【課題】ノーマリオン型のトランジスタをオンオフ駆動できるようにする。
【解決手段】電圧レギュレータは，入力電圧に接続されたノーマリオン型の第１のトランジスタと，第１のトランジスタと出力端子との間に設けられたインダクタと，第１のトランジスタとインダクタとの接続ノードとグランド電圧との間に設けられた還流回路と，第１のトランジスタのゲートに駆動信号を供給する駆動回路と，グランド電圧に接続され，第１のトランジスタのオンオフ動作により接続ノードに生成されるパルス信号に基づいて負電圧を生成し，負電圧を駆動回路に供給する負電圧生成回路とを有する。 （もっと読む）

【課題】化学機械研磨装置において、コンディショニングディスクを駆動するアームおよび軸受け部を適切に管理できる方法を提供する。
【解決手段】研磨パッドを担持したプラテンを回転させながら、前記研磨パッドの表面をコンディショニングディスクによりドレッシングする工程を含み、前記コンディショニングディスクを前記研磨パッドの表面に押圧し、さらに前記アームを前記アームの回転軸回りで回転運動させ、前記コンディショニングディスクの位置を、前記プラテンの径方向上に、前記プラテンの中心部と外周部との間で変化させることにより実行され、前記ドレッシングの際、前記アームに作用するトルクの平均値＜Ｎ＞および変動幅Ｙを、前記コンディショニングディスクの、前記プラテンの径方向上における複数の位置にわたって求め、前記トルクの平均値＜Ｎ＞および前記トルクの変動幅Ｙの値をもとに、前記アームに対するメンテナンスの要否を判定する。 （もっと読む）

【課題】受信性能を向上させることができる受信装置および受信方法の提供を図る。
【解決手段】シンボル単位の送信信号を受信した信号からフーリエ変換の開始位置を検出するシンボルタイミング検出部１０３と、前記検出されたフーリエ変換の開始位置を用いてフーリエ変換を行うフーリエ変換部１０４と、基準とするシンボルの前記フーリエ変換の開始位置と前記検出したフーリエ変換の開姶位置の変動量を算出して補正する第１シンボルタイミング補正部１１９と、前記基準とするシンボルおよび前記変動量が補正されたシンボルを含む複数のシンボルに対応する複数の遅延プロファイルを補間合成する補間合成部１０８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】受信性能を向上させることができる復調回路、復調方法および受信装置の提供を図る。
【解決手段】受信信号を復調した復調信号を用いて、硬判定処理を行う硬判定処理部７１，７４，７７と、前記復調信号の遷移個所に対する割り当て範囲を決定し、ビットの尤度値を算出して軟判定処理を行う軟判定処理部７２，７５，７８と、を有する。 （もっと読む）

【課題】反応生成物の付着を抑制し得る真空ポンプの運転方法及び半導体装置の製造方法を提供する。
【解決手段】吸気口３０と排気口３４とを有するケーシング２２と、吸気口と排気口との間のケーシングの内部空間３６内に設けられたロータ３８と、ロータを回転させるモータ４４とを有する真空ポンプ２２の運転方法であって、加熱されたパージガスを、内部空間に達する孔４６を介して内部空間内に導入しながら運転を行う。 （もっと読む）

【課題】データを取り込むタイミングを調整すること。
【解決手段】メモリインタフェース回路１２のマスク生成部３７は、データ列ＤＱと同期したストローブ信号ＤＱＳ（内部ストローブ信号ＩＲＳ）に基づいて、データ列ＤＱを受け取る期間に応じた内部マスク信号ＣＫＭを生成する。ＤＬＬ回路４１は、レジスタ４１ａの設定値に応じて内部クロック信号ＣＫ２を遅延した内部クロック信号ＣＫＳを生成する。フリップフロップ回路３３，３４は、アンド回路３８により内部マスク信号ＣＫＭと内部クロック信号ＣＫＳを合成した内部ストローブ信号ＣＳＴに応じて受信データ列ＲＤＱをラッチする。調整回路５０は、ＤＬＬ回路５１，５２の出力信号に基づいて、内部マスク信号ＣＫＭと内部ストローブ信号ＣＳＴの位相関係を検出し、レジスタ４１ａの設定値を更新して内部ストローブ信号ＣＳＴの位相を調整する。 （もっと読む）

【課題】広い周波数帯域と低い出力インピーダンスを有するミキサ回路の提供。
【解決手段】ミキサ回路は，直列に接続され，逆相の第１，第２の入力信号がゲートにそれぞれ入力される第１，第２のトランジスタと，第１の電源と前記第１のトランジスタとの間に設けられ，局部発振信号によりオン，オフが制御される第１のスイッチ回路と，第２のトランジスタと第２の電源との間に設けられ，局部発振信号により第１のスイッチ回路と共にオン，オフが制御される第２のスイッチ回路と，を有し、第１，第２のトランジスタの接続ノードは、出力端子に接続される。 （もっと読む）

【課題】ネットワークの初期化を正常に終了すること。
【解決手段】受信装置１３に含まれる処理装置２１〜２３は、ネットワークのトポロジ構築によって、ポートの親子関係が決定される。処理装置２１〜２３は、ポートが受信装置１３の外部の装置と接続されている外部接続状態か、受信装置１３の内部の装置と接続されている内部接続状態かを、端子Ｄ０，Ｄ１により設定されている。外部接続状態の親ポートを持つ処理装置は、トポロジ構築後の自己識別シーケンスにおいて、外部接続の親ポートから許可信号を受信した場合、セルフＩＤパケットを送信し、装置ＩＤを取得する。また、内部接続状態の親ポートを持つ処理装置は、自己識別シーケンスにおいて、親ポートから許可信号を受信した場合、親ポートにキャンセル信号を出力し、自己識別シーケンスを終了し、装置ＩＤを取得しない。 （もっと読む）

【課題】配線パターンに対する電子ビーム露光のスループットを向上させること。
【解決手段】ネットリストおよび所定の配線ルールにしたがって生成された第１の多層配線パターンが有する各層の層パターンを、所定のサブフィールドごとに分割するパターン分割工程と、前記所定の配線ルールにしたがって前記所定のサブフィールドに生成される第２の多層配線パターンが有する配線層のサブフィールドパターンおよび前記サブフィールドパターンに対応するパターン識別子が登録されているパターン・データベースを参照して、前記第１の多層配線パターンの前記分割された層パターンに対応する前記サブフィールドパターンの前記パターン識別子を抽出する抽出工程と、抽出された前記パターン識別子と当該抽出されたパターン識別子に対応する前記サブフィールドパターンの露光位置とを有する露光データを生成する露光データ生成工程を有すること。 （もっと読む）

【課題】本発明によれば、反射部材の反射面に付着するカーボンを除去することができる、露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１００は、光源、反射部材、収容容器、及びガス供給部を備える。光源（ＥＵＶ光源２０１）は、ＥＵＶ光、ＤＵＶ光又はＶＵＶ光のいずれかの光を照射する。反射部材（多層膜ミラー２０４及びマスク２０５）は、ＥＵＶ光源２０１から照射されたＥＵＶ光２０３を反射する。収容容器（照明系室１０２及びマスク設置室１０３）は、反射部材を収容する。ガス供給部（酸素ガス供給設備１０８ａ〜ｄ及び不飽和炭化水素ガス供給設備１０９ａ〜ｄ）は、収容容器内に、酸素ガス、及び不飽和炭素水素ガスを導入する。 （もっと読む）