【課題】鉄系構造物を磁気インピーダンス効果センサにより適確・容易に検査できる方法を提供する。
【解決手段】磁気インピーダンス効果素子を備えたセンサを、磁気インピーダンス効果素子に励磁電流を通電すると共に直流分に交流分を重畳したバイアス磁界をかけながら鉄系構造物に沿い走行させる。鉄系構造物もバイアス磁界に対し磁気回路の一部となり、バイアス磁界の強さが鉄系構造物の傷・腐食・減肉の程度に応じて変化し、その出力変化から鉄系構造物の欠陥の程度を検査する。 （もっと読む）

【課題】加熱又は冷却を繰り返し行ったとしても安定した熱流路を維持することができ、被測定試料の測定を高精度に行うこと。
【解決手段】被測定試料と基準物質とを収納する収納室２と、収納室を加熱するヒータ３と、被測定試料と基準物質との温度差を熱流差信号として出力する示差熱流検出器４と、所定の温度に冷却制御される冷却ブロック５と、冷却ブロックと収納室とを機械的に接続すると共に両者の間の熱流路を形成する熱抵抗体６と、冷却ブロックに対して熱抵抗体を一定の弾性力で付勢しながら押し付けて固定する第１の固定手段８と、熱抵抗体に対して収納室を一定の弾性力で付勢しながら押し付けて固定する第２の固定手段９とを備えている示差走査熱量計１を提供する。 （もっと読む）

【課題】対物レンズである静電レンズに微量な塵が付着してしまうことを防止し、静電レンズに高電圧を印加することが可能な荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置１は、チャンバー内排気手段４によって内部２ａを排気可能なチャンバー２と、チャンバー２の内部２ａに配置された試料Ｓに対して荷電粒子ビームＢ１を照射する鏡筒３とを備えている。鏡筒３は、荷電粒子ビームＢ１が放出される照射口６が形成された筒体５と、筒体５の内部５ｂの基端５ｃ側に収容され、荷電粒子ビームＢ１を放出する荷電粒子供給部７と、筒体５の内部５ｂの先端５ａ側に収容され、電界を発生させ、荷電粒子供給部７から放出された荷電粒子ビームＢ１を集束させる静電レンズを有した対物レンズ１１とを備えている。鏡筒３の筒体５には、筒体５の内部５ｂにガスＧを供給可能な給気手段１２が、対物レンズ１１の基端側に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、光スポット観察用の対物レンズに対して、暗視野照明状態でカンチレバーに光が照射される場合や、紫外や赤外などの波長でスポットが認識しづらい場合に、光スポット位置合わせが容易に行えるような走査型プローブ顕微鏡を提供する。
【解決手段】 プローブ2aが設けられたカンチレバー2と、前記カンチレバーに光を照射する光源5と、カンチレバーで反射された光を受光する受光部6とを備えた走査型プローブ顕微鏡において、前記光源から照射される光のスポットを観察するためのターゲット板8を配置し、ターゲット板8の表面に光を散乱させる周期構造またはランダム構造を設けた。 （もっと読む）

【課題】 走査型プローブ顕微鏡において、カンチレバーを高速に移動させてもずれることがないようにカンチレバーを固定でき、かつカンチレバーをカンチレバー保持台に簡単に固定または外すことができるようにすること。
【解決手段】 先端に探針８を有するカンチレバー４を固定するカンチレバー保持台１と、カンチレバー保持台１にカンチレバー４の片面を密着させ、カンチレバー４の逆面と押え板２とを低融点金属３を用いてカンチレバー４を固定するようにした。 （もっと読む）

【課題】 ＳＰＭ装置で使用する探針において、観察や加工などで探針先端に付着した物質を、ＳＰＭ装置内で除去し、探針先端を洗浄することを課題とする。
【解決手段】 異物4が付着した探針1を、サンプル3に押しつける。この時カンチレバー側のスキャナー5とサンプル台6の間で、相対的に水平振動10と垂直振動11を発生させる。探針先端への適切な摩擦を発生することにより、探針1の先端をに付着した異物4を取り除き、洗浄することができる。 （もっと読む）

【課題】気体イオンビーム装置とＦＩＢとＳＥＭを用いて、効率よくTEM試料作製ができる複合荷電粒子ビーム装置としての構成方法を提供する。
【解決手段】ＦＩＢ鏡筒１と、ＳＥＭ鏡筒２と、気体イオンビーム鏡筒３と、ユーセントリックチルト機構とユーセントリックチルト軸８と直交する回転軸１０とを持つ回転試料ステージ９と、を含む複合荷電粒子ビーム装置であり、集束イオンビーム４と電子ビーム５と気体イオンビーム６とは、１点で交わり、かつＦＩＢ鏡筒１の軸とＳＥＭ鏡筒２の軸はそれぞれユーセントリックチルト軸８と直交し、かつＦＩＢ鏡筒１の軸と気体イオンビーム鏡筒３の軸とユーセントリックチルト軸８とは一つの平面内にあるように配置する。 （もっと読む）

【課題】 余分な振動をカット（相殺）して、カンチレバーのみの振動特性で該カンチレバーを振動させること。
【解決手段】 試料に対向配置され、先端に探針３ａを有すると共に基端側が本体部３ｂに片持ち状態に支持されたカンチレバー３を固定するものであって、カンチレバーを試料に対して所定角度傾けた状態で本体部を載置して固定する載置台１０と、該載置台に固定され、所定の波形信号に応じた位相及び振幅で振動する第１の加振源１１と、該第１の加振源が固定されたホルダ本体１２と、該ホルダ本体の少なくとも１箇所に固定され、第１の加振源から載置台及びホルダ本体に伝わった振動を、相殺させる振動を発生させる第２の加振源１３とを備えている加振型カンチレバーホルダ２を提供する。 （もっと読む）

【課題】 カンチレバー先端の探針の周辺のみに安定した状態で微量の溶液を保持すると共に、電気化学反応の測定にも対応可能に溶液を保持した状態で、カンチレバーを固定すること。
【解決手段】 先端に探針３ａを有すると共に基端側が本体部３ｂに片持ち状態に支持された液中測定用のカンチレバー３を固定するものであって、カンチレバーを試料Ｓに対向させた状態で、本体部を着脱自在に固定するホルダ本体１０と、該ホルダ本体に、本体部とホルダ本体との取付面１１よりも試料側に突出した状態で探針の周囲を囲むように設けられ、少なくとも探針を内部に包む液滴状の溶液Ｗを試料との間に保持する溶液保持部１２とを備え、該溶液保持部が、試料表面Ｓ１から一定距離Ｈ離間した状態で設けられている液中用カンチレバーホルダ２を提供する。 （もっと読む）

【課題】荷電粒子ビーム装置により試料の加工を行う際に、試料の加工領域の形状によらず、輪郭線の精度を上げる。
【解決手段】コンピュータ１３は、マスク８を観察して得られた画像を基に加工領域を設定し、加工領域の輪郭を構成する代表点の位置をピクセル毎に、ピクセルよりも高い精度であるサブピクセル精度で、ピクセルの中心位置からずらした位置または中心位置に設定可能に求める。さらに、コンピュータ１３は、加工領域内のピクセルについては、該ピクセルの中心位置を代表点として求め、代表点の粗密を減らすように加工領域内のピクセルの代表点の位置をサブピクセル単位で補正する。マスク８の加工を行う際、加工領域の輪郭が含まれるピクセルについては、輪郭を構成する代表点の位置へ、加工領域内のピクセルについては、補正した代表点の位置へ、サブピクセル精度で荷電粒子ビーム２を照射する。 （もっと読む）