【課題】 一対の基板を平行で且つ所定の間隔を持って所定の位置関係で重ね合わせる装置を具備するディスプレイ製造装置において、ギャップ出しやアライメントの均一化や精度向上、装置構造の簡略化による低コスト化、生産性向上、気泡発生やゴミ混入の低減等を課題とする。
【解決手段】 真空容器を構成する一対の基板保持具が一対の基板を保持し、開閉機構によって閉じた後、内部が排気系によって排気され、ギャップ出しとアライメントが真空中で行われる。差圧印加機構が一方の基板の背後の隔膜によって形成される閉空間内にガス導入して基板を押圧するとともに、押圧機構が機械的に一方の基板を押圧することでギャップ出しが行われる。複数の距離センサにより一対の基板のギャップ長及び平行度が計測され、ギャップ出しの動作がフィードバック制御される。 （もっと読む）

【課題】
窒化チタン薄膜などの作製に使用されるガス噴出板を用いたＣＶＤ装置において、ガス噴出板に形成される付着物の発生を抑制することができるＣＶＤ装置及び薄膜製造方法を提供することを目的とする。
【解決手段】
基体を支持し加熱手段を有する基体ホルダーと、基体ホルダーに対向した位置に複数の穴を有するガス噴出板と、ガス噴出板を固定する支持体との間にガスを導入し、基体に前記ガスを用いて成膜する化学的気相蒸着装置において、主成分が炭素からなるシール材が、ガス噴出板と支持体との間に配置されている構造を有する。 （もっと読む）

【課題】基板移載に用いるロボットの動作速度の増加を抑えつつ、基板のキャリアへの移載速度を向上し、高スループット化に寄与するロボットを提供する。
【解決手段】ロボットは、駆動機構と、駆動機構に回動可能に連結された第一アーム３と、第一アームに回動可能に連結された第二アーム４と、第二アームの先端に回転可能に配設されたＸ形状のエンドエフェクター６とを備えており、エンドエフェクターの４つの先端部のうち、２つには一方向に向けて基板９を保持可能なピック８を備え、残りの２つには逆方向に向けて基板を保持可能な保持部を備えて構成されている。 （もっと読む）

【課題】磁気抵抗効果素子を構成する多層磁性膜を加工する際に生じるダメージを少なくし、前記のダメージを受けたことにより磁気特性に劣化が生じることを防止でき、高品質な磁気抵抗効果素子を製造することに適した磁気抵抗効果素子の製造方法を提供する。
【解決手段】磁気抵抗効果素子を構成する多層磁性膜が形成された基板に対して反応性イオンエッチングにより多層磁性膜を加工する工程を含んでいる磁気抵抗効果素子の製造方法において、反応性イオンエッチングが行われた多層磁性膜に対してイオンビーム照射する工程を含む磁気抵抗効果素子の製造方法。 （もっと読む）

【課題】放電ガスが各カソードに供給されるタイミングを一致させるとともに、ガスレスポンスやメンテナンス性、さらには信頼性の向上及び低コスト化を図ることができるガス供給装置を提供する。
【解決手段】ガス供給装置は、チャンバフレームと、チャンバフレームに開閉可能に取り付けられ、カソードが設けられた扉と、扉に取り付けられ、カソードに放電ガスを供給するガス流路を有する扉側導入ブロックと、チャンバフレームに取り付けられ、チャンバフレームの外部から導入された放電ガスを扉側導入ブロックに供給するガス流路を有するチャンバ側導入ブロックとを備える。扉を閉じた際に、扉側導入ブロックのガス流路とチャンバ側導入ブロックのガス流路とが連通される。 （もっと読む）

【課題】近年の半導体の高集積化、また画像装置の高精細化に伴ない、基板上の絶対温度を正確に測れることが要請されている。本発明は、基板全面に亘る複数点で、絶対温度を正確に測れる温度測定素子、温度測定装置、基板処理装置及び電子デバイスの製造方法を提供することを課題とする。
【解決手段】基板、該基板の一方の側の一の面に位置する前記基板より大きな熱伝導率を有する電気的絶縁物である第一の膜、上記第一の膜の基板と反対側に位置する第一の熱電対金属及び前記第一の熱電対金属と接触する部分を有する第二の熱電対金属を有する。 （もっと読む）

【課題】スパッタリング装置において、ターゲットから基板上に飛来するスパッタ粒子に対して基板面を基準にした時の斜め方向から飛来するスパッタ粒子を低減させることにより、基板上に良好な膜質の薄膜を形成することができるスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】複数のターゲットを同時に放電させるスパッタリング装置であり、カソードには、それらの前方に前記ターゲットのスパッタ面積より大きい開口面を有し、かつ、ターゲットの厚みより高さのある遮蔽体を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】基板ホルダへの電圧印加効率の向上を図り、長期に渡って安定的に使用できる電圧印加装置を提供する。
【解決手段】電圧印加装置は、真空処理チャンバーと、真空処理チャンバ内に設けられた基板ホルダー２０と基板ホルダに電圧を印加するための給電部材１３と、給電部材の先端部に設けられた、ダイヤフラム式給電部２２と、真空処理チャンバーの外部に設けられ、かつ給電部材を可動して、ダイヤフラム式給電部を基板ホルダに接触又は非接触させる可動機構１８と、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】パネル型表示器の特性検査方法および検査装置において、検査装置自身の出力校正の時間短縮と精度の向上を行う。
【解決手段】基板上に配置された複数の信号電極と、前記複数の配線と交差するように配置された複数の走査電極との電気的交差部に配置された複数の電子放出素子の電子放出特性を測定する検査装置において、制御手段からの情報で任意波形の電圧を生成する手段、該手段からの電圧波形情報を元に電力波形を生成し、前記電力を前記各電子放出素子へ供給する手段とを備え、検査用パネルを用いて、前記検査装置の校正および検査を行うことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ターゲットを取り付け可能な冷却部材であって、必要な強度を確保するとともに薄型化することでターゲットの冷却能力とターゲット表面での最適な磁場強度を得ることができる裏板を提供する。
【解決手段】裏板２０２は、冷却媒体を流通させる冷媒流路２１４ａ，２１４ｂが内部に形成されるとともに、カソードマグネットに対向する薄型化されたターゲット取り付け部１と、ターゲット取り付け部１を周囲から支持する締結部２とを有しており、冷媒流路２１４ａ，２１４ｂに冷却媒体を給排出する供給口２１５ａ，２１５ｂと排出口２１６ａ，２１６ｂはターゲット取り付け面の法線に対して所定角度傾斜した方向に冷却媒体を流通させるように形成されている。 （もっと読む）