【課題】第１シール部材及び第２シール部材の各開口部に対する衝撃力を低減し、かつ各シール部材の各開口部に対する押付量を一定にすることができる。
【解決手段】９０度の位置から駆動モータ６６のモータ回転軸６６Ａが正方向にさらに回転されると、連動カム３１のピン部３１Ａとゼネバカム２９の溝部２９Ｃとの係合が解除されているので、偏心シャフト１７のみが所定の方向に回動する。偏心シャフト１７が９０度の位置から１８０度（０度の位置から２７０度）だけ回転すると、偏心シャフト１７の偏心軸部１７Ｂは、その偏心量×２倍の距離（偏心軸部１７Ｂの直径寸法に相当）だけ第１開口部４６側に移動する。これにより、弁体５２が第１開口部４６に着座し、第１開口部４６が閉塞される。 （もっと読む）

【課題】研磨材の凝集物である粗大粒子が発生せず、研磨材をリサイクル使用しても、半導体基板やその表面皮膜を傷つけてしまわないような化学的機械研磨材のリサイクル方法及びその装置の提供。
【解決手段】
半導体製造時に化学機械研磨工程(ＣＭＰ)で使用された研磨材のリサイクル方法であって、下記工程(Ａ)、(Ｂ)を有することを特徴とする、化学的機械研磨材のリサイクル方法：(Ａ)化学機械研磨工程(ＣＭＰ)で使用され、回収された研磨材廃液を原液の比重の０．９０倍〜０．９６倍に濃縮する一次濃縮工程、(Ｂ)一次濃縮工程で得られた濃縮液（Ａ）を、原液の比重の０．９９倍〜１．０１倍まで濃縮する二次濃縮工程。上記の方法で用いられる化学的機械研磨材のリサイクル装置であって、上記(Ａ)工程を実施する一次濃縮ユニットと、上記(Ｂ)工程を実施する二次濃縮ユニットとを具備する化学的機械研磨材のリサイクル装置。 （もっと読む）

【課題】ＧＨｚ帯の電波を送受信するアンテナを改良して、右旋円偏波に対しても左旋円偏波に対しても、１個の簡単なアンテナ装置で対応し得るようにする。
【解決手段】平面状の導体基板３の面に直交座標Ｘ−Ｙを想定し、座標原点Ｏを中心とする第１のスロットスパイラル１を設けるとともに、この第１のスロットスパイラルを座標原点の周りに１８０度回転させた形の第２のスロットスパイラル２を設ける。双方のスロットスパイラルを座標原点付近で連続させ、連続部で、スロット溝の対岸に相当する0箇所に給電点４を設ける。例えば、このスロットスパイラルアンテナの表側が右旋円偏波のみを送受信することができ、裏側は左旋円偏波のみを送受信することができる。 （もっと読む）

【課題】安定した検査結果を得ることのできる穿刺体を提供するとともに、このような穿刺体を用いた穿刺装置ならびに血糖値測定装置を提供すること。
【解決手段】針部材と、前記針部材の一方側の端部を支持する支持部材とから構成され、前記針部材の他方側の端部で生体表面に小さな傷を設け、これにより流出した血液中の血糖値を測定するために用いられる穿刺体であって、前記針部材は、前記針部材の長尺方向に少なくとも他方側の端部と連通した血液収容溝が設けられている。 （もっと読む）

【課題】フッ素樹脂の充填率が低く充填材の充填率が高い場合であっても、高い応力緩和特性と高い気密特性（シール性能）とが両立した充填材入りフッ素樹脂シートおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】フッ素樹脂、充填材および加工助剤を含有するシート形成用樹脂組成物を、ロール温度を４０〜８０℃として圧延する工程を含み、該充填材は、フッ素樹脂と充填材との合計１００重量部に対して１〜１０重量部の黒鉛を含んでなり、該加工助剤が、分留温度が１２０℃以下である石油系炭化水素溶剤を３０質量％以上（ただし、加工助剤重量を１００質量％とする。）含んでなることを特徴とする充填材入りフッ素樹脂シートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】高い応力緩和特性と高い気密特性とが両立した充填材入りフッ素樹脂シートおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】フッ素樹脂、粉末充填材および加工助剤を混合してシート形成用樹脂組成物を調製する工程、およびロール温度を４０〜８０℃として該組成物を圧延する工程を含み、該粉末充填材の粒度分布において、粒子数が最大になるときの粒子径をσと表し、粒子径が０．９〜１．１σである粒子の体積をＶ_A、粒子径が０．７３σ以下である粒子の体
積をＶ_B、粒子径が１．３７σ以上である粒子の体積をＶ_Cとすると、下記関係式（１）が満たされ、
Ｖ_A＝ｂＶ_B＋ｃＶ_C・・・（１）
（１≦ｂ≦３、１／３≦ｃ≦１である。）該加工助剤が、分留温度が１２０℃以下である石油系炭化水素溶剤を３０質量％以上（ただし、加工助剤の重量を１００質量％とする。）含んでないことを特徴とする充填材入りフッ素樹脂シートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】フッ素樹脂の充填率が低く充填材の充填率が高い場合であっても、高い応力緩和特性と高い気密特性（シール性能）とが両立した充填材入りフッ素樹脂シートおよびその製造方法を提供すること。
【解決手段】フッ素樹脂と、シリカを２０重量％以上含有する充填材とを含有する充填材入りフッ素樹脂シート、およびフッ素樹脂と、シリカを２０重量％以上含有する充填材とを含有するシート形成用樹脂組成物を圧延する工程を含むことを特徴とする充填材入りフッ素樹脂シートの製造方法。 （もっと読む）

【課題】ウエハ洗浄乾燥装置を構成しているスピンカップ等の部品やウエハ等に静電気が帯電し難く、そのためウエハの洗浄や乾燥時に、静電気の放電が極めて低減、除去されており、ウエハがダメージを受け難く、またウエハが塵埃を引き付けず、また洗浄液が塵埃で汚染され難いような、枚葉式半導体ウエハ洗浄乾燥装置のスピンカップを提供すること。
【解決手段】ウエハをスピンカップ内に収容した状態でウエハを回転させ、少なくとも、ウエハの洗浄と乾燥ができるウエハ洗浄乾燥装置のスピンカップであって、該スピンカップが、ウエハを収容保持する箱状のスピンカップ基材部と、スピンカップ基材部の上部にウエハ洗浄液の飛散や流出を防止するように設けたカバー部とからなり、該スピンカップ基材部はフッ素樹脂にて形成され、該カバー部の少なくとも一部は、導電性充填材と、上記フッ素樹脂とを含有する帯電防止材にて形成されていることを特徴とするスピンカップ。 （もっと読む）

【課題】原料としてガスを利用せずに、簡便な方法で、短時間にかつ高収率でフルオロ（アルキルビニルエーテル）を製造する方法を提供することを目的とする。
【解決手段】［I］X-R_f-(CH₂)_n-OH（Xは水素原子、フッ素原子など、R_fはアルカンジイル基などである）で表わされる、フルオロアルキルアルコールまたはその誘導体と、 Y-CF₂-CF₂-Y（Yはフッ素原子以外のハロゲン原子である）で表わされるテトラフルオロエタン誘導体とを塩基の存在下で反応させてX-R_f-(CH₂)_n-O-CF₂-CF₂-Yで表わされる化合物（３
）を製造する工程、および［II］化合物（３）と、金属含有試薬とを反応させて、X-R_f(CH₂)_nOCF=CF₂で表わされる、フルオロ（アルキルビニルエーテル）またはその誘導体を製
造する工程を含むことを特徴とするフルオロ（アルキルビニルエーテル）またはその誘導体の製造方法。 （もっと読む）

【課題】無駄になる材料が少なく、いかなる大きさにも適用可能で、コスト的にも安価な鋸歯形ガスケットを提供する。
【解決手段】第１の部材２２と第２の部材２４との間に介装され、第１の部材２２ならびに第２の部材２４間に挿通されたネジ部材２８により位置決めがなされるとともに、ガスケット本体に形成された鋸歯形凹凸部３０ａが、第１の部材２２側のシール面ならびに第２の部材２４側のシール面にそれぞれ食い込んでシール力が発揮される鋸歯形ガスケットであって、前記ガスケット本体が、鋸歯形凹凸部３０ａが形成されたシール部本体３２と、シール部本体３２の外周側にシール部本体３２とは別体で形成され、かつ第１の部材２２ならびに第２の部材２４に対する位置決めを行う位置決め部分３４と、から構成されていることを特徴としている。 （もっと読む）