【課題】一連の接合工程の過程中において加速度センサと角速度センサにそれぞれ対応した圧力雰囲気で封止し、それぞれのセンサの検出感度の向上を図る。
【解決手段】加速度センサ１１の可動体１１１と角速度センサ１２の振動体１２１とを壁１６で隔てて、同一のセンサウエハ１０上に作製する。加速度センサ１１及び角速度センサ１２の可動体１１１及び振動体１２１に対応したギャップ２１，２２を設けたキャップウエハ２０を形成し、角速度センサ１２のギャップ２２近傍にバンプ２３を配置する。加速度センサ１１を大気圧封止した後、高温、高荷重を印加して、角速度センサ１２を真空封止する。その後、ダイアモンド砥石による切断、回路基板、配線基板を実装して、複合センサを形成する。 （もっと読む）

【課題】 ばね上の振幅の大きさに応じて利得を調整して、フワフワ感とヒョコヒョコ感の抑制を両立させる。
【解決手段】 ばね上加速度センサ７と積分器１０によって、ばね上速度ｙ_nを検出する。スケジューリングパラメータ演算器１３は、ばね上速度ｙ_nの大きさに基づいてスケジューリングパラメータｐを算出する。ゲインスケジュールドＨ∞制御器１６は、ばね上速度ｙ_nとスケジューリングパラメータｐとに基づいて、目標減衰力ｕ_rの利得を調整する。これにより、フワフワ感とヒョコヒョコ感の抑制を両立させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＥＣＵ単体のコスト増加を抑制しつつ、バックアップデータの冗長性を向上させることができる車両用データ記憶装置を提供することにある。
【解決手段】第１のＥＣＵ１００は、データを一時的に記憶する第１のＲＡＭ１４０と、バックアップデータを記憶する不揮発性メモリからなる第１のデータ記憶部１５０を備える。データ送受信処理部１２０Ｂは、第１のＥＣＵ１００におけるバックアップデータをネットワークを介して第２のＥＣＵ２００に送信し、また、第２のＥＣＵ２００からバックアップデータをネットワークを介して受信する。第２のＥＣＵ２００のデータ返信処理部２２０Ｃは、データ送受信処理部１２Ｂからのバックアップデータを第２のデータ記憶部２５０に記憶し、また、第２のデータ記憶部２５０に記憶された第１のＥＣＵ１００のバックアップデータをネットワークを介して第１のＥＣＵ１００に返信する。 （もっと読む）

【課題】作業性の向上を図ることができる油圧ユニットを提供する。
【解決手段】油圧ユニットは、開口が外部に臨む複数の配管接続口、又は複数にグループ化された配管接続口を備えたハウジングと、ハウジングの外面に貼付され、１枚で少なくとも２つの開口、又は複数にグループ化された配管接続口を同時に被い、配管接続口の開口ごと、又は配管接続口のグループごとに分割し剥がすための分割部１４、及び作業者が把持する把持部（剥がし用把持部１３）を有する保護テープ（第１テープ１０ａ）であり、分割部１４は、把持部１３の側から切り込まれた切り込み部１５と、切り込み部１５の軸線に対し軸線がオフセットして形成されたスリット部１６から構成される。 （もっと読む）

【課題】 ばね上の振幅の大きさに応じて利得を調整して、フワフワ感とヒョコヒョコ感の抑制を両立させる。
【解決手段】 ばね上加速度センサ７と積分器１０によって、ばね上速度ｙ_nを検出する。スケジューリングパラメータ演算器１３は、４輪のばね上速度ｙ_nに基づいて、ばね上共振成分に応じたスケジューリングパラメータｐを算出する。ゲインスケジュールドＨ∞制御器３３は、ばね上速度ｙ_nとスケジューリングパラメータｐとに基づいて、目標減衰力ｕ_rの利得を調整する。これにより、フワフワ感とヒョコヒョコ感の抑制を両立させることができる。 （もっと読む）

【課題】ＳＯＩ構造等を有する半導体基板１０の分離絶縁膜３の絶縁性を確実にチェックすることにより、信頼性の高い半導体装置を提供する。
【解決手段】半導体基板１０は、分離絶縁膜３により電気的に分離された素子領域部１及び非素子領域部２とを有する。また、半導体基板１０の上には、素子領域部１に接続される電極４１と非素子領域部２に接続される電極４２とが配置され、これらの電極間には、ダイオード７及び８が設けられている。ダイオード７及び８は、電極４１と電極４２との間にそれぞれ逆並列に接続されている。 （もっと読む）

【課題】熱式流量計において、温度検知用の発熱抵抗体の劣化を低減するとともに実装部材からの応力影響を低減し、長期間測定精度を維持することができるセンサ素子および駆動回路を提供する。
【解決手段】センサ素子部４６は、バランス調整用抵抗４７を含む複数の温度依存性を有する抵抗（７〜１０）からなるブリッジ回路を有し、前記ブリッジ回路を半導体基板上で結線してなる。駆動回路部４９は、バランス調整用抵抗４７の両端電圧を半導体基板の外部に取り出して両端電圧の範囲内でブリッジ回路のバランス調整を行う。
【選択図】図２３
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【課題】エンジン排気通路に設けた光透過式スモークセンサにおいて、開度固定の減圧部では、排気流量が小さいときに外気から光学素子への取り込み空気量が不足して光学面が汚れ、排気流量が大きいときに圧力損失の増大によりエンジンの燃費が悪化する。
【解決手段】外気圧及び管内排気圧センサ１０７で測定した大気圧と排気絞り弁１０２の近傍の排気圧との差圧と、所定値とを比較して排気絞り弁１０２の目標開度を決定し、弁開度センサ１０３で測定した排気絞り弁１０２の開度が決定目標開度となるように排気絞り弁１０２の開度を制御して、空気通路の取り込み空気による発光素子１０５と受光素子１０６の光学面の汚れと過熱を抑止するとともに排気絞り弁１０２による排気の圧力損失を抑制すること。また、発光素子と受光素子の温度センサ１０８からの測定温度に基づいて排気絞り弁１０２の目標開度を決定して同様に排気絞り弁１０２の開度制御すること。 （もっと読む）

【課題】入力部材の絶対変位量に応じて、入力部材とアシスト部材との相対変位関係が可変となるように変位量制御することができるようにすることで、所望する種々のブレーキ特性を得ることができ、ブレーキフィーリングの改善を行い得る電動倍力装置を提供する。
【解決手段】ポテンショメータ８６（入力絶対変位量検出手段）の検出信号に応じて、入力ピストンとブースタピストンとの相対変位関係が可変となる目標変位量を設定し、両ピストンの相対変位量を検出する相対変位センサ１００からの信号に基づき、両ピストンの相対変位量が前記目標変位量となるように変位量制御する。このように入力ピストンとブースタピストンとの相対変位量を制御することでブレーキアシスト制御など種々のブレーキ特性を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】低インダクタンスで応力緩和した接続構造を持ち、冷却構造を兼ね備えた、省スペースな電力変換装置を提供する。
【解決手段】コンデンサモジュールＣＭは、コンデンサセルCDSを収納するケース１２と、コンデンサセルCDSの一方の電極と接続された第１板状導体８と、コンデンサセルの他方の電極と接続された第２板状導体９と、第１板状導体と第２板状導体との間に配置された絶縁体１０と、コンデンサセルと第１板状導体と第２板状導体を封止する樹脂封止１３とを有する。第１板状導体８と第２板状導体９は、絶縁体１０との積層状態で、樹脂封止１２の表面から突出して駆動制御回路DCU1,DCU2の側部を横切り、さらに第１板状導体８と第２板状導体９、それぞれの先端部がパワーモジュールＰＭＵの電極と接続される。 （もっと読む）