【課題】空気液化分離方法で得られた高純度窒素ガスから、高価な吸着剤を用いず、比較的簡単な設備を用いて、半導体製造プロセスに適した超高純度窒素ガスを多量に製造すること。
【解決手段】空気液化分離方法で得られた窒素ガスを、ニッケル触媒を用い、常温にて酸素、一酸化炭素、水素を吸着除去した後、ナトリウム結合活性アルミナを用い、常温にて二酸化炭素を吸着除去する。 （もっと読む）

【課題】規則充填物の構成部材である複数の気液接触板を変形させることなく、容易かつ確実に組み立てることができる規則充填物の制作方法を提供するとともに、規則充填物を塔内の所定位置に容易に充填することができる規則充填物の充填方法を提供する。
【解決手段】規則充填物１４の構成部材である複数の気液接触板１２の一端を、有底容器からなる型枠内に挿入するとともに、該型枠内に冷却することで固化する液状物質、例えば水を注入した後、冷却固化して固形物質である氷１３とし、この氷１３によって気液接触板１２を規則充填物１４の状態に保持させる。前記氷１３によって保持された状態の規則充填物１４を蒸留塔胴部１５内に挿入した後、氷を溶解して水とし、蒸留塔胴部内から除去する。 （もっと読む）

【課題】樹脂材料粒子に導電性カーボンナノ物質を分散混合して導電性を付加する際に、分散混合が均一になる様に、凝集性を弱めた導電性カーボンナノ物質を提供する。
【解決手段】疎水性カーボンナノ材料１にオゾンを反応させる。オゾンにより、親水性基が疎水性カーボンナノ材料の表面に形成され、疎水性表面を親水性表面に変化させると共に、ベンゼン環同士の相互作用を阻害する。この親水化処理は、樹脂材料粒子への分散混合と同一の容器において行うことができる。これにより、樹脂材料粒子及び分散混合に使用される溶媒において、高分散性を有する様、親水性基を表面に結合させた高分散性カーボンナノ物質４が得られる。 （もっと読む）

【課題】気相成長装置の原料供給ノズルから噴出される原料ガスの流速をその周方向において均等とすることができ、原料供給ノズルの構造を簡便とし、安価とする。
【解決手段】三重管の最内側の管１２の内部空間および管１３と管１４との間に形成される空間がそれぞれ１種の原料ガスが流れるガス流路１５、１６、１７とされた導入管部１１と、この導入管部の個々の管に繋がり、末広がり状に広がる２枚以上の円環状のノズル板が重ねられ、前記導入管部の最内側の管に繋がる板体の内側の空間および板体と板体との間に形成される空間がそれぞれ１種の原料ガスを噴出する噴出流路とされたノズル部を備え、導入管部の個々のガス流路には、ガスの流れ方向に沿う複数の仕切り板１８が設けられて、個々のガス流路が小流路に細分化され、各小流路に原料ガスを供給する原料ガス供給管にはそれぞれ流量調整手段が設けられている。 （もっと読む）

【課題】内周側仕切板（基板対向面部）の取り外しを容易にすると共に基板取り出しの効率化を図り、作業性に優れた気相成長装置の提供。
【解決手段】気相成長装置１は、チャンバー本体３と、チャンバー本体３に設けられてチャンバー本体３を開閉するチャンバー蓋５と、チャンバー本体３内に設置されて基板９が載置されるサセプタ１１と、サセプタ１１に対向配置される対向面部材１３とを備え、対向面部材１３をサセプタ１１に載置された基板９に対向配置される基板対向面部３７と、基板対向面部３７の周縁部を支持する基板対向面部支持部３９を備えて構成すると共に、対向面部材１３に設けられて該対向面部材１３をチャンバー本体３側に載置する脚部３１と、チャンバー蓋５に設けられて対向面部材１３に対して係脱自在でかつ対向面部材１３を保持できる係合保持機構１５とを備える。 （もっと読む）

【課題】チャンバー内に原料供給管が設置される気相成長装置において、ｐ型不純物のメモリー効果を抑えるとともに、不純物ドーピングを確実に行える気相成長装置を得る。
【解決手段】本発明の気相成長装置は、チャンバー本体３と、チャンバー蓋５と、チャンバー本体３内に設置されて薄膜が成長する基板９が載置されるサセプタ１１と、サセプタ１１に対向配置される対向面部材１３とを備え、サセプタ１１に基板９を載置した状態で基板９を加熱し、対向面部材１３とサセプタ１１とで形成される反応室に気相原料を導入する複数の原料導入流路３７、３９、４１とを備えた気相成長装置であって、複数の原料導入流路の少なくとも一つの流路３９をドーピング原料が供給されるドーピング原料導入流路とし、該ドーピング原料導入流路の流路壁に隣接させて熱媒体を通流させる熱媒体ジャケット４３を設けると共に熱媒体の温度を制御する温度制御装置を設けたものである。 （もっと読む）

【課題】オゾンを含む流体の蒸留プロセスにおいて、オゾン濃度を測定する方法および当該プロセスを安全に管理する方法を提供すること。
【解決手段】オゾン−酸素−その他の第３の流体の３成分以上の系において、その他成分として希ガスあるいはテトラフルオロメタン等の少なくとも１種類以上を含む系を蒸留する場合に、オゾン濃度が最大となる蒸留塔１２（１４）塔底付近において、サンプルガスを経路３１を介して導出し、当該サンプルガス中のオゾンをオゾン分解触媒筒３２により完全分解させて発生した酸素を測定することにより、オゾン濃度を測定して把握し、これにより蒸留プロセスを安全に管理することができる。 （もっと読む）

【課題】ビューポート内面への反応生成物の付着を効率よく防止することができ、気流の影響をより確実に抑制してレーザー光等による光学的な観察、測定を確実に行うことができる気相成長装置を提供する。
【解決手段】フローチャンネル１３の基板対向壁１３ｂに、ビューポート２０を介して基板面を光学的に観測する際の光路となる通孔１３ｃを設け、前記基板対向壁とチャンバーの内側面との間に光路部２４ａを有する冷却手段２４を配置し、該冷却手段と前記基板対向壁との間にパージガス流路２５を設け、該パージガス流路内に、前記フローチャンネル内を流れる原料ガスＡの流れ方向と同一方向で、実質的に同一速度、同一圧力で、かつ、層流状態でパージガスＰを流すためのパージガス導入手段２５ａを設ける。 （もっと読む）

【課題】屋内での配管表面での結露を防止するための方策であって、施工コストが安価にすみ、クリーンルームなどの清浄性を要求される室内においても結露を防止できるようにする。
【解決手段】ガス供給元から屋内のガス消費設備に向けて配管を介してガスを供給するものであって、この配管の一部が屋外に敷設されているガス供給設備でおいて、屋外に敷設されている配管部分であって、配管２内を移送中のガスの温度変化に影響を及ぼす配管部分のみに配管カバー４を設ける。配管カバーは、その断面形状が略コ字状の角樋状であって、配管の取り付け面にほぼ平行な第１壁部４ａと、この第１壁部の両端部からほぼ直角に延びる第２壁部４ｂおよび第３壁部４ｃとから構成され、これら３つの壁部によって配管が覆られている。 （もっと読む）

【課題】回帰分析により化学プラントの状態を推定し、異常な状態が発生したと判定された場合には、自動的に異常の原因を特定することができる異常診断装置を提供する。
【解決手段】プラントの異常を診断するために、プラント内の測定対象を測定した測定値に基づいて回帰分析を行うことにより、異常検出対象の推定値を求め、該推定値を予め決められたしきい値と比較することにより異常発生を予測する異常診断装置であって、異常検出対象の推定値に大きく寄与している測定値を特定する測定値特定手段を備えた。 （もっと読む）