【課題】超短パルス幅のパルス光を生成することができるレーザ発生装置を提供する。
【解決手段】パルス圧縮器５０に入力されたパルス光のうち、一部はビームスプリッタＢＳ_５１を透過して干渉用パルス光とされ、残部はビームスプリッタＢＳ_５１で反射されて被圧縮パルス光とされる。被圧縮パルス光は回折格子形成媒体５１に入射される。干渉用パルス光はビームスプリッタＢＳ_５２により２分割されて第１分割パルス光および第２分割パルス光とされ、第１分割パルス光および第２分割パルス光は回折格子形成媒体５１に入射されて干渉し、回折格子形成媒体５１の表面において格子状分布のプラズマが生成されて過渡的な回折格子Ｇ_５１が形成される。回折格子形成媒体５１に入射される第１分割パルス光および第２分割パルス光それぞれのパルスフロントは、回折格子形成媒体５１の回折格子形成面に対して平行とされる。 （もっと読む）

【課題】光強度分布の空間的及び時間的な整形を同時に行い、かつ、整形する光波長の制限が従来の方法に比べてより少ない光強度分布整形装置を簡便かつ再現性良く、かつ安価に提供する。
【解決手段】光強度分布整形装置１は、入射光２を整形して出射する光強度分布整形装置において、光強度分布整形装置１はバンドルファイバ１０を備え、バンドルファイバ１０を構成する各光ファイバ１０a〜１０gにより分岐された入射光２の光強度分布整形装置１の入射面６から出射面８までの光路長は、分岐された入射光２が伝搬した各光ファイバ１０a〜１０gのバンドルファイバ横断面内での位置に対応して、所定の態様で分布している。入射光２は分岐された後に放射状に広がりながら重なり合うため空間的な不均一性が緩和され、時間差を有して重なり合うため時間的な不均一性が緩和される。整形する光波長の制限は目的とする波長域における光ファイバの透過率のみに依存する。 （もっと読む）

【課題】 １枚の加工対象物の内部に種類の異なる改質領域を確実に形成することができるレーザ加工方法及びレーザ加工装置を提供する。
【解決手段】 標準のパルス波形を有するレーザ光Ｌを照射することで、加工対象物１の厚さ方向の大きさが大きく、且つ加工対象物１の厚さ方向に割れ２４を発生させ易い溶融処理領域１３_１をシリコンウェハ１１_１の内部に形成すると共に、後よりのパルス波形を有するレーザ光Ｌを照射することで、加工対象物１の厚さ方向の大きさが小さく、且つ加工対象物１の厚さ方向に割れ２４を発生させ難い溶融処理領域１３_２をシリコンウェハ１１_２の内部に形成する。 （もっと読む）

【課題】ＥＩ及びＰＩの双方が可能であって、小型に構成でき、ＰＩの際に広い範囲にわたって試料分子に対し一様に光を照射することにより検出効率及び感度の向上が可能なイオン化装置を提供する。
【解決手段】イオン化装置２は、試料分子Ａをイオン化するためのイオン化空間２ｂを有するイオン化室２ａと、イオン化空間２ｂ内の試料分子Ａに電子衝撃を与えて試料分子Ａをイオン化するためのフィラメント２３ａ，２３ｂと、イオン化空間２ｂ内の試料分子Ａに紫外光を照射して試料分子Ａをイオン化するための放電管２９とを備える。 （もっと読む）

【課題】ガスに含まれる複数の分子成分を互いに同時にＰＩ法によるイオン化対象とする。例えば、ある瞬間に発生したガスに含まれる複数の分子成分をＰＩ法に基づいてリアルタイムで正確に分析する。
【解決手段】試料室Ｒ０内の試料Ｓで発生したガスを分析室Ｒ１へ搬送するガス搬送装置４と、ガスをイオン化するイオン化装置１９と、イオンを質量電荷比ごとに分離する四重極フィルタ２１と、分離されたイオンを検出するイオン検出装置２２とを有するガス分析装置である。イオン化装置１９は、ガス搬送装置４のガス排出口の近傍に設けられたイオン化領域と、そのイオン化領域へ光を照射するランプ３３Ａとを有する。ランプ３３Ａは、光の指向性がレーザ光よりも低くて広がって進む光を放射するので、イオン化装置１９内のイオン化領域へ入ったガスは広い範囲で光の照射を受け、その内部の複数のガス成分が同時にイオン化される。 （もっと読む）

【課題】真空状態をより長く維持でき、且つ窓材の破損を低減できる電子線発生装置を提供する。
【解決手段】電子線発生装置１ａは、電子銃２、真空容器３、枠材１１、及び窓材１３を備える。電子銃２は、電子線ＥＢを出射するフィラメント７を有する。真空容器３は、フィラメント７を収容する。枠材１１は、電子線ＥＢを通過させるための電子通過孔１１ｃを有しており、真空容器３に着脱可能に取り付けられる。窓材１３は、電子通過孔１１ｃを気密に閉じるように枠材１１に接合（ロウ付け）され、電子線ＥＢを透過する。 （もっと読む）

【課題】実効的な量子効率について高い値を示すことができる光電面、それを備える電子管、及び光電面の製造方法を提供すること。
【解決手段】 光電面１０は、入射光を透過する基板１２と、ＨｆＯ_２からなる中間層１４と、下地層１６と、アルカリ金属を含む光電子放出層１８とを備える。すなわち、光電面１０は、基板１２と光電子放出層１８との間に形成された中間層１４を備える。 （もっと読む）

【課題】絶縁ブロックの膨張による影響を抑制できる電子銃、エネルギー線発生装置、電子線発生装置、及びＸ線発生装置を提供する。
【解決手段】エネルギー線発生装置１ａは、電子銃２、真空容器３、及び出射窓構成部１０ａまたは１０ｂを備える。電子銃２は、樹脂部材４、ケース５、コネクタ６、フィラメント７、及び内部配線９ａ，９ｂを有する。ケース５は、Ｚ軸方向に互いに対向する内面５ａ及び５ｂと、Ｘ軸方向に互いに対向する内面５ｃ及び５ｄとを有し、内面５ａから外面へ貫通する開口５ｇを有する。樹脂部材４は、ケース５の内面５ａ及び５ｃに接するとともに、他の内面５ｂ，５ｄ〜５ｆとの間に隙間をあけて配置されている。樹脂部材４は開口５ｇから突出した凸部４ｂを有しており、凸部４ｂの先端にフィラメント７が配置される。コネクタ６は、内面５ｃに配置される。 （もっと読む）

【課題】 複数の試料を対象とする画像取得において、その画像取得処理を好適に管理することが可能な画像取得装置、画像取得方法、及び画像取得プログラムを提供する。
【解決手段】 複数の試料Ｓのそれぞれについてマクロ画像を取得するためのマクロ画像取得部２０と、マクロ画像の取得動作を制御するマクロ画像取得制御部、及びマクロ画像を参照して試料Ｓのミクロ画像の撮像条件を設定する撮像条件設定部を有する制御部６０とによって画像取得装置を構成する。また、制御部６０は、複数の試料Ｓの試料グループに対応してセッションを定義し、マクロ画像のデータ及び撮像条件を含むデータグループを、試料グループに関連付けられたセッションデータとしてセッション毎に管理するセッション管理部を有する。 （もっと読む）

【課題】 排気管を封止する際にも真空容器との間の接合の確実性を損なうことなく、検出効率のよい光電子増倍管および放射線検出装置を提供する。
【解決手段】 側管１５の一側端部に受光面板１３を、他側端部に管状部材３１を介してステム２９を気密に接合して構成された真空容器内に、光電面１４、フォーカス電極１７、ダイノードＤｙ１〜Ｄｙ１２、引き出し電極１９、およびアノード２５を配置する。ステム２９中央部には排気管４０が接続されている。排気管４０は同軸に配置され、ステム２９側で互いに接続された外側管４１と内側管４３とを有している。外側管４１はステム２９との密着性が良好であり、内側管４３は薄く、切断時の応力が少ないため、排気管４０の封止時に真空容器との接合を損なうことがない。 （もっと読む）