【課題】有機反射防止膜用共重合体の製造方法の提供。
【解決手段】本発明による有機反射防止膜用共重合体の製造方法は、少なくとも２種の繰り返し単位を含む有機反射防止膜用共重合体の製造方法であって、前記共重合体が、多環式芳香族化合物と、極性基を有するモノマーとの共重合体であり、前記共重合体の重合反応が、少なくとも２種の極性の異なる溶媒を含む混合溶媒中で行われるものである。 （もっと読む）

【課題】保存中のラクトン構造および酸性基含有樹脂の経時変化を防ぐことができるフォトレジスト用共重合体の製造方法の提供。
【解決手段】本発明によるフォトレジスト用共重合体の製造方法は、ラクトン構造を有する繰り返し単位および酸性基を有する繰り返し単位を含むフォトレジスト用共重合体の製造方法であって、前記共重合体をヒドロキシ基非含有溶媒によって溶液状態に保つことを含む保存工程を含むことを特徴とするものである。 （もっと読む）

【課題】ビニルエーテルと未反応の原料アルコールを含む粗ビニルエーテルから、高純度のビニルエーテルを効率よく回収することができるビニルエーテル製造法の提供。
【解決手段】一般式Ｒ−Ｏ−Ｈ（Ｒは脂肪族炭化水素基等）で表されるアルコールを、触媒の存在下にビニルエーテル化反応に付し、一般式Ｒ−Ｏ−ＣＨ＝ＣＨ_２で表されるビニルエーテルを合成し、この反応混合物から触媒を除去し、ビニルエーテルと未反応の原料アルコールを含む粗ビニルエーテルを得た後、酸触媒の存在下に、粗ビニルエーテル中に残存する未反応の原料アルコールをビニルエーテルと反応させて、一般式（３）


で表されるアセタールに変換し、さらに、該アセタールを含有する粗ビニルエーテルを蒸留に付して高純度ビニルエーテルを得る。 （もっと読む）

【課題】 現像コントラストが高く、微細パターンの解像性能に優れた、化学増幅ポジ型の半導体リソグラフィー用共重合体の製造方法を提供する。
【解決手段】 本発明の製造方法は、少なくとも、酸解離性溶解抑制基でアルカリ可溶性基を保護した構造を有する繰り返し単位（Ａ）、ラクトン構造を有する繰り返し単位（Ｂ）、及び、アルコール性水酸基を有する繰り返し単位（Ｃ）を含む共重合体の製造方法であって、繰り返し単位（Ａ）、（Ｂ）及び（Ｃ）を与える単量体から選ばれる少なくとも一種類以上を、有機溶媒に溶解した状態で水と接触させ、分液する工程、或いは、有機溶媒に溶解した状態でイオン交換樹脂と接触させる工程を経た後、共重合に供することにより、得られた共重合体を溶媒に溶解した後、ブロモチモールブルーを指示薬として、水酸化アルカリ金属含有溶液で中和滴定する方法で求めた酸価を、０．０１ｍｍｏｌ／ｇ以下とすることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】モノマー組成比の偏りの小さいフォトレジスト用共重合体の製造方法の提供。
【解決手段】本発明によるフォトレジスト用共重合体の製造方法は、少なくとも２種の繰り返し単位を含むフォトレジスト用共重合体の製造方法であって、モノマー溶液と、重合開始剤を含む溶液とを重合反応系内に供給する供給工程を有し、重合反応開始からモノマー溶液の供給終了までの間の重合反応系内において、未反応モノマーのモノマー組成比の変動幅が上下１５％以内である、あるいは未反応モノマーのモノマー組成比の標準偏差が２以内である、フォトレジスト用共重合体の製造方法である。 （もっと読む）

【課題】分子量の安定したベースポリマーを得ることができる半導体リソグラフィー用共重合体の製造方法の提供。
【解決手段】本発明による半導体リソグラフィー用共重合体の製造方法は、少なくとも２種の繰り返し単位を含む半導体リソグラフィー用共重合体の製造方法であって、前記共重合体を含水率が３５０ｐｐｍ〜１０質量％である溶液として保持する工程を有するものである。 （もっと読む）

【課題】データ通信量を多くすることなく複数の工場間での測定日時の整合性を保つことが可能であり、かつ、各工場で測定された測定データの演算結果をリアルタイムで確認可能な水素プラントの提供。
【解決手段】水素プラント１の第１の水素発生消費工場２、第２の水素発生消費工場３、水素発生工場４に、同一の標準時計に日時が合わされた標準時計５１８，５４８，５７８を有するデータ処理装置５１，５４，５７を設けた。Ａ社のデータ処理装置５１は、測定手段５１１，５１２での測定結果を標準時計５１８の計時日時に関連付けた被処理物データを生成してＢ社、Ｃ社へ送信する。データ処理装置５１は、Ｂ社、Ｃ社から被処理物データを受信すると、被処理物データを利用した演算をする。Ｂ社、Ｃ社のデータ処理装置５４，５７もデータ処理装置５１と同様に、被処理物データを利用した演算をする。 （もっと読む）

【課題】製膜性及び透明性に優れた刺激応答性材料の提供。
【解決手段】少なくとも１種の式（１）：


[式中、Ｒ¹〜Ｒ¹²は各々独立して水素原子、重水素原子、又は炭素数１〜１５の炭化水素基を示し；Ａ^l〜Ａ⁴は各々独立して水素原子、重水素原子、又は炭素数１〜１５の炭化水素基を示し；Ｒ¹〜Ｒ¹²、Ａ^l〜Ａ⁴は一緒になって脂肪族環を形成していてもよい。ｎは０〜３の整数、ｍは０〜２の整数を示す。]で表される脂環式ビニルエーテルと、少なくとも１種の炭素数１０〜３０の長鎖アルキル基含有ビニルエーテルとを主鎖に含む脂環式ビニルエーテル共重合体。 （もっと読む）

【課題】ポリビニルエーテル系重合体とポリオキシスチレン系重合体とを含む新規なビニルエーテル系ＡＢＡ型トリブロック共重合体の簡便な製造方法を提供すること。
【解決手段】本発明は、２官能性開始剤、ルイス酸及び溶媒の存在下に、オキシスチレン系単量体とビニルエーテル系単量体の混合物を添加し、オキシスチレン系単量体の反応速度定数ｋ_ＯＳとビニルエーテル系単量体の反応速度定数ｋ_ＶＥとの反応速度定数比がｋ_ＶＥ／ｋ_ＯＳ≧１６５０となる条件下でリビングカチオン重合させて、ポリビニルエーテル系重合体をセンターブロックとするＡＢＡ型トリブロック共重合体を得ることを特徴とするビニルエーテル系ＡＢＡ型トリブロック共重合体の製造方法である。
本発明の方法によって、ビニルエーテル系ＡＢＡ型トリブロック共重合体を簡便に、かつ効率よく製造することができる。 （もっと読む）

【課題】本発明は、芳香族成分の生成を抑制し、低級オレフィンを効率よく製造することができると共に、触媒活性の持続性に優れたゼオライト系触媒、その製造方法及びこれを用いた低級オレフィンの製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】アルカリ土類金属、希土類元素及びリンを担持した結晶性アルミノシリケートであり、これらの成分を担持するにあたり、下記（ａ）又は（ｂ）の順に各々別工程で担持してなることを特徴とする低級オレフィン製造用触媒。
（ａ）アルカリ土類金属、リン、希土類元素
（ｂ）アルカリ土類金属、リン、希土類元素、リン （もっと読む）