【解決手段】
金がエタノールに代表されるアルコール系水酸基含有化合物溶媒中にコロイド状に分散した金コロイドアルコール溶液と、フッ素系高分子材料とを接触させて該高分子材料の表面に金微粒子を付着させた後、金微粒子の表面を活性化させ、次いで、無電解又は電解金メッキを行うことを特徴とする、フッ素系高分子材料表面への金皮膜の形成方法、及び、該方法で得られた金皮膜付きフッ素系高分子材料。
【効果】
実質上、不純物を含まない（すなわち金の単元素よりなる）金メッキ被覆層をフッ素系有機高分子材料の表面に形成することができる。 （もっと読む）

【課題】
固体ロケットモータの高性能化の観点から、モーターケースの内側に断熱材として使用されるインシュレーション材の気密性、機械的物性とアブレーション特性の向上。
【解決手段】
少なくとも加硫可能な固形状エラストマー、液状添加物、及びフィラーを含むインシュレーション材の製造方法であって、(1) 液状添加物にフィラーを加え、混和するステップ、(2) (1)のステップの後に固形状エラストマーを加え混和することによりエラストマー組成物を得るステップ、及び(3) 当該エラストマー組成物をシート状に圧延するステップを含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ガラス基板の品質劣化を防止できるガラス基板収納ケース、ガラス基板収納ケースから別のケースにガラス基板を自動で入れ替えるガラス基板入替、ガラス基板を個別に管理するガラス基板管理装置、ガラス基板を専用のガラス基板収納ケースに収納させて取引するガラス基板流通方法、気密効果を高めるシール部材及びこのシール部材を用いたシール構造を提供する。
【解決手段】レチクルＲが載置される底部材１２と、底部材１２に載置されたレチクルＲを覆うように底部材１２に合わせられ底部材１２との間に空間部を形成する蓋部材２０と、底部材１２又は／及び蓋部材２０に設けられ蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態で空間部を気密にするシール部材１８と、蓋部材２０に設けられ底部材１２に引っ掛けられて蓋部材２０が底部材１２に合わせられた状態を維持するフック部材２４と、を有する構成とした。 （もっと読む）

【課題】特に、大型の真空用ゲート弁において、複数個のシリンダ装置を使用して弁体を移動させる場合に、これらシリンダ装置の同期のずれを確実に防止し、弁体を長期に亘り円滑に移動させることができるとともに、耐久性も良好で、開閉の動作時間も短くすることができる真空用ゲート弁における弁体の開閉方法を提供する。
【解決手段】複数個のシリンダ装置６，８を有し、該シリンダ装置６，８の駆動によりゲート開口部１２を開放または遮断する方向に弁体１０を直線的に往復移動させることにより、前記ゲート開口部１２を開閉するように構成した真空用ゲート弁２０における弁体１０の開閉方法であって、第１行程を一方のシリンダ装置８でゲート弁の開閉操作を行い、閉栓近傍及び開栓近傍の第２行程を両シリンダ装置６,８で操作する。 （もっと読む）

【課題】 組み付け作業が容易でケーブル取出し口におけるシール効果も高いシール部材と、このシール部材を用いた電子回路ユニットのシール構造とを提供すること。
【解決手段】 シール部材４はエラストマー等の弾性材料からなる成形品であって、筐体１の嵌め合い部１ａに装着されるリング状の環装部４ａと、嵌め合い部１ａに隣接するケーブル取出し口１ｂに装着されるケ−ブル挿通部４ｂとが一体成形されており、ケ−ブル挿通部４ｂには同軸ケ−ブル７を挿通するための挿通孔４ｃが設けられている。このシール部材４は、無負荷状態では挿通孔４ｃの軸線方向が環装部４ａの軸線方向と略合致しているが、筐体１に組み付ける際にケ−ブル挿通部４ｂを弾性的に約９０度回転させることにより、挿通孔４ｃの軸線方向を環装部４ａの軸線方向に対して略直角な向きに設定することができる。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で安価であり、低振動でさらにはシール部材の偏磨耗などを防止してＯリングなどの耐久性を向上することができる真空用ゲート弁を提供する。
【解決手段】弁板に形成された２枚一対のシールプレート３０、３２がベースプレート４０に対し離反する方向にそれぞれ移動されることにより、一方のシールプレート３０が第１のシール座面２４ｂに、他方のシールプレート３２が第２のシール座面２６ｂにそれぞれ当接し、ゲート開口部２８が封止される真空用ゲート弁２０であって、 ベースプレート４０と２枚一対のシールプレートの連結部分をベローズで囲繞するとともに、このベローズ内に液体供給手段を接続し、当該液体供給手段から前記ベローズ内に供給される液体の圧力を調整することにより、シールプレートがベースプレートに接近或いは離反する方向に移動させるように調整したこと。 （もっと読む）

【課題】 シール部材に接触面積減少用溝を形成することにより、相手部材との接触面積を少なくし、これにより相手部材との固着力を減少させるとともに、適用可能なゴムの材質に限定がなく、さらには密閉性が良好で且つ、生産コストが安価なシール部材を提供すること。
【解決手段】 外周面などに溝１１ａ、１１ｂ、１１ｃなどを形成することにより、シール部材１０とシール座面１５との接触面積を減らし、密閉する際の相手部材１４との固着力を減少させるようにしたことを特徴としている。 （もっと読む）

【課題】
大型な片真空ゲート弁であっても、シールプレートに取り付けられたシール部材の交換作業あるいはメンテナンスを、容易に行うことのできる片真空ゲート弁を提供する。
【解決手段】
枠体５８をチャンバー開口部１２に対して回動自在に取り付けするとともに、
枠体５８をチャンバー開口部１２から離反する方向に回動させたときに、チャンバー開口部１２とシールプレート１６との間に作業用空間Ｘを画成するようにしたことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 インフラートシール部材に圧縮空気の供給、吸引という煩雑な制御を同時に行う必要がなく、また弁板が弁箱本体の周囲に衝突してＯリングなどに損傷を与えることがなく、配設向きも限定されず、さらには、インフラートシール部材の容量を小型化することができる真空用ゲート弁を提供する。
【解決手段】 弁板の両側に一対のＯリング部材４０ａ，４０ｂと、インフラートシール部材４２ａ，４２ｂとを、それぞれ対称位置に配設し、これらのインフラートシール部材４２ａ，４２ｂ内の圧縮空気に差圧を生じさせることにより、弁板２４を所定の方向に移動させるようにした。 （もっと読む）

【課題】 耐プラズマ性と非粘着性とを兼ね備え、しかも、プラズマ環境下でもウェーハ汚染など半導体の製造に悪影響を及ぼすことのないシール材を提供する。
【解決手段】 シール材は、シール材としてのゴム成形体の表面がパーフルオロポリエーテル骨格を備え自己架橋性官能基を有するとともにシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ）は有しない化合物で処理されてなり、かつ、処理されたゴム成形体の表面には、シロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ）が存在しないか、存在する場合であってもシロキサン結合（Ｓｉ−Ｏ）の状態比率が前記化合物由来の元素を含む全結合の状態比率の合計に対して１％以下である。 （もっと読む）