【課題】エッチング時に生成されるプラズマの密度を高めることのできるプラズマエッチング装置を提供する。
【解決手段】高周波アンテナ１０を有するプラズマエッチング装置であって、高周波アンテナ１０の備える上段アンテナ１０ａ及び下段アンテナ１０ｂの各々は、渦巻き状をなす一つの配列ライン上に配列されて互いに並列の線路部材を有している。上段アンテナ１０ａ及び下段アンテナ１０ｂは、複数の線路部材として、配列ラインの中心側に配置された内側線路１１と、内側線路１１を取り巻く線路部材である外側線路１２とからなる。配列ラインにおける旋回の回数が、内側線路１１と外側線路１２とで連続している。 （もっと読む）

【課題】触媒金属の混入を抑えることの可能な窒化ガリウム柱状構造の形成方法、及び該方法を用いる窒化ガリウム柱状構造の形成装置を提供する。
【解決手段】
窒化ガリウム柱状構造を下地層上に反応性スパッタによって形成する。このとき、真空槽１１内に供給されるアルゴンガス及び窒素ガスの総流量に占める窒素ガスの流量の割合である窒素濃度を窒化ガリウム膜の成長速度が窒素供給によって律速され、且つ、窒化ガリウムの成長速度における極大値の９１％以上１００％以下の窒化ガリウムの成長速度となるような窒素濃度とする。また、基板Ｓの温度Ｔ、ガリウムのターゲット１４に供給される周波数が１３．５６ＭＨｚであるバイアス電力Ｐが、６００≦Ｔ≦１２００、０＜Ｐ≦４．６３、Ｐ＜０．００８８Ｔ−６．６０、Ｐ≧０．０１１６Ｔ−１１．３７を満たす条件にて窒化ガリウム柱状構造を形成する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、溶液の温度変化をさせながら、物質の吸着量を測定する場合や吸着物や溶液又はゲルやグリースなど半固体の物質の構造変化や形状変化等の物性変化を粘弾性変化として測定する場合に、液温変化で生じる溶液の粘性負荷による周波数変化の影響を受けずに、正確な計測結果を得ることが可能な計測方法を提供することを目的とする。
【解決手段】 圧電素子に電極を設けたセンサーの両側又は片側を溶液に接触させて、前記電極に吸着する物質の量又は前記電極から解離する物質の量を計測する方法であって、前記溶液の温度を所定の時間毎に所定の温度で変化させながら、各時間における共振周波数F_sのコンダクタンス値の半分のコンダクタンス値を持つ半値周波数F₁,F₂（F₂>F₁）のうちのF₂の変化量（ΔF₂）を測定し、F₂の変化量（ΔF₂）に基づいて前記吸着する物質の吸着量又は前記解離する物質を測定することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】複数の発振子を互いに干渉させずに発振させることができ、かつ消費電流の少ない分析装置を提供する。
【解決手段】
雰囲気中の特定成分の付着量に応じて周波数が変化する複数の発振子１１₁〜１１₄と、発振子１１₁〜１１₄と帰還抵抗素子２２とが入力端子と出力端子との間に並列接続された増幅器２１を備える複数の発振回路１２₁〜１２₄と、各発振回路１２₁〜１２₄の増幅器２１の正側電源端子２８に、オン電圧とオフ電圧とをそれぞれ印加する制御部１５とを有し、制御部１５は、複数の発振回路１２₁〜１２₄のうち、一の発振回路にオン電圧を印加し、他の発振回路にはオフ電圧を印加するように構成され、計測部１４で計測された周波数に基づいて、各発振子１１₁〜１１₄の付着量をそれぞれ求める。 （もっと読む）

【課題】短波長域における光の透過率を高め、光の利用効率を向上させた太陽電池を提供する。
【解決手段】本発明の太陽電池は、透明基板２の一面上に、透明導電膜４が配されてなる太陽電池用透明導電膜付き基板１０と、前記透明導電膜上に配された発電部６、７と、を少なくとも有する太陽電池１Ａ（１）であって、前記透明導電膜は、ガリウムが添加された酸化亜鉛を含むこと、を特徴とする。 （もっと読む）

【課題】簡単な構成で、しかも、省スペース化を図ることができ、その上、試験体内に残留する水素またはヘリウムを効率よく検出することができるようにした低コストの検出計を提供する。
【解決手段】本発明の検出計Ｍは、金属製のフィラメント１と、グリッド２と、フィラメントに直流電流を流すフィラメント用の電源Ｅ１と、フィラメントより高い電位をグリッドに与えるグリッド用の電源Ｅ２とを備える。フィラメント用の電源によりフィラメントに通電してこのフィラメントを点灯させて熱電子を放出させ、フィラメントとグリッドとの間でのエミッション電流を測定する検出手段３を更に備える。そして、検出手段で測定したエミッション電流から水素またはヘリウム（濃度）を検出する。 （もっと読む）

【課題】ターゲット材料をインジウムで全面接着することなく、冷却不足を解消できるバッキングプレート、ターゲット装置及びスパッタリング装置を提供する。
【解決手段】バッキングプレートの基体部２１の片側表面にはリング状に蓋板部２３が密着固定され、その内側に形成された溝部２４には外部から冷却媒体が送液される。冷却媒体は蓋板部２３の裏面に接触し、蓋板部２３表面上に保持されたターゲット材料２２を冷却する。基体部２１の内部には圧縮変形された弾性部材２６が配置され、蓋板部２３の裏面に裏面側から表面側に向く膨出力を印加している。プラズマ中のイオンの衝突によりターゲット材料２２に反りが生じると、膨出力により蓋板部２３はターゲット材料２２の反りに追従して膨出するため、蓋板部２３とターゲット材料２２は広い面積で接触し続け、冷却効率は低下しない。 （もっと読む）

【課題】電池容量を向上することができるリチウムイオン二次電池の負極構造及びリチウムイオン二次電池の負極構造の製造方法を提供する。
【解決手段】リチウムイオン二次電池の負極構造は、銅からなる集電体層１２と、集電体層１２に積層されたアルミニウム層１３と、アルミニウム層１３に積層され、Ｔｉ，Ｖ，Ｃｒ，Ｚｒ，Ｎｂ，Ｍｏ，Ｈｆ，Ｔａ，Ｗ及びそれら金属元素の窒化物のうち少なくとも一つからなる助触媒層１５と、助触媒層１５に積層された鉄からなる触媒層１６と、触媒層１６上に形成されたカーボンナノチューブ２０とを備えた。 （もっと読む）

【課題】長尺状のフレキシブル基材に透明導電膜が配されてなる透明導電性基板、および長尺状のフレキシブル基材上に光電変換体などが形成されてなる太陽電池の評価装置を提供する。
【解決手段】長尺状のフレキシブル基材１１１に、第一スクライブ線１２５によって所定のサイズごとに区画された、透明導電膜からなる第一電極１１３が、前もって形成されてなる透明導電性基板１２７の評価装置１００であって、ロールツーロール法を用いて、フレキシブル基材１１１を搬送しつつ、隣接する第一電極１１３間に電圧を印加し、かつ第一電極１１３間を流れる電流の特性を求める第一手段として、電気的な接点として機能するロール形状のプローブ１２３を少なくとも一組備えている、ことを特徴とする透明導電性基板１２７の評価装置１００。 （もっと読む）

【課題】大気開放することなく真空槽内に付着したＺｒ化合物を除去することのできるＺｒＢＯ膜の形成装置を提供する。
【解決手段】プラズマＣＶＤ装置１０は、基板Ｓを収容して接地電位に接続される真空槽と、載置された基板Ｓを加熱する基板ステージ１３と、真空槽内に活性状態の酸素ガスと、Ｚｒ（ＢＨ_４）_４とを各別に供給するシャワープレート１６とを備え、加熱された基板Ｓ上でＺｒＢＯ膜を形成する。シャワープレート１６は、チャンバ本体１１に対して電気的に絶縁された導体であり、シャワープレート１６に接続された高周波電源ＲＦ１と、真空槽内にフッ素ガスを供給するクリーニングガス供給部とを備え、基板Ｓが真空槽内に収容されていない状態で、クリーニングガス供給部は、真空槽内にフッ素ガスを供給し、高周波電源ＲＦ１は、シャワープレート１６に供給する高周波電力でフッ素ガスをプラズマ化して真空槽内に付着したＺｒ化合物を除去する。 （もっと読む）