説明

助川電気工業株式会社により出願された特許

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【課題】熱電対を加熱容器の内側に配置し、その測温接点がある同熱電対の上端部側を加熱プレートの背面に埋め込んだ構造においても、正確に且つ障害なく温度を測定出来るようにする。
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、加熱容器1の天板となっている加熱プレート2の背後から加速された電子を衝突させて電子衝撃加熱するフィラメント9を有するものである。前記加熱プレート2の温度を測定する熱電対5の測温接点側の端部を加熱プレート2に絶縁状態で埋め込むことにより、この熱電対5をアース接続されている加熱容器1と電気的に絶縁すると共に、フィラメント9から放出される熱電子に対して熱電対5を遮蔽部材13で遮蔽した。 (もっと読む)


【課題】加熱プレート2が基板、サセプタ或いは熱遮蔽板の陰に隠れてしまっている場合でも、輻射温度計5を使用して加熱プレート2の内部の温度を測定出来るようにする。
【解決手段】加熱プレート温度測定装置は、加熱プレート2に孔7を設け、この孔7の中にプラグ4を配置し、前記孔7を通してプラグ4の輻射熱を輻射温度計5により測定する。プラグ4として輻射率が1.0に近い黒鉛からなるものを使用することにより、加熱プレート2の輻射率に係わらず、正確な温度測定が可能である。また、孔7を加熱プレート2の側面に開口することにより、加熱プレート2の上面に基板やサセプタを載せても、それらに邪魔されることなく輻射温度計5で温度測定が出来る。プラグ4を加熱プレート2の異なる位置に複数配置して温度を測定することにより、加熱プレート2の温度分布の把握に有効である。 (もっと読む)


【課題】加熱容器1のとテーブル6との間の電気的接触抵抗を小さく、且つ安定化させて、加熱容器1の熱分解生成炭素皮膜の欠陥を防止し、これにより長期にわたって安定して加熱容器の気密性を確保出来する。
【解決手段】背面電子衝撃加熱装置は、前記導電性を有する加熱容器1の周壁13の下端部をテーブル6の上に載せて気密に支持すると共に同加熱容器1の周壁13の下端部とテーブル6との間に、真空シール8に加え、導電性を有するスプリングを環状としたスプリングコンタクト5を介在させる。 (もっと読む)


【課題】加熱プレートの加熱時の加熱物支持体の下端部と加熱プレートとの間の温度差により生じる熱応力を緩和し、加熱プレートの加熱と冷却を繰り返しても、加熱物支持体が破断することが無いようにする。
【解決手段】電子衝撃加熱装置は、フィラメント9で発生した熱電子を加速して加熱プレート2に衝突させて加熱プレート2を発熱させる電子衝撃加熱装置であって、加熱プレート2を天壁とする加熱物支持体1が曲面状の周壁13を有するものである。例えば、加熱物支持体1の周壁13の曲面が部分球面形を有するものである。 (もっと読む)


【課題】フィラメント3を支持する支持金具2のアーム5、5が高温下のクリープ現象により撓み、その先端のガイド4が下がらないようにする。
【解決手段】熱電子放出用フィラメント支持構造は、支持金具2が高融点金属線を環状に曲げてフィラメント3を通すガイド4と、このガイド4から延びた2本のアーム5とを有し、2本のアーム5、5の端部を柱状のサポート1の上下に設けた取付孔6、6に差し込んで固定したものである。この支持金具2の2本のアーム5、5の先部はそれぞれガイド4の上下の位置に連接されている。例えば、この支持金具2は、1本の高融点金属製の線材を環状に曲げてガイド4を形成し、このガイドの上下から2本のアーム5、5を延設して形成される。 (もっと読む)


【課題】内部に細かい気孔を含むW−Re系熱電対のような熱電対線であっても、真空空間からその外部に高い気密性を保持した状態で引き出すことが出来、これにより熱電対線と補償導線との接続部を真空空間の外部で同じ温度に保持した状態で温度測定を可能として、熱電対が指示する起電力に誤差が生じないようにする。
【解決手段】熱電対の真空フィードスルーは、熱電対ポート3を封止した無機絶縁体7を貫通して熱電対線9a、9bのリード線側を真空空間からその外部に引き出し、その熱電対線9a、9bの引出部分を含めて熱電対線9a、9bの基部を樹脂絶縁体10で覆って気密に封止し、熱電対線9a、9bのリード線側を真空空間の外部で補償導線15a、15bと接続可能とする。 (もっと読む)


【課題】 粒子径が例えば50nm以下というように小さく、しかも粒子径の分布幅が狭く、表面が無酸化の超微粒子を効率よく製造できるようにする。
【解決手段】 減圧された不活性ガス中で、原料金属粉末を加熱制御されている蒸発面へ上方から落下させ、該原料金属粉末を瞬時に蒸発させ超微粒子化、凝縮し、上方の捕集面に付着させることにより金属超微粒子を製造する。原料金属粉末は、単一金属、合金、金属間化合物のいずれかであり、瞬時に蒸発させるため、平均粒子径を500μm以下とし、微量ずつ供給することが好ましい。 (もっと読む)


【課題】 放射線が放出される環境下でも問題なく運用出来る液体金属用誘導型電磁ポンプを得る。
【解決手段】 液体金属用誘導型電磁ポンプは、液体金属を移動させる筒状のダクト2と、このダクト2の液体金属が移動すべき方向に沿って移動磁界を発生させるロータ1、8とを有し、ロータ1、8をそれから離れたモータ5により回転駆動される円柱状または円筒状のものとし、このロータ1、8の外周または内周に同ロータ1、8の円周方向に液体金属を移動させるようダクト2を配置したものである。ロータ1、8は永久磁石12、16を円周方向に並べて配置したものからなる。 (もっと読む)


【課題】
軽水炉の安全性試験や開発試験の熱流動模擬試験を実施するためには、高温高圧で複雑な流路内の平均ボイド率を、瞬時に計測する実用的なボイド率計が必要である。
【解決手段】
高温高圧条件下で流路内の二相流のボイド率を瞬時計測するために、実用的なボイド率計測法として電気式(インピーダンス式)ボイド率計測方法を開発し、二相流のインピーダンス(交流抵抗のうち抵抗成分:R成分及び容量成分:C成分を対象とする)とボイド率の関係は、一定の関数的特性であることを実験的に明らかにし、校正線としてこの計測特性を用いる方法である。 (もっと読む)


【課題】 坩堝を使用せずに原料を蒸発することが可能であり、それにより、高純度の原料蒸気を発生させることが出来る共に、蒸発効率を高く維持し、効率的かつ高純度の微粒子を作る。
【解決手段】 蒸気発生装置は、原料粉体8を落下させる経路となる垂直ダクト状の縦型炉1と、この縦型炉1の周囲に設けられ、同縦型炉1内の原料粉体8を加熱するヒータ2と、この縦型炉1に原料粉体8を定量ずつ落下させる原料粉体供給部4と、縦型炉1内で発生した蒸気を目的の位置に送る蒸気移送ダクト6とを有する。この場合、縦型炉1内に反応ガスや不活性ガスを送り、このガスの流れに回転を与えるとよい。 (もっと読む)


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