【課題】 本発明は、ＳＭＩＳシステムの感度を増加することを目的とする。
【解決手段】 二次イオン質量分析計（ＳＩＭＳ）の感度は、一次集束イオンビームによってスパッタリングされる正の二次イオンの収量を高めるために水蒸気を使用することで増加される。水蒸気は、サンプルの近傍に位置決めされ二次イオンのコレクション場との干渉を減少させるために電気的にバイアスされる針を通じて注入される。感度は、正イオンとしてスパッタリングされる傾向にある特に金属に対して高められる。 （もっと読む）

【課題】ＴＥＭの回折平面における使用のためのブロッキング部材を提供する。
【解決手段】発明は、ＴＥＭの回折平面に置かれるものであるブロッキング部材に関係する。それは、シングルサイドバンドのイメージングのために使用されたナイフエッジに似るが、しかし小さい角度にわたって偏向させられた電子のみをブロックする。結果として、この発明に従ったＴＥＭのコントラスト伝達関数は、低い周波数でシングルサイドバンドの顕微鏡のもの及び高い周波数については正常な顕微鏡のものに等しいことになる。好ましいことは、ブロッキング部材によってブロックされた最も高い周波数が、ブロッキング部材無しの顕微鏡が０．５のＣＴＦを示すと思われるようなものであることである。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、サンプルの中を通り抜けた電子を検出する複数の検出器を提供する。
【解決手段】 検出器は、望ましくは、電子のエネルギーに従って電子を分離するプリズムの中をそれらの電子が通り抜けた後に、それらを検出する。異なるエネルギー範囲における電子は、次に、異なる検出器によって検出され、望ましくは、それらの検出器の少なくとも1つは、電子がサンプルの中を通り抜けるときにそれらによって失われるエネルギーを測定する。本発明の一実施形態は、コア・ロス電子においてEELSを提供する一方、ロー・ロス電子からの明視野STEM信号を同時に供給する。 （もっと読む）

【課題】未知の組成/幾何学形状を有する試料に関する用途に適応できるSEM画像化法を提供する。
【解決手段】ＳＥＭを用いた試料の調査方法に関し、複数(N)回の測定で探針電子ビームを試料の表面に照射する手順であって、各測定はビームパラメータ(P)の値を有し、該ビームパラメータの値は、ある範囲の値から選ばれ、かつ測定毎に異なる、各測定間に前記試料によって放出される誘導放射線を検出し、該誘導放射線と測定量(M)とを関連づけ、記録することで、複数のデータ対(P_i,M_i)（1≦i≦N）からなるデータの組をまとめることを可能にする手順、を有する。統計的ブラインド信号源分離法を用いて、データの組(D)を自動的に処理し、複数の画像化対(Q_k,L_k)からなる結果として得られた組(R)に分解することを特徴とし、Q_kの値を有する画像化量(Q)は、表面Sを基準とした離散的な深さレベルL_kに関連づけられる。 （もっと読む）

【課題】低エネルギー(例えば200eV)電子を検出する放射線検出器の製造方法を提供する。
【解決手段】走査型電子顕微鏡等に適した検出器は、p^＋‐拡散層に接続された純ホウ素の薄い層をもつPINフォトダイオードで、そのホウ素層は、アルミニウム・グリッドをもつ電極に接続され、そのホウ素層と電極との間の各々の位置において低い電気抵抗の経路を形成する。そのホウ素層に損傷を与えず、ホウ素層上にアルミニウム・グリッドを形成するため、ホウ素層をアルミニウム層で完全に覆い、そのアルミニウム層の一部分をドライ・エッチングによって除去するが、ホウ素層の露出される部分に薄いアルミニウム層を残す。その後、ホウ素層の露出される部分から完全にアルミニウムを除去する。 （もっと読む）

【課題】集束イオンビーム装置に用いられる誘導結合型プラズマイオン源において、プラズマ室を冷却する手段と方法、並びにプラズマ室と接地電位の間の異常放電を防止する手段と方法を提供する。
【解決手段】プラズマ室１０２の外壁１０６に沿って絶縁性液体１２６を流すことによってプラズマ室を冷却する。プラズマ源ガスは接地電位にあるタンク１５０からレギュレータ１５２、調整弁１５６、および流量制限器１５８を介してプラズマ室１０２に供給される。前記流量制限器を前記プラズマ室の近傍に設けて、プラズマ電位と接地電位との間の電圧が比較的ガス圧力の高いところに加わるようにすることによって、プラズマ室と接地電位の間の異常放電を防止する。 （もっと読む）

【課題】 今日市販されている高分解能の透過電子顕微鏡(HR-TEM)及び走査型透過電子顕微鏡(HR-STEM)には、所謂対物レンズの軸球面収差C_sを補正する補正装置が備えられている。他の収差は制限をかける収差となることは避けられない。ローズ補正装置としても知られている六重極型の補正装置では、当該補正装置によって導入される、A5としても知られている6回軸非点収差及びD6としても知られている6回スリーローブ収差も、制限をかける収差になることが知られている。
【解決手段】 本発明は、六重極間のクロスオーバーに弱い六重極を加えることによって、A5又はD6のないローズ様補正装置又はクリュー様補正装置の作製を可能にする。あるいは本発明は、弱い六重極と十二重極の両方を加えることによって、A5とD6のいずれも存在しない補正装置を作製する。 （もっと読む）

【課題】単純、確実、安価で、低い水透過性を示すシールを提供する。
【解決手段】本発明は高真空シールとしての使用のための改良されたＯリングシールに関する。標準的なＯリングシールの制限は、Ｏリングを通じる水の透過である。特に、極低温電子顕微鏡のような、部分が極低温に維持される機器にとって、真空内の水の存在は問題である。何故ならば、これは極低温部分の上に氷成長を招くからである。解決策として、二重Ｏリングシール又は金属シールが頻繁に使用される。これらの解決策の両方は欠点を有する。本発明は、乾燥窒素のような乾燥ガスが吹き付けられる通路内にＯリングを配置することを提案する。このようにして、水はＯリングを通じて透過せず、その結果、基礎圧力が減少され、氷成長が高度に減少される。 （もっと読む）

【課題】電子顕微鏡における試料の検査方法を提供する。
【解決手段】試料キャリア500は、パッド505,508と接続する電極504,507を有する。領域A上に試料は設けられる。前記試料を前記試料キャリア上に設けた後、前記試料上に伝導性パターンが堆積される。それにより前記試料の特定部分に電圧又は電流を印加することが可能となる。前記試料上への前記パターンの堆積は、たとえばビーム誘起堆積又はインクジェットプリントによって行われて良い。前記試料内での電子部品-たとえばレジスタ、キャパシタ、インダクタ、及びFETのような能動素子-の構成についても教示する。 （もっと読む）

【課題】 本発明の目的は、試料表面上にAu含有層を供するシステム及び方法を供することである。
【解決手段】 本発明は、試料表面上にAu含有層を供する方法を供する。当該方法は、Au(CO)Clを有する堆積流体を供する手順、前記試料表面の少なくとも一部の上に前記流体を堆積させる手順、及び、前記流体の少なくとも一部が上に堆積された前記試料表面に荷電粒子ビームを案内することで、前記試料表面上に前記Au含有層を生成する手順、を有する。
AU(CO)Clを荷電粒子誘起堆積用の前駆体として用いることによって、当技術分野において知られた方法と比較して、非常に高純度の金(Au)層を堆積することが可能となる。 （もっと読む）