、という工程を含むものである。 （もっと読む）

【課題】水又は水に対する液浸媒体に対して高い撥水性を有し、現像液によって容易に剥離し、かつフォトレジスト層とのミキシングを起こさない保護膜を形成するための液浸リソグラフィー用レジスト保護膜形成用材料の提供。
【解決手段】少なくとも下記一般式（１）


で表されるビニルエーテル系構成単位と、 下記一般式（２）：


で表されるマレイミド系構成単位を有するビニルエーテル共重合体。 （もっと読む）