【課題】作業者の手を煩わすことなく簡単且つ短時間でプローブの交換を行うことができ、小型の走査型プローブ顕微鏡にも適用可能であること。
【解決手段】試料Ｓに対向配置され、レバー部２ａの先端に探針２ｂを有すると共に該レバー部の基端側が本体部２ｃに片持ち状態に支持されたプローブ２を複数固定するものであって、試料表面Ｓ１に対向する対向面１０ａを有し、該対向面に複数のプローブを、本体部を介してそれぞれ着脱自在に固定する固定板１０と、該固定板を移動可能に支持するホルダ本体１１と、固定板を移動させると共に複数のプローブのうち選択したいずれかのプローブを観察ポジションＰに位置させる可動手段１２とを備えているプローブホルダ３を提供する。 （もっと読む）

【課題】ウエハ及びウエハから作製された断面試料を同時に搬送することが可能であるとともに、小型化、軽量化が図られたウエハホルダ及びこのウエハホルダによってウエハ及び断面試料を同時に搬送可能で、装置全体の小型化が図られた試料作製装置を提供する。
【解決手段】ウエハホルダは、中央に開口部３１ａを有する枠状に形成され、上面３１ｂにウエハＷを載置可能なホルダ本体３１と、ホルダ本体３１に載置されたウエハＷの外周Ｗ１に当接し、ウエハＷをホルダ本体３１上で位置決めするガイド部３２と、ホルダ本体３１の外周部３１ｃに設けられ、ウエハＷから作製された断面試料を保持する断面試料保持部３３とを備えている。断面試料保持部３３は、断面試料が固定される板状の試料台３６と、試料台３６を着脱可能に挟持するとともに、ホルダ本体３１に対して着脱可能に設けられた固定台３５とを備える。 （もっと読む）

【課題】ナノインプリントリソグラフィで原版から引き剥がすときなどに発生する転写された熱硬化型もしくは光硬化型の凹凸パターンの欠損欠陥を修正し、ドライエッチング後のウェーハのデバイス不良を低減する。
【解決手段】紫外線レーザー9を当てながら走査型マイクロピペットプローブ顕微鏡のマイクロピペット1の先端の開口部から液体状の光硬化樹脂2を、ナノインプリントリソグラフィで光硬化樹脂を硬化させてできた原版から転写された凹凸パターンの欠損部分3に供給して硬化し、正常なパターン4と同じ形状になるように局所的な光硬化樹脂供給と紫外線硬化を繰り返して凹凸パターンの欠損部分を修正する。 （もっと読む）

【課題】 クロムマスクの黒欠陥の高透過率と高スループットを両立した修正技術を提供する。
【解決手段】 黒欠陥3と正常パターン4の境界部分6を、被加工材質よりも硬い探針1を有する原子間力顕微鏡微細加工装置で機械的に除去するか、集束イオンビーム微細加工装置または電子ビーム微細加工装置で除去し、黒欠陥3を孤立させ、孤立させた黒欠陥3に探針1を横から押し当てて力学的な力で付着力の弱いガラス界面5から引き剥がして除去する。 （もっと読む）

【課題】 探針と試料を測定領域に位置決めする際の探針破損を低減させ、探針先端形状に起因する分解能の変化を抑えて、適切でしかも安定な測定ができるプローブ顕微鏡を提供すること。
【解決手段】 先端に粗動用探針２１を有した粗動用カンチレバー２３と、先端に測定用探針２２を有した測定用カンチレバー２４を構成したプローブ顕微鏡において、粗動用探針２２で試料測定領域に位置決めされた後に、粗動用探針２１と測定用探針２２の試料表面との距離を変更するカンチレバー変換手段で、一旦、粗動用探針２１を試料表面測定領域から離し、測定用探針２２に切り替えた後に、測定用探針２２を試料測定領域に位置決めして測定するようにした。 （もっと読む）

【課題】試料を加熱する際に、ファーナスチューブが温度変化によって位置ずれしてしまうことがなく、常に一定の加熱環境で試料を加熱し、熱分析を行うことが可能な熱分析装置を提供する。
【解決手段】熱分析装置１は、支持台２と、略円筒状で、内部を所定の加熱温度まで昇温可能な加熱炉３と、加熱炉３を支持台２に固定する加熱炉固定部７と、略円筒状で、加熱炉３に隙間３ａを有して挿通され、基端部９ｃで固定部材１１によって支持台２に固定されたファーナスチューブ９と、ファーナスチューブ９を、軸方向に膨張、収縮可能に、かつ、半径方向に位置決め固定する固定手段１２と、ファーナスチューブ９の加熱炉３によって加熱可能な範囲である加熱部１０の内部に、試料Ｓ１を保持する試料保持手段１６と、試料Ｓ１の温度変化を測定する温度測定手段とを備える。 （もっと読む）

【課題】検出下限を改善し、重元素を主成分とする試料のみならず、軽元素を主成分とした試料に含有された微量な着目元素を定量することが可能である蛍光Ｘ線分析装置を提供する。
【解決手段】蛍光Ｘ線分析装置は、試料Ｓを支持する試料台３と、所定の照射位置Ｐ１を中心として一次Ｘ線Ｐを照射するＸ線源４と、照射位置Ｐ１に向って配置され、試料Ｓから発生する蛍光Ｘ線Ｑを検出する検出器５とを備えている。試料台３は、試料ＳをＸ線源４及び検出器５に近接させて固定する着脱自在の試料保持具１０を有し、被照射面Ｓ１を照射位置Ｐ１に一致させる第一の検査位置Ａ、または、試料Ｓを試料保持具１０に固定し、被照射面Ｓ２をＸ線源４に近接させるとともに、被検出面Ｓ３を検出器５に近接させる第二の検査位置Ｂのいずれか一方に、試料Ｓを選択的に配置して測定可能である。 （もっと読む）

【課題】筋引きの少ない良好な観察用断面を作製することができるとともに、スループットを向上させることが可能な集束イオンビーム装置、及び、良好な観察用断面を作製して、正確な観察像を得ることができる試料の断面加工・観察方法を提供する。
【解決手段】集束イオンビーム装置１は、試料Ｓを載置する試料台２と、試料台２を水平面上の二軸及び鉛直軸の三方向に移動させることが可能な三軸ステージ３と、試料Ｓに対して集束イオンビームＩ１、Ｉ２を照射する第一の集束イオンビーム鏡筒１１及び第二の集束イオンビーム鏡筒１２とを備え、第一の集束イオンビーム鏡筒１１及び第二の集束イオンビーム鏡筒１２は、互いの集束イオンビームＩ１、Ｉ２の照射方向が、平面視略対向するとともに、側方視鉛直軸に対して略線対称に傾斜するように配置されている （もっと読む）

【課題】 過冷却を示す試料であっても、示差走査熱量測定結果から正確な凝固点を求めるＤＳＣ曲線、出力温度曲線の解析方法、および示差走査熱量測定装置の冷却時の温度較正方法を提供することを課題とする。
【解決手段】 冷却過程の示差走査熱量測定結果から試料が潜熱により凝固温度で一定温度の状態を示す範囲を特定することが可能であることを発見し、この範囲のデータから試料の凝固点を求める方法を示した。たとえば、ＤＳＣ曲線、出力温度曲線からの外挿接線と、過冷却状態を含む液体状態である範囲のベースラインまたは延長線との交点の出力温度を読み取り、この交点の温度を試料の凝固点とするＤＳＣ曲線、出力温度曲線の解析方法を発見し採用した。 （もっと読む）

【課題】温度変化によって膨張、収縮したとしても保持している試料の位置を変化させること無く、正確に位置決め、保持することが可能な試料保持機構、及び、この試料保持機構を備えた試料加工・観察装置に提供する。
【解決手段】試料加工・加工観察装置１は、試料保持機構２０を備えている。試料保持機構２０は、試料Ｓを保持する試料ホルダ２１と、試料ホルダ２１を着脱可能に支持するベース２２とを備える。これらの間には、回転可能に支持する回転支持部２７と、回転中心２７ａからＸ方向に向って摺動可能に支持するスライド支持部２８と、Ｘ方向及びＹ方向に摺動可能に支持する当接支持部とが、着脱可能に設けられている。上面２１ａには、回転中心２７ａからＹ方向及びＸ方向に沿って配置され、試料Ｓの一辺Ｓ１及び他辺Ｓ２に当接するＸ方向位置決めピン３１及びＹ方向位置決めピン３２が設けられている。 （もっと読む）