【課題】熱膨張補正により測定した重量データを正確に補正できるようにした。
【解決手段】差動型熱天秤装置１は、サンプル側及びリファレンス側のそれぞれに天秤ビーム１０、２０が設けられ、天秤ビーム１０、２０の各々の先端にサンプル又はリファレンス物質を収容する容器を載せ、天秤ビーム１０、２０のサンプル側とリファレンス側との重量差を測定するものであり、サンプル側及びリファレンス側のそれぞれの天秤ビーム１０、２０における熱膨張に伴う重量変化分を計算し、天秤ビーム１０、２０毎に測定したそれぞれの重量データを補正する第一補正手段と、補正したサンプル側及びリファレンス側の重量データ同士の差を算出する第二補正手段とを有している。 （もっと読む）

【課題】 Ｘ線レンズを用いて集光したＸ線を試料に照射するとき、試料の集光Ｘ線の焦点の周辺部に生じるハロー成分のＸ線が生じ、これにより微小領域での分析の精度が問題となっていた。
【解決手段】Ｘ線レンズ２と試料Ｓの間に、Ｘ線レンズからのＸ線を形状を制御するために開口部を備え、Ｘレンズ側よりも試料側の開口が小さくなっている先細りの形状を有するコリメータ３を設置した。 （もっと読む）

【課題】加熱炉を破損させることなく好適な冷却ガスの流量を加熱炉に供給することができ、加熱炉の精密な温度制御を可能とした。
【解決手段】熱分析装置１は、加熱炉２内の温度を計測する温度センサ４と、温度プログラムを設定できると共に温度プログラム信号を出力する温度プログラム設定器５と、温度プログラム信号及び温度センサ４の検出信号の差に応じてヒータ３への供給電力を調節する温度制御部６と、プログラム温度に対応する空気流量を算出する演算処理部７と、演算処理部７で算出された空気流量の信号に応じて加熱炉２内に供給する空気流量を調整するマスフローコントローラ８とを備えている。演算処理部７では、空気流量を算出する演算式が所定の境界温度より高温側と低温側とでそれぞれ異なるように設定されている。 （もっと読む）

【課題】収差を軽減して試料に荷電粒子ビームを照射可能であるとともに、試料の表面にガスを導入する場合などでも、放電のおそれ無く荷電粒子ビームを照射することが可能な荷電粒子ビーム装置を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置１は、荷電粒子ビームＩを放出する荷電粒子源９と、荷電粒子ビームＩを補正、偏向する補正・偏向手段１９、及び、二つの外側電極１６ａ、１６ｂと、外側電極１６ａ、１６ｂに挟み込まれた少なくとも一つの中間電極１６ｃとが、照射方向に配列して構成され、荷電粒子ビームＩを集束させて試料Ｍに照射させる対物レンズ１６を有する荷電粒子ビーム光学系１１と、荷電粒子ビーム光学系１１の対物レンズ１６の中間電極１６ｃに、外側電極１６ａ、１６ｂに対して正負いずれかの電位差が生じるように電圧を切り替えて印加することが可能な対物レンズ制御電源３６とを備える。 （もっと読む）

【課題】 光源からの光を測定対象や光検出器の受光面へ位置合わせを行う際に、位置合わせを容易に、かつ確実に行うことが可能な光学式変位検出機構を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の利得で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光検出器１６で検出される検出感度を利得（増幅率）調整器を用いて実際に測定対象を測定する時よりも小さい値に設定して、光検出器１６の所定の位置に光検出器用位置決め機構１８により光のスポット２０の位置決めを行うようにした。 （もっと読む）

【課題】 光源の出力を大きくして光路上の光の伝達効率を高めることで、光検出器の受光面への入射光量を大きくし、検出感度に対するショットノイズやジョンソンノイズの割合を少なくするような光学式変位検出機構を提供する。
【解決手段】 測定対象６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０から測定対象６に照射した後の光を受光し電気信号に変換して光強度を検出する半導体よりなる光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の増幅率で電流／電圧変換する電流／電圧変換回路を含む増幅器２２から構成される光学式変位検出機構９において、スペクトルの半値幅が１０ｎｍ以上となる光源１０を用いることで、モードホップノイズや戻り光ノイズが発生することなしに光源１０の強度を２ｍＷ以上で駆動するようにした。 （もっと読む）

【課題】短時間で容易に、かつ、精度良くアパーチャの中心軸の位置調整が可能な荷電粒子ビーム装置、及び、アパーチャの軸調整方法を提供する。
【解決手段】荷電粒子ビーム装置１は、荷電粒子源９と、アパーチャ１８と、対物レンズ１２と、観察手段３２と、アパーチャ駆動部１９と、制御部３０とを備える。制御部３０は、荷電粒子ビームＩを照射することで、試料Ｎの表面Ｎ１に複数のスポットパターンを形成させるスポットパターン形成手段３３と、スポットパターンのスポット中心の位置、及びハローの幾何学的な中心位置を算出する解析手段３４と、各スポットパターンにおけるスポット中心の位置とハローの中心位置とを結んだ線同士が交差する位置に基づいて調整位置を算出する調整位置決定手段３５とを有し、調整位置にアパーチャ１８の中心軸を移動させることでアパーチャ１８の位置を調整する。 （もっと読む）

【課題】 高速に駆動させた場合でも、圧電素子に無理なく、安定的に動作する与圧機構を備えた圧電アクチュエータを提供する。また、圧電素子の変位を大きな信号として検出し、検出精度が向上した圧電アクチュエータを提供する。
【解決手段】 一端が前記土台６に固定され他端が積層型圧電素子２または被駆動体５に接触した弾性部材となる板バネ４が、土台６に固定した一端側の部分より積層型圧電素子２に保持された他端の部分の方が断面二次モーメントが小さくなるように、土台６側から積層型圧電素子２側へ向かって厚みが薄くなるようにした。また、板バネ４の積層型圧電素子２に近い一端の積層型圧電素子２の伸縮方向に直交し被駆動体５側となる一面である側面４ａに歪ゲージセンサー８を取り付けた。 （もっと読む）

【課題】 測定対象が変わっても測定対象の反射率などの光学特性、あるいは形状や機械的特性に依存せずに検出感度やノイズの割合が調整可能で、測定対象への照射光による測定対象の熱変形の影響が小さくでき、最適な条件下で測定精度を確保することが可能な光学式変位検出機構を提供する。
【解決手段】 測定対象となるカンチレバー６に光を照射する光源１０と、光源１０を駆動する光源駆動回路２１と、光源１０からカンチレバー６に照射した後の光を受光し、光強度を検出する光検出器１６と、光検出器１６の検出信号を所定の増幅率で増幅する増幅器２２から構成される光学式変位検出機構において、光強度調整器２８と増幅率調整器２７を設けカンチレバー６への照射光強度や光検出器１６の増幅率を可変できるようにした。 （もっと読む）

【課題】 定常状態であることを前提とせずに、散逸に関する値、あるいは散逸エネルギーに比例する値を計測できる。
【解決手段】 カンチレバー２の共振周波数に追随して励振を行う励振手段１２と、カンチレバー２の先端の探針の変位を検出する変位検出器１０と、変位検出器１０からの信号から振幅を逐次得る振幅検出器２０と、振幅の時間差分値を得る差分値検出器２１と、時間差分値間の商の値を得る割り算器２２と、商の値の対数値を得る対数変換器２３と、対数値を差分時間で割った値を求めて散逸に関する値を得る第二の割り算器２４と備えるようにした。 （もっと読む）