【課題】フィルム基材上の露光パターン形成領域に露光材料膜が形成されたフィルムを連続露光する際に、アライメントマークの形成及び形成したアライメントマークの検出が容易であり、フィルムの蛇行を精度良く補正して、安定的に露光できるフィルム露光方法を提供する。
【解決手段】フィルム基材２０上の露光パターン形成用領域に露光材料膜２１が形成されたフィルム２において、その幅方向の両側縁部の少なくとも一方に、有色の焼成材料、有色の光硬化性材料又は有色のインクを塗布して側部塗布膜２２を形成し、アライメントマーク形成部１４により、レーザ光を照射してアライメントマーク２ａを形成し、このアライメントマーク２ａを使用してフィルム蛇行を検出し、マスク１２の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】露光対象部材が連続的に供給される場合においても、マスク位置調整用のアライメントマークを露光対象部材の蛇行に応じて変化させ露光対象部材に対するマスクの位置を精度よく調整することができ、高精度で安定的な露光が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１には、露光光の照射位置よりも上流側にアライメントマーク形成部１３が設けられており、露光対象部材２に移動方向に対して断続的な指標が付されたアライメントマーク２ａを形成する。検出部１４は、露光対象部材２の移動方向に交差する方向におけるアライメントマーク２ａの指標位置における位置を検出する。そして、検出部１４の検出結果によりアライメントマーク２ａの蛇行量を演算し、アライメントマーク形成部１３を移動させる。又は、検出部１４が露光光の照射位置に対応するように配置されている場合は、マスク１２の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】露光領域の拡大を容易になし得るようにする。
【解決手段】電気光学結晶材料からなる角柱状の部材の長軸に平行な対向面に夫々電極を設けて形成したスイッチング素子９と、該スイッチング素子９の長軸方向の両端面側に該スイッチング素子９を間にしてクロスニコルに配置された一対の偏光板１２Ａ，１２Ｂとで構成した複数の光スイッチ１１を被露光体６の面に平行な面内に配置して有するパターンジェネレータ３を備え、複数の光スイッチ１１を個別に駆動して一定の明暗模様の露光パターンを生成し、これを被露光体６に照射して露光する露光装置であって、パターンジェネレータ３の光射出面側に各スイッチング素子９の長手中心軸に光軸を合致させて設けられ、スイッチング素子９の光射出端面９ａの像を被露光体６上に縮小投影する複数のマイクロレンズ１７を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】露光パターン形成用領域を複数回に分けて露光する場合、又は複数の露光パターン形成用領域を同時若しくは連続的に露光する場合に、露光位置の確認が容易な露光方法及び露光位置の確認方法を提供する。
【解決手段】露光対象部材２は、露光パターン形成用領域及びその周囲の少なくとも一部の非パターン形成領域を備えている。この露光対象部材２の非パターン形成領域における露光パターンの延長上にある領域に露光光の照射により変色する光変色材料を塗布するか、又は露光光の照射により変色する光変色部材を貼付し、マスクに透過させた露光光を露光対象部材に照射する際に、露光パターン形成用領域の他に、光変色材料又は光変色部材からなる光変色領域２２にも照射してこれを変色させる。そして、この光変色領域２２の変色により、露光パターン形成領域における露光位置を確認し、露光不良の有無を判定する。 （もっと読む）

【課題】露光対象部材が連続的に供給される場合においても、マスク位置調整用のアライメントマークを露光対象部材の蛇行に応じて変化させ露光対象部材に対するマスクの位置を精度よく調整することができ、高精度で安定的な露光が可能な露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１には、露光対象部材２の搬送方向における露光光の照射領域よりも上流側に第１マーク形成部１７が設けられており、蛇行検出用マーク２ｂを検出し、検出部１４は、露光対象部材２の移動方向に交差する方向の蛇行検出用マーク２ｂを検出し、これに基づいて演算された露光対象部材２の蛇行量を打ち消すように、アライメントマーク形成部１３を移動させ、アライメントマーク２ａを露光対象部材２に対して相対的に直線状に形成する。 （もっと読む）

【課題】被露光体上を走査する光ビームの走査距離を短くして露光工程のタクトを短縮する。
【解決手段】被露光体４を一定方向に一定速度で搬送する搬送手段１と、被露光体４の搬送方向と交差する方向に一定の配列ピッチで一列に並べられた複数の光スイッチにより、一方向に拡幅されたレーザ光Ｌを一定の配列ピッチで一列に並んだ複数のレーザビームＬbに分割して射出するパターンジェネレータ６と、パターンジェネレータ６から射出し、被露光体４に照射する複数のレーザビームＬbを互いに隣接するレーザビームＬbの間の領域を同時に往復走査する光走査手段７と、往復走査される複数のレーザビームＬbを被露光体上に集光するｆθレンズ８と、パターンジェネレータ７の複数の光スイッチのオン・オフ駆動を制御する制御手段３と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】マイクロレンズアレイによる露光位置を調整することができ、露光パターンの基準パターンからのずれが発生しても、露光中にこのずれを検出して、露光パターンの位置ずれを防止し、重ね露光における露光パターンの精度を向上させる。
【解決手段】マイクロレンズアレイ２は４枚の単位マイクロレンズアレイ２−１等の積層体であり、一部の単位マイクロレンズアレイの光軸を他の単位マイクロレンズアレイの光軸から偏倚させることができる。スキャン露光装置は、複数個のマイクロレンズアレイ２により、マスクの露光パターンが基板１上に投影される。このとき、基板１上の画像をラインＣＣＤカメラにより検出し、基板上の第１層パターンを基準パターンとして、マスク３の露光パターンがこの基準パターンと一致しているか否かを検出する。不一致の場合に、マイクロレンズ２ａの光軸を偏倚させてマイクロレンズアレイによる投影パターンの倍率を調整する。 （もっと読む）

【課題】ディスペンサ本体内への薬液充填を簡便にすると共に薬液の一部が無駄に消費されるのを抑制する。
【解決手段】本体内に充填された薬液８を適量吐出するマイクロディスペンサであって、両端部が開口し、先端部１ｂがテーパ状に細くなったニードル管１と、ニードル管１内にその後端部１ｂの開口から挿入可能に形成され、両端部が開口し内部に薬液８を吸引するキャピラリ管２と、を備え、薬液８を吸引したキャピラリ管２を、その外周面２ｄとニードル管１の内周面１ｄとの間の隙間１０が封止されるようにニードル管１内に挿入した状態で、ニードル管１及びキャピラリ管２の後端部１ｂ，２ｂに一定圧のエアを同時に供給可能に形成されたものである。 （もっと読む）

【課題】装置全体を大型化することなく、Ｐ偏光及びＳ偏光の直線偏光の露光光の双方を選択的に出射可能である露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１には、光源１１からの露光光が入射されこれをＰ偏光の直線偏光及びＳ偏光の直線偏光の露光光に分割する偏光ビームスプリッタ１５が設けられている。そして、この偏光ビームスプリッタ１５は露光光の光軸を回転中心として回転可能に設けられていると共に、その回転中心に対する反射透過面の方向が９０°相違する第１の位置と第２の位置とに設定可能に構成されている。そして、偏光ビームスプリッタ１５の位置を第１の位置と第２の位置とで切り替えることにより、Ｐ偏光及びＳ偏光の直線偏光の露光光の双方を選択的に出射可能である。 （もっと読む）

【課題】露光パターンの基準パターンからのずれが発生しても、露光中にこのずれを検出して、露光パターンの位置ずれを防止することができ、重ね露光における露光パターンの精度を向上させることができるマイクロレンズアレイを使用したスキャン露光装置を提供する。
【解決手段】スキャン露光装置は、複数個のマイクロレンズアレイ２により、マスクの露光パターンが基板１上に投影される。このとき、基板１上の画像をラインＣＣＤカメラにより検出し、基板上の第１層パターンを基準パターンとして、マスク３の露光パターンがこの基準パターンと一致しているか否かを検出する。不一致の場合に、マイクロレンズアレイ２を基板１に平行な方向から傾斜させ、マイクロレンズアレイ２による基板上の露光領域を調整して、マスクの露光パターンを基準パターンに一致させる。 （もっと読む）