【課題】装着性、取出し性に優れるパッキンおよびこれを用いる回転軸の封止方法を提供すること。
【解決手段】スパイラルパッキンは、その両端に等しい所定の角度で傾斜する傾斜端部を有するひも状のパッキン素材からなる環状のパッキンであって、少なくとも２層のスパイラル状に巻き付けられて環状体を構成し、前記傾斜端部が周方向の対応する位置に来るように構成され、パッキン全体の高さが、ほぼ（パッキン素材の径方向の厚さ）×（層の数）となっている。回転軸の封止方法は、上記スパイラルパッキンを、パッキン押え側から見たときにスタフィングボックス底部側に進行するように回転軸の回転方向と同方向に巻き付けて装着する。 （もっと読む）

【課題】簡易な構成で弁体により開口部を気密に閉塞することができるとともに、開口部を弁体により開放又は閉塞するときの弁体の移動速度を向上できるゲートバルブを提供する。
【解決手段】チャンバー１１の開口部１４を開放又は閉塞する弁体１６と、弁体１６に設けられた係合手段４８Ａ、４８Ｂと、開口部１４の周囲に設けられ弁体１６が開口部１４と対向する位置に移動したときに係合手段４８Ａ、４８Ｂと係合する被係合手段６２、６３と、係合手段４８Ａ、４８Ｂと被係合手段６２、６３とが係合したときに弁体１６と係合手段４８Ａ、４８Ｂとの間に位置する被係合手段６２、６３に係合手段４８Ａ、４８Ｂから弁体１６側に押圧力を作用させ開口部１４を気密に閉塞し又は押圧力を解除するロック手段４４Ａ、４４Ｂと、を有する構成とした。 （もっと読む）

【解決手段】 （ａ）架橋性フッ素ゴムと、該ゴム(ａ)１００重量部に対して、（ｂ）２価パーフロロポリエーテル構造または２価パーフロロアルキレン構造を有し、末端あるいは側鎖に少なくとも有機珪素化合物（ｃ）中のヒドロシリル基と付加反応可能なアルケニル基を２個以上有する反応性フッ素系化合物(架橋性フッ素ゴム（ａ）を除く)と、
（ｃ）分子中に２個以上のヒドロシリル基を有し、上記化合物（ｂ）中のアルケニル基と付加反応可能な反応性有機珪素化合物とを合計で１〜１０重量部の量で含有し、さらに、共架橋剤（ｄ）とを含むゴム組成物、及び該組成物を必要により加熱、加圧して予備成形し、次いで、予備成形体を放射線架橋してなるフッ素ゴムシール材。
【効果】 特に半導体製造プロセスなどで、高温下で長時間継続的に使用してもクラックが発生し難く、耐プラズマ性に優れたプラズマ処理装置用シール材が提供される。 （もっと読む）

【課題】耐熱性に優れ、摺動抵抗が小さく、かつ応力緩和特性に優れた非石綿のグランドパッキンを提供すること。
【解決手段】グランドパッキンは、膨張黒鉛からなるグランドパッキンであって、パッキン内周面の少なくとも一部にテープ状の炭素繊維が配置されている。このグランドパッキンは、パッキン内周面の全面にテープ状の炭素繊維が配置されていることが好ましい。また、テープ状の膨張黒鉛が渦巻き状または同心円状に配置されていることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 チューブの外表面に凹状の折り目が生ずることを防止し、チューブの内周面に処理ムラがなく均一に表面処理することができ、電子複写機の加熱定着ローラーのカバー材として用いたときにチューブの外表面の凸状または凹部の折り目にトナーが入り印刷の質が低下することを防止できるチューブ内周表面処理装置およびチューブ内周表面処理方法の提供。
【解決手段】 チューブの側部を一対のローラー２４で押圧することによりチューブに閉塞部１８を設け、閉塞部に表面処理液２２を注入し、チューブまたはローラーを上下に移動させることにより閉塞部の位置を移動し、チューブの内周面を表面処理するチューブ内周表面処理装置であって、ローラーが、一方のローラーをチューブに対して一方向に押圧するとともに、他方のローラーを押圧位置とは異なる位置で他方向に押圧するよう配設されることを特徴とする。 （もっと読む）

【解決手段】 ゴム成分として四フッ化エチレン−パーフルオロアルキルビニルエーテル系のパーフルオロエラストマー(ＦＦＫＭ)８０〜５０重量％と、ＦＦＫＭ以外のフッ素ゴム(ＦＫＭ)２０〜５０重量％（但し、ＦＦＫＭ＋ＦＫＭ＝１００重量％）とを含む半導体製造装置用シール材。
【効果】耐プラズマクラック性などに優れ、半導体製造装置内で発生するプラズマの照射を直接または間接的に受ける部位のシール材として使用される場合にも、シール材の重量減少率が小さく、しかもシール材にクラックが入り難く、その上、圧縮永久歪も小さく、さらにこれら特性バランスが良好であり、半導体製造装置用シール材として好適に使用し得るシール材が提供される。 （もっと読む）

【解決手段】塩素系未加硫アクリルゴムと、
該未加硫アクリルゴム１００重量部に対し、
クレー５〜３０重量部、シリカ１０〜５０重量部、ファーネスブラック１〜２０重量部、サーマルブラック５〜３０重量部、(メタ)アクリロキシ基を有するシランカップリング剤０．３〜１０重量部、及びトリアジン系加硫剤０．５〜１０重量部を含む未加硫アクリルゴム組成物を
加硫成形してなるアクリルゴム製コネクタ用パッキン。
【効果】 圧縮永久歪特性などの常態物性や高温耐油性を有しつつ、高い絶縁性などを示すゴム材からなり、コネクタのシールに用いられコネクタ用パッキンが提供される。 （もっと読む）

【課題】
特に、半導体製造装置、液晶製造装置などに使用されるシール材で、あり溝内への装着性が良好で、かつ脱力抵抗力が高く、仮に大型化された場合であっても、低荷重で十分なシール力を得ることができ、メタルタッチによるパーティクルの発生を防止できるあり溝用シール材を提供する。
【解決手段】
シール面に形成されたあり溝４２に装着される閉環状のシール材２０であって、
あり溝４２内に装着されるシール材本体２０ａが扁平した断面略楕円形状であり、あり溝４２内から外方に突出される前記シール材本体２０ａの外周面に斜め方向に延びるリップ部２４と、このリップ部２４とは異なる方向に延びる凸部２６と、を設けたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 衝突の強さなど使用条件の違いに関わらず常に適切な緩衝機能が発揮できる衝突緩衝材を提供する。
【解決手段】 衝突動作する一対の部材の衝突面に配置される衝突緩衝材１０であって、弾性材料からなり、衝突面の一方に配置される基板部１２と、基板部１２の表面から前記衝突面の他方に向かって突き出た突出部１４と、突出部に対応する位置で基板部１２の裏面から内側に凹んだ空間部１６と、空間部１６の内部で空間部１６の底から開口側に向かって突き出た内部突起１８とを備える。 （もっと読む）

【課題】パーフロロゴム（FFKM）よりも低価格でかつ非着香性に優れ、耐薬品性、耐熱性を有しているフッ素ゴム組成物および同組成物からなるシール材を提供する。
【解決手段】本発明の課題の解決手段であるフッ素ゴム組成物は、フッ素ゴム100重量部と、窒化ホウ素充填剤1〜100重量部とを含有するものである。また、本発明の課題の解決手段であるシール材は、上記のフッ素ゴム組成物を加硫成形してなるものである。 （もっと読む）