【課題】電気的接続の信頼性を損なうことなく電気抵抗率を従来よりも低減できる埋め込み配線を有する半導体装置用基板および半導体装置を提供する。
【解決手段】本発明は、上記目的を達成するため、埋め込み配線を有する半導体装置用基板であって、前記埋め込み配線は、金属多結晶体からなり、平均結晶粒径が異なる少なくとも２層の領域を前記基板の厚さ方向に有し、前記埋め込み配線の開口面を含む層の平均結晶粒径が、前記埋め込み配線の他の層の平均結晶粒径よりも小さいことを特徴とする半導体装置用基板を提供する。また、本発明は、上記半導体装置用基板を用いたことを特徴とする半導体装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】皮膚バリアー機能回復効装置の提供。
【解決手段】本発明は、皮膚バリアー機能の回復促進が必要とされる患者の皮膚に適用される第一の金属と、前記第一の金属の仕事函数より低い仕事函数を有する第二の金属及び／又は金属化合物と、上記金属間を直接的又は間接的に接続する整流素子であって、当該整流素子のアノードが前記第一の金属と接続されており、カソードが前記第二の金属及び／又は金属化合物と接続されている、整流素子と、を具備する、皮膚バリアー機能を回復促進するための装置を提供する。 （もっと読む）

【課題】コヒーレント光を用いて、被測定球体の球径を高精度で、且つ簡便な方法で短時間に測定できる球体の球径寸法測定方法及びその測定装置を提供する。
【解決手段】被測定球体１にコヒーレント光を照射することによって該被測定球体１の影中の部分に生じる干渉縞と輝点部で構成されるアラゴスポットの前記輝点部を用いて、前記アラゴスポットの輝点部の位置又は該被測定球体１の球径に応じて変位する前記アラゴスポットの輝点部の移動量から、該被測定球体１の球径を測定することを特徴とする。被測定球体１の球径は、幾何的手段、又は電気信号に変換されたアラゴスポットの輝点部の位置又はアラゴスポットの輝点部の移動量を用いてあらかじめ測定して得られたアラゴスポットの輝点部の移動量と球体１の球径との関係式から換算して求められる。 （もっと読む）

【課題】電圧検出手段により非接触で検出する絶縁電線の電圧値と、変流器で検出する電流値とを用いて、平均電力を希望する検出誤差の範囲に収めて計測できる交流電力測定装置を提供する。
【解決手段】絶縁電線１１Ｒ、１１Ｓの絶縁被覆１１Ｒ２、１１Ｓ２の外面に、それぞれ電極１２Ｒ２、１２Ｓ２が作る静電容量を予めで求められ値にするプローブ１２Ｒ、１２Ｓを配置し、絶縁電線１１Ｒに変流器１３Ｒを配置する。検出した交流電圧値と交流電流値を用いて演算する計測装置２０を備えており、これはプローブ１２Ｒ、１２Ｓに接続する入力抵抗と検出抵抗を含む分圧抵抗回路及びこの分圧電圧信号を作動増幅する作動増幅回路を含んでいる電圧検出部２１と、変流器の電流を検出する電流検出部２２と、各信号をそれぞれ変換するアナログ／デジタル変換器２３、２４と、これからの信号を基に交流電力を演算する演算処理装置とを少なくとも有している。 （もっと読む）

【課題】クレバスの面積比が小さく、低抵抗を維持した薄膜の状態で、配線層を構成する銅又はアルミニウム等の拡散を防止できるルテニウムバリア膜とその作製方法及び該ルテニウム膜を有する半導体集積回路装置とその製造方法を提供する。
【解決する手段】ルテニウムバリア膜は、ルテニウムを主成分とする金属からなり、表面上に観測されるクレバス（溝、割れ目又は深く鋭いくぼみ）の占める面積比が、前記バリア膜表面の全面積に対して１５％以下であり、広角Ｘ線回折測定によって得られるＸ線回折プロファイルにおいて、ルテニウムの結晶配向面（００２）及び（１００）に起因するスペクトルのそれぞれのピーク強度比であるＲｕ（００２）／Ｒｕ（１００）が１０以上であり、また、スパッタリング法によって、温度を５００℃以上に加熱した状態の半導体基板の配線溝上に成膜されることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】従来のルテニウムバリア材と同様に優れた銅拡散の抑制効果を有し、供給性の点で問題がなく、比較的低コストの金属又はその金属を含む金属間化合物からなる新規な半導体集積回路装置用バリア材の探索方法及び当該探索方法によって探索される半導体集積回路用バリア材を提供する。
【解決する手段】バリア膜若しくはバリア膜とシード膜からなる複合膜の上に銅配線層を有する半導体集積回路装置の前記バリア膜を構成するバリア材として、単位結晶格子の最近接原子間距離（Ｄ_Ｍ）がルテニウムの単位結晶格子の最近接原子間距離（Ｄ_Ｒｕ）に近い領域、具体的には、オングストローム（Å）単位で−０．２００Å＜（Ｄ_Ｍ―Ｄ_Ｒｕ）＜０．１２Åの関係にあって、かつ融点若しくは変態点が６５０ケルビン（Ｋ）以上である金属又は金属間化合物を選択することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】電線に取り付ける検出プローブの装着が容易に行え、測定電圧の変動が少なく信頼性が高い非接触電圧検出装置を提供する。
【解決手段】検出プローブ１０は、電線１５の絶縁被覆１７の外面に密着させて巻き付け可能な可撓性を有する絶縁部材１１中に、電線１５側の大面積の第１電極１２と、この第１電極１２の一部に対向させる電圧検出用の小面積の第２電極１３を、予め定めた間隔を保って配置すると共に、第２電極１３に接続された測定線１４を引き出して構成している。検出プローブ１０の第１電極１２と前記第２電極１３間で形成する補助コンデンサ部分の静電容量は、電線１５の芯線１６と第１電極１２間の静電容量に比べて十分小さくしている。電線１５の絶縁被覆１７の外周面に、検出プローブ１０密着させて取り付け、補助コンデンサ部分に検出用コンデンサ及び電圧検出回路を接続し、電線１５の芯線に印加される交流電圧を測定する。 （もっと読む）

【課題】非破壊かつオンラインで金属層の結晶粒径及び粒径分布を評価する方法を実現する。
【解決手段】結晶組織を有し特定の面方位においてＸ線に対して回折ピークを持つ金属層にＸ線を照射して得られる回折ピークを入手するステップＡ、回折ピークに基づいて面積平均コラム長及び体積平均コラム長を求めるステップＢ、面積平均コラム長及び体積平均コラム長から結晶粒径の対数正規分布を求めるステップＣを具備する。 （もっと読む）

【課題】フラクトオリゴ糖の含有量が高いヤーコンシロップを効率的に得るヤーコンシロップの製造方法及び該製造方法によって得られるヤーコンシロップを提供する。
【解決手段】ヤーコンシロップは、収穫されたヤーコン芋を洗浄するステップＳ１と、該洗浄されたヤーコン芋の表皮が損傷していないもの又は損傷が極小のものを選んで凍結保存するステップＳ２と、該凍結保存されたヤーコン芋を解凍するステップＳ３を経た後に蒸煮処理するステップＳ４、若しくは該凍結保存されたヤーコン芋をそのまま蒸煮処理するステップＳ４と、該蒸煮されたヤーコン芋を嗜好性に応じて搾汁若しくは常温放置で糖液を回収するステップＳ７と、該回収された糖液を加熱処理するステップＳ６，Ｓ８とを経て製造する。 （もっと読む）

【解決課題】高レベル放射性廃液からのＰｄ、Ｔｃ、Ｐｄ、Ｍｏ、Ｐｕを抽出するための抽出剤として用いることができるメチルイミノ−Ｎ，Ｎ−ジアルキルアセトアミドを安全かつ効率的に製造することができる方法を提供する。
【解決手段】メチルイミノ２酢酸とメチルイミダゾールとを脱水ジクロロメタン中で混合し、氷温下でｐ−トルエンスルホニルクロライドを添加して、メチルイミノ２酢酸のイミダゾール化合物を中間体として得て、当該中間体に２級アミンを添加して、下記一般式（Ｉ）：


（式中、Ｒは炭素数が２個〜１２個のアルキル基を示す）で表されるメチルイミノ−Ｎ，Ｎ−ジアルキルアセトアミドを得る。 （もっと読む）