丸善石油化学株式会社により出願された特許

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【課題】分子量が1000以下のオリゴマーや重合開始剤由来の副生物の含有量が少ない、重量平均分子量が3000以上6000以下であるレジスト用共重合体の製造方法の提供。
【解決手段】該製造方法は、単量体を含む溶液と、重合開始剤を含む溶液とを加熱した溶媒中に連続的に供給してラジカル重合を行う工程を含み、単量体供給量が全単量体供給量の10モル%に達した時点から単量体溶液供給終了の時点までの間において、重合液中の重合開始剤濃度の変化幅がその間の最大濃度と最小濃度の中間値の±25%以内であり、且つ、重合液中の未反応単量体濃度の変化幅が、その間の最大濃度と最小濃度の中間値の±35%以内であることを特徴とする、レジスト用共重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】簡便な方法で様々なカチオン重合性モノマーとラジカル重合性モノマーのブロック共重合体を得ることができ、かつ、安定性に優れたブロック共重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】次の式(1)


(Aは酸素原子を含んでいてもよい炭素数1〜12の2価の有機基、Xは酸素原子又は硫黄原子、Qはラジカルとして脱離しビニル炭素を遊離基付加に向けて活性化が可能な官能基を表す)の化合物を開始種とし、ルイス酸の存在下カチオン重合可能なビニル系モノマーをリビングカチオン重合する工程と、前記工程により得られたリビングポリマーをマクロ連鎖移動剤として、ラジカル重合開始剤の存在下、ラジカル重合可能なビニル系モノマーをリビングラジカル重合する工程とを含む、ブロック共重合体の製造方法。 (もっと読む)


【課題】リビングカチオン重合の開始種に用いることができ、かつ、可逆的付加開裂連鎖移動重合可能な部位を含有するビニルエーテル並びにそれを開始種としてリビングカチオン重合可能なビニル系モノマーを重合して得られ、可逆的付加開裂連鎖移動重合によるリビングラジカル重合が可能な重合体の提供。
【解決手段】次の式(1)



(式中、Xは、酸素原子又は硫黄原子である)で表わされるビニルエーテル及びこれを開始種としてビニル系モノマーをリビングカチオン重合して得られる重合体。 (もっと読む)


【課題】高価な触媒を用いることなく、簡便な装置で安全に、さまざまな構造の芳香族ビニルエーテルを製造することが可能な方法を提供する。
【解決手段】下記式(1)


(式中、Rはn個のフェノール性水酸基を有するフェノール類の残基であり、nは1〜3の整数を示す)で表される、フェノール性水酸基の水素原子がビニロキシエチル基で置換された構造を有する芳香族ビニルエーテル(1)を、無溶媒又は非プロトン性極性溶媒中、アルカリ金属化合物の存在下で加熱することにより、下記式(2)


{式中、R及びnは式(1)と同義である}で表される、フェノール性水酸基の水素原子がビニル基で置換された構造を有する芳香族ビニルエーテル(2)に変換することを特徴とする。 (もっと読む)


【課題】イオンビームに対して好適な感度を有し、より高アスペクト比かつ狭ピッチ間隔の微細構造を形成することが可能であり、かつ露光後のパターンの経時劣化が少ないレジストパターンが得られるイオンビーム描画用ネガ型レジスト組成物およびそれを用いたパターン形成方法の提供。
【解決手段】分子中に不飽和二重結合を二以上有する不飽和脂環式化合物とフェノール類との重付加物をグリシジル化して得られるエポキシ樹脂、光カチオン重合開始剤、有機溶剤を含有することを特徴とするイオンビーム描画用ネガ型レジスト組成物および前記レジスト組成物を基材に塗布した後、有機溶剤を揮発除去させることによりレジスト膜を得る第1の工程と、得られたレジスト膜にイオンビームを照射して所望のパターンに露光する第2の工程と、露光後のレジスト膜を現像して未露光域のレジストを溶解除去してパターン層を得る第3の工程とを有するパターン形成方法。 (もっと読む)


【課題】簡便かつ効率的な、金属不純物量が極めて少ない半導体リソグラフィー用共重合体の製造方法及び該共重合体を製造するための重合開始剤の精製方法の提供。
【解決手段】本発明の重合体の製造に用いる重合開始剤の精製方法は、有機溶剤に溶解された重合開始剤の溶液を、公称孔径が1.0μm以下のフィルターに通液させて、重合開始剤溶液のナトリウム含有量を、重合開始剤の質量に対して、300ppb以下に低減させる、通液工程を含んでなるものである。さらに、本発明の半導体リソグラフィー用共重合体の製造方法は、上記の精製方法により精製された重合開始剤の存在下、ラジカル重合反応により、該半導体リソグラフィー用重合体を合成する、重合工程を含むものである。 (もっと読む)


【課題】 金属ナノ粒子の分散性に優れ、粒径の揃った金属ナノ粒子分散膜を簡便かつ容易に製造する方法を提供すること。
【解決手段】 金属ナノ粒子分散膜を製造するために用いられる光硬化性組成物であって、少なくとも以下の[A]〜[C]:
[A]還元により金属微粒子を生成可能な金属化合物
[B]金属化合物[A]を構成する金属イオン又は金属錯体と相互作用し、かつ、還元
により析出した金属微粒子の表面に吸着可能な官能基(Q)を有し、かつラジカル重
合性基を2以上有する多官能単量体
[C]光ラジカル重合開始剤
を含み、組成物中の多官能単量体[B]の配合量が、組成物の全量100質量%に対し50質量%を越え95質量%未満の範囲である光硬化性組成物並びにこの光硬化性組成物を用いる金属ナノ粒子分散膜の製造方法および導電性薄膜の製造方法。 (もっと読む)


【課題】 高分子固体電解質のイオン導電率の温度依存性を抑止するとともに、高いイオン導電率を示す高分子固体電解質用ベースポリマーおよびこれを利用した高分子固体電解質を提供すること。
【解決手段】下記式(1)
【化1】


(式中、Rはメチル基又はエチル基であり、nは5〜100の数である)
で表される繰り返し単位を有する共重合体およびこれとリチウム塩とで構成される高分子固体電解質。 (もっと読む)


【課題】1つの転写成形体の製造時間が短く、消費エネルギーが小さい熱ナノインプリント方法を提供する。
【解決手段】スタンパ53、転写対象物55、モールド57の順に配置された積層体を、加熱され且つ転写対象物のガラス転移温度未満の所定の温度に維持された第1の一方のステージ19及び第1の他方のステージ21を有する第1プレス機の第1の一方のステージ及び第1の他方のステージの間に配置し、第1プレス機により積層体をプレスする第1プレス工程と、プレスした積層体を、加熱され且つ転写対象物のガラス転移温度以上の所定の温度に維持された第2の一方のステージ27、及び、加熱され且つ転写対象物のガラス転移温度未満の所定の温度に維持された第2の他方のステージ29の間に配置し、第2プレス機により積層体を更にプレスする第2プレス工程と、を備える熱ナノインプリント方法。 (もっと読む)


【課題】 湿式法により、特殊な設備等を必要とすることなく、分散安定性に優れ、粒径の制御が可能な金属ナノ粒子を簡便かつ容易に製造する方法を提供すること。
【解決手段】 還元により金属微粒子を生成可能な金属化合物[A]と、金属化合物[A]を構成する金属イオン又は金属錯体と相互作用し、かつ還元により析出した金属微粒子の表面に吸着可能な官能基(Q)を有するラジカル重合性ビニル単量体[B]と、光ラジカル重合開始剤[C]と、溶媒[D]とを含有することを特徴とする重合性組成物および上記重合性組成物に活性エネルギー線を照射することにより、金属ナノ粒子の形成と保護ポリマーの形成を一工程で行うことを特徴とする金属ナノ粒子の製造方法。 (もっと読む)


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