【課題】高精細な薄膜パターンの形成を容易に行い得るようにする。
【解決手段】ＴＦＴ基板１上のアノード電極２Ｒ〜２Ｂ上に対応色の有機ＥＬ層３Ｒ〜３Ｂを形成して有機ＥＬ表示装置を製造する有機ＥＬ表示装置の製造方法であって、ＴＦＴ基板１上に可視光を透過する樹脂製のマスク用部材４を被着するステップと、ＴＦＴ基板１上のＲ対応アノード電極２Ｒ上にレーザ光Ｌを照射し、当該アノード電極２Ｒ上のマスク用部材４に画素に対応した形状の開口５を設けてマスク６を形成するステップと、ＴＦＴ基板１上のＲ対応アノード電極２Ｒ上にマスク６の開口５を介してＲ有機ＥＬ層３Ｒを成膜形成するステップと、マスク６を剥離するステップと、を含むものである。 （もっと読む）

【課題】
複数の電気光学素子に印加する電圧を経時的にそれぞれ変化させ、レーザ光のパルス幅を伸長し、出力されるパルスレーザのピークエネルギーを低下させることができるパルスレーザ発振器を提供する。
【解決手段】
印加された電圧に応じて光を偏光する複数の電気光学素子６ａ，６ｂと、前記複数の電気光学素子６ａ，６ｂの個々に電圧を印加するとともに電圧を制御する電圧制御装置７とを備えたパルスレーザ発振器であって、前記電圧制御装置７によって、前記複数の電気光学素子６ａ，６ｂの個々に印加する電圧を経時的にそれぞれ変化させ、レーザ光のパルス幅を制御するものである。 （もっと読む）

【課題】
３次元画像表示装置の薄型化を行い、製造コストの削減を図り、３次元画像表示装置に表示される３次元画像の明度を上げる。
【解決手段】
３次元画像表示装置の表示面を保護する第１の保護フィルムと、第１の保護フィルムに合着され、３次元画像表示装置の表示パネルから発する光を左眼用偏光と右眼用偏光に分割するパターンド・リターダーフィルムと、パターンド・リターダーフィルムに直接合着される偏光子および該偏光子を保護する第２の保護フィルムとから構成される偏光フィルムとを備える。 （もっと読む）

【課題】ディスペンサに詰まりが生じた場合にディスペンサを交換することなく詰まりを解消する。
【解決手段】光透過性の吐出部１０Ａを有し吐出部１０Ａ先端の吐出口１０Ａ１から塗布材を吐出するディスペンサ１０と、吐出部１０Ａに照射可能なレーザ光を出射するレーザ光源１１と、レーザ光源１１から出射したレーザ光を吐出部１０Ａに照射させる光学系１２を備える。吐出部１０Ａの特定位置にレーザ光を照射させ、特定位置の吐出部１０Ａ内に存在する詰まり原因を流動化させることでディスペンサ１０の詰まりを解消する。 （もっと読む）

【課題】基板とマスクとの隙間への付着物の噛み込みを検出でき、マスクの疵付きを防止でき高い露光精度を維持できる露光装置を提供する。
【解決手段】露光装置１は、基板２に転写すべきパターンが形成されたマスク１２が設けられており、光源１１から出射された露光光を透過させて基板２にパターンを露光する。基板２は、ステージ１０により、マスク１２に対してスキャン方向に移動される。マスク１２はマスクホルダ１３に保持され、マスクホルダ１３には、加速度センサ１４が設けられている。そして、加速度センサ１４によりマスク１２の鉛直方向の加速度を検出する。判定部１６は、加速度センサ１４の検出結果が所定値を超えたか否かを判定し、この判定結果に基づいて、ステージ１０を制御する制御部１５は、ステージ１０による基板２の移動を継続又は停止させる。 （もっと読む）

【課題】凹凸パターンの上部及び下部の寸法を明確に区別して測定する。
【解決手段】基板５上に形成された凹凸パターンを拡大観察する顕微鏡１と、前記顕微鏡１を通して観察される前記凹凸パターンを撮像する撮像カメラ２と、前記顕微鏡１の対物レンズ７の視野外からその視野内に散乱光を照射する照明光学系３と、前記撮像カメラ２の画像を入力して表示部１７の画面１７ａ上に表示し、入力手段１６により入力して前記表示画面１７ａ上に指定された範囲内の前記凹凸パターンの上部及び下部のいずれか一方、又は両方の寸法を測定する制御手段４と、を備えたものである。 （もっと読む）

【課題】光学フィルムのように薄いシート状のものを、気泡及び異物の巻き込みがなく、撓み及びしわを発生させることなく、高効率で基板上に貼付することができる基板への光学フィルム貼付装置を提供する。
【解決手段】真空チャンバ１内で、繰出部８から繰り出された光学フィルム１２を巻取部１１にて巻き取る間に、この光学フィルム１２の移動域で、移動装置４０により基板１０を光学フィルム１２と同期させて移動させ、圧着装置５０を同様に光学フィルム１２に同期させて移動させる。そして、この光学フィルム１２の移動中に、保持部材６１，６２が光学フィルム１２を静電チャックし、圧着プレート５１が光学フィルム１２を基板１０に対して押圧する。 （もっと読む）

【課題】基板又はマスクとセンサとの間隔の変動が生じたり、光路の光軸ずれが生じても、基板とマスクとのアライメントを高精度でとることができる露光装置のアライメント装置を提供する。
【解決手段】基板１上のアライメントマーク５ａ、５ｂと、マスク２上のアライメントマーク６ａ、６ｂとを、長波長光の透過領域３１と短波長光の透過領域３２とを有するフィルタを通して、カメラのセンサにて検出する。長波長光は焦点距離が長く、短波長光は焦点距離が短いので、アライメントマーク５ａ、５ｂの反射光の中の長波長光と、アライメントマーク６ａ、６ｂの反射光の中の短波長光とは、同時にカメラのセンサに結像し、同時に観察できる。そして、アライメントマーク５ａ、５ｂの中点と、アライメントマーク６ａ、６ｂの中点とが一致するように、基板１とマスク２とのアライメントをとる。 （もっと読む）

【課題】人為的な設定ミスにより、マスクパターンが異なる複数種のパターン領域から狙いと違うパターン領域が選択されるのを防止する。
【解決手段】同一のマスク基板９上にマスクパターンが異なる複数種のパターン領域１０を並べて設けたフォトマスク８であって、前記各パターン領域１０の外側に、前記マスクパターンを識別するための複数種の識別マーク１１を形成したものである。 （もっと読む）

【課題】セルレイアウトが異なる基板を露光する際にも、高効率且つ低コストでパネルを露光できる露光装置及びこの露光装置に使用される遮光板を提供する。
【解決手段】露光用マスク２０は、表示パネルに対応するパターン領域２０ａが複数個配列されている。マイクロレンズアレイ２２は、スキャン方向に垂直の方向に２個のマイクロレンズアレイチップ２２ａが、その一部がこのスキャン方向に垂直の方向に相互に重なるように設けられている。遮光板３０は、マイクロレンズアレイチップ２２ａの一部を遮光するものであり、遮光板３０の開口部は、一方のマイクロレンズアレイチップ２２ａが２個のパターン領域２０ａのみを露光し、他方のマイクロレンズアレイチップ２２ａが他の３個のパターン領域２０ａのみを露光するように、マイクロレンズアレイチップの光透過を規制する。 （もっと読む）