【課題】
本発明が解決しようとする課題は、試料へのアプローチに際し試料へのダメージを与えることがない試料とプローブの接触感知機能を備え、ピックアップ機構としては微細なサンプルを迅速で確実なハンドリングを可能とすると共に、試料の材質を選ぶことなく、しかも構造的にも単純な機構を提供することにある。
【解決手段】
本発明のプローブ機構とサンプルピックアップ機構は、観察装置または分析装置に備えられ試料に接触を図る針状体からなる先端部材を有し、駆動用の静電アクチュエータと、該静電アクチュエータの電極間の静電容量変化をモニターする手段とを備え、該モニターにより前記プローブがサンプルに接触したことを検知できることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 試料が把持されたか否かを確実にかつ容易に確認することができ、試料を適切な状態で把持することができるナノグリッパ装置の提供。
【解決手段】 駆動部６には各アーム３を駆動するめの固定電極および可動電極が設けられている。固定電極６０ａおよび可動電極６１ａは左側のアーム３を駆動するものであり、可動電極６１ａは支持部６２により台座７に弾性支持されている。同様にアーム３も支持部６３により台座７に弾性支持されている。電極６０ａ，６１ａ間に電圧を印加すると、クーロン力により可動電極６１ａが右側に移動しアーム３を閉駆動する。検出回路９１Ａ，９１Ｂにより検出される電極６０ａ，６１ａ間の静電容量および電極６０ｂ，６１ｂ間の静電容量の変化に基づいて、試料が把持されたか否かを判断する。 （もっと読む）

【課題】本発明は、マイクロメートルオーダーの微小物体を掴んで操作するために使用されるグリッパを提供する。
【解決手段】物体を挟んで支持する把持部１１を備えた一対のアーム１０，１０と、一対のアーム１０，１０の把持部１１を接近離間させる駆動機構２０を備えたグリッパ１であって、一対のアーム１０，１０の把持部１１が、対向する互いに平行な把持面11sをそれぞれ備えており、駆動機構２０が、把持面11s同士を平行に保ったまま、一対のアーム１０，１０の把持部１１を接近離間させるものである。一対のアーム１０，１０の把持部の把持面同士が平行を保った状態で物体を把持することができるから、物体が球形をしたものなどであっても、確実に把持することができ、把持する物体の大きさにかかわらず、常に、把持面11s同士が平行を保った状態で物体を把持することができる。 （もっと読む）

【課題】 試料の把持することができるとともに、試料を把持することによりその寸法を計測することができる測長機能付きナノグリッパ装置の提供。
【解決手段】 駆動部６には各アーム３を駆動するめの固定電極および可動電極が設けられている。固定電極６０ａおよび可動電極６１ａは左側のアーム３を駆動するものであり、可動電極６１ａは支持部６２により台座７に弾性支持されている。同様にアーム３も支持部６３により台座７に弾性支持されている。電極６０ａ，６１ａ間に電圧を印加すると、クーロン力により可動電極６１ａが右側に移動しアーム３を閉駆動する。アーム３が試料を把持した際の電極６０ａ，６１ａ間の静電容量および電極６０ｂ，６１ｂ間の静電容量と、記憶回路９３に記憶されたアーム３の間隔と静電容量との相関とに基づいて、試料の寸法を測定することができる。 （もっと読む）

【課題】 アームをほぼ平行に近い形で開閉することができ、アーム先端部分の保護機能を有するナノグリッパの提供。
【解決手段】 ナノグリッパ１は、ベース層１０１の上に絶縁層１０２，シリコン層１０３を有する３層構造の半導体基板を加工して形成され、グリッパ本体２、ガード４およびそれらを連結する連結部５から成る。ベース層１０１で形成された台座７の上には、絶縁層１０２を介して駆動部６およびアーム３が形成されており、これらの駆動部６およびアーム３はシリコン層１０３により形成される。駆動部６は固定電極と可動電極とから成り、可動電極はアーム３に連結されている。可動電極はベース層１０１に対して平行な平面上を移動するので、アーム３はその平面上に沿って開閉する。また、台座７の側方に突出しているアーム３の先端部分は、ガード４によって保護されている。 （もっと読む）