【課題】 本発明はたとえば電子顕微鏡で使用される環境セルに関する。
【解決手段】 当該環境セルは、前記電子顕微鏡によって生成されたビームを、当該環境セル内部に設けられた試料にまで通過させるアパーチャ(15)を有する。本発明による環境セルは、当該環境セルの一部分(14)が、たとえば後方散乱電子又はX線のような2次放射線に対して透明であることを特徴とする。これにより、当該環境セルの外部に設けられた検出器によってこの放射線を検出することが可能となる。前記検出器が当該環境セルの外部に設けられることによって、当該セルの構成をはるかに単純にすることが可能となる。 （もっと読む）

【課題】当該発明は、像の質を改善するための補正器（３３０）及びコントラストを改善するための位相板（３４０）を備えたＴＥＭに関係する。
【解決手段】改善されたＴＥＭは、対物系のレンズ及び位相板の間に完全に置かれた補正系を具備すると共に、位相板における回折平面の拡大された像を形成するために補正器のレンズを使用する。 （もっと読む）

【課題】本発明では、走査型透過電子顕微鏡（STEM）を作動する方法が開示される。STEM装置では、電子焦点化ビーム（2）を用いて、サンプル（1）が走査される。クロスオーバ（3）の直径は、0.1nm以下とすることができる。当業者には明らかなように、クロスオーバの直径は、ビームの開口半角αに依存する。従って、最適な解像度を得るため、クロスオーバの直径R（α）が最小値となるようにして、開口半角が選定される。しかしながら、厚いサンプルでは、クロスオーバ平面から離れたサンプルの位置における解像度は、ビームの収束度により制限され、サンプル表面では、ビーム直径Dが得られる。
【解決手段】本発明では、最適な開口半角よりも小さな開口半角を選定することによるクロスオーバの直径の寄与と、収束の寄与とが釣り合うように開口角度が選定される。その後、サンプルは、電子が移動したことになるサンプル材料の全長にわたって、実質的に一定の直径を有するビームを用いて走査される。 （もっと読む）

【課題】
ＴＥＭ（透過型電子顕微鏡）検査のために、例えばガラス化した生体サンプル等の凍結した含水サンプルを基板から抽出し、該サンプルをマニピュレータに取り付ける。
【解決手段】
含水サンプルは氷の形成を回避するように極低温に保持される。サンプル物質のうち、ＴＥＭにて観察される領域の外側の一部を溶解あるいは昇華させ、且つ該物質をマニピュレータ（１０）に凍結させることにより、サンプル（１）とマニピュレータとの間に接合が形成される。これは、サンプルを基板から例えばＴＥＭ格子などに移送することを可能にする。好適な一実施形態において、マニピュレータ（１０）の一部（２）は極低温に保持され、マニピュレータの先端部（３）が該先端部の電気的加熱によって加熱されることによって溶解又は昇華が引き起こされ、その後、マニピュレータの先端部が極低温まで冷却されることにより、サンプル（１）がマニピュレータに凍結される。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、たとえば電子顕微鏡又は集束イオンビーム装置のような荷電粒子装置内での光学顕微鏡スライド(10)の使用に関する。従来の顕微鏡スライドは電子顕微鏡内での使用に適していない。その理由は、従来の顕微鏡スライドは、電子顕微鏡内で観察される際に荷電粒子ビームが入射することで帯電するからである。
【解決手段】 しかしたとえばインジウムスズ酸化物(ITO)のような導電性層でコーティングされた顕微鏡スライドが存在する。前記顕微鏡スライドは通常、導電性層に電流を流すことによって、スライド上にマウントされた対象物を加熱するのに用いられる。これらの顕微鏡スライドは荷電粒子装置内で、導電性層を接地電位と接続して、入射荷電粒子の戻り路を生成することで、帯電を防止するのに有利に用いることができることが実験によって示されている。
本発明はさらに、光学顕微鏡(130)が備えられた荷電粒子装置にも関する。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、TEM鏡筒及び高分解能走査型光学顕微鏡(10)を用いて試料(1)を観察する装置に関する。
【解決手段】 TEM鏡筒で試料を観察するときの試料位置は、光学顕微鏡で試料を観察するときの位置と異なる。後者の場合、試料は、光学顕微鏡の方向を向くように傾けられる。好適には単色光で走査型光学顕微鏡を用いることによって、試料位置を向いている光学顕微鏡のレンズ素子(11)は、（磁気）粒子光学対物レンズ(7)の磁極面8Aと磁極面8Bの間に位置できるほど十分に小さくすることができる。このことは、光学顕微鏡で従来用いられてきた、大きな直径を示す対物レンズ系とは対照的である。さらに光学顕微鏡又は少なくとも試料に近接する部品(11)は、TEMモードでの画像化を行うときには、空間を解放するように引っ込めることができる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、たとえばESEM（登録商標）のような、粒子と光子で同時に試料を観察する粒子光学装置に関する。
【解決手段】 圧力制限アパーチャ(PLA)が、ESEM（登録商標）の対物レンズと試料位置との間のダイアフラム内に設けられている。試料位置とアパーチャとの間の距離は、このアパーチャを介して、光子の収集角を大きくできるほど十分に小さい。ミラーが、ダイアフラムと対物レンズとの間に設けられている。光子の収集角が大きいため、大きなNAが実現される。試料位置とアパーチャとの距離が短くなることで、当該装置での電子の散乱は、電子が高圧領域ではわずかに限られた長さしか進行できないという理由でアパーチャと試料位置との間にミラーが設けられているESEM（登録商標）での電子の散乱よりも少なくなる。実施例は、たとえばイマージョンレンズが用いられるような組み合わせについても記載している。 （もっと読む）

【課題】半導体ウエハから取り出された試料を薄くするプロセスを自動化する。
【解決手段】試料キャリアは、外側境界(6)を有する隆線形状部(5)及び外側境界を超えて延びる支持膜(4)を有する。その隆線形状部(5)はCuで作製され、その支持膜(4)は炭素で作製される。試料を支持膜上に設け、位置合わせをして、その試料は、IBIDを用いて剛性構造体に取り付けられる。試料を剛性構造体に取り付けた後、イオンビームを用いてその試料を薄くする。試料を薄くする間、支持膜も同様に局所的に除去される。本発明は、試料と試料キャリアとの良好な位置合わせを実現する。また本発明は、たとえば帯電したガラス針(2)による、ウエハから試料キャリアへの試料の移動に係る自由度を増大させる。その自由度の増大により、試料を試料キャリアへ移動させるのに通常必要となる取り付け/切断工程が不要となる。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、従来技術に係るマニピュレータを代替するマニピュレータを供することを目的とする。
【解決手段】 たとえば透過型電子顕微鏡(TEM)に用いられるマニピュレータが記載されている。当該マニピュレータは、試料ホルダ(4)を回転及び並進させる能力を有する。当該マニピュレータは、円形の試料ホルダを2の部材(3A,3B)間で留める。前記部材はアクチュエータ(2A,2B)上にマウントされている。複数のアクチュエータを同一の方向に動かす結果、試料ホルダは並進する。その一方で、複数のアクチュエータを反対方向に動かす結果、試料ホルダは回転する。 （もっと読む）

本発明は、ラベルが試料中に導入され、前記試料上に平坦な表面が調製され、かつ前記試料表面の一連の像がたとえば走査電子顕微鏡によって撮られる、方法に関する。前記ラベルは、金のラベル又はたとえば蛍光ラベルであって良い。各像を取得する間に表面層を除去することによって、一の像での表面のラベルが除去され、そのラベルは次の像では見えない。それにより前記試料中でのラベルの位置を3D再構成することが可能となる。

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