【課題】ノズル基板を研削等の薄板化加工で形成するのではなく、成膜によって形成することで、板厚・ノズル長さの精度向上が可能なノズル基板の製造方法等を提供する。
【解決手段】成膜基板１００上に犠牲層１０１を成膜する工程と、犠牲層１０１の上に、リンをドープしたドープドポリシリコン層１０２をノズル基板基材として成膜するノズル基板基材形成工程と、ドープドポリシリコン層１０２にノズル孔をドライエッチングにより形成するノズル孔形成工程と、犠牲層１０１をエッチングにより除去してドープドポリシリコン層１０２を成膜基板１００から剥離する剥離工程とを有するものである。 （もっと読む）

【課題】インクの液滴を吐出するインクジェット印刷ヘッド用のオリフィスプレートに関する。
【解決手段】オリフィスプレートは、インクによる湿潤度を有した外側表面と、外側表面内に配置された少なくとも１つのオリフィスとを備える。このオリフィスはインク液滴を吐出するように構成され、各オリフィスは縁部を有し、縁部はオリフィスと外側表面の間の遷移境界を画定している。外側表面の湿潤度は、少なくとも１つのオリフィスの縁部付近で小さく、この湿潤度は、オリフィスの縁部から離れるにしたがって増大する。オリフィスの縁部から離れるにしたがって湿潤度が増大することは、残留インク液滴が縁部から離れ、湿潤領域に向かって移動するための駆動力をもたらし、したがって後続の吐出インク液滴の軌道を妨害するリスクを軽減する。本発明の他の態様は、そのようなオリフィスプレートを製造する方法に関する。 （もっと読む）

【課題】ノズル穴のインクを噴射する側の開口の周囲に、記録媒体との接触を回避するための突出部を、簡単に形成する。
【解決手段】ノズル面４１Ａａとなる表面に撥水膜が形成されたノズルプレート基材の前記表面に対し、ノズル穴４３のインクを噴射する側の開口４３ａの周囲に、液状樹脂で構成される複数の液滴を付着させる。それから、その液滴を硬化させることにより一定高さの突出部５１を開口４３ａの周囲に形成する。前記液滴の付着は、前記液状樹脂を液滴状に噴射させて前記ノズルプレート基材の表面上に印刷することにより行う。前記液状樹脂としては、紫外線の照射により硬化する紫外線硬化樹脂を用いる。 （もっと読む）

【課題】ノズル孔の縁部が吐出液に浸食されることがなく吐出液に対する耐久性に優れ、撥水膜自体も当初から強固に密着されており、ノズル孔内壁への被覆やノズル面への撥水膜形成に際して、均一な被覆、正確な塗布領域の制御が可能なシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで酸化物からなる耐吐出液保護膜１３を連続して形成し、耐吐出液保護膜１３の上に撥水膜１４を形成した。また、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて上記の酸化物と同一材料の酸化物からなる保護膜１２を連続して設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出面およびノズル孔内壁が吐出液に浸食されず、耐久性に優れ、撥水性に優れたシリコン製ノズル基板等を提供する。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有し、ノズル孔１１の液滴吐出側の面１ａからノズル孔１１の内壁１１ｃまで連続して耐吐出液保護膜１３が形成され、耐吐出液保護膜１３の液滴吐出側の面１ａに凹凸を形成し、耐吐出液保護膜１３の凹凸面に沿って撥水膜１４をさらに形成した。そして、ノズル孔１１の内壁１１ｃから接合面１ｂにかけて連続して保護膜１２を設け、保護膜１２の上に耐吐出液保護膜１３を連続して設けた。ノズル孔１１の内壁１１ｃはノズル孔１１の吐出口縁部１１ｄを境にして親水化処理されている。耐吐出液保護膜１３はＤＬＣからなる膜であり、耐吐出液保護膜１３の凹凸は高さが数十ｎｍから数μｍであり、撥水膜１４はフッ素含有有機ケイ素化合物からなる膜である。 （もっと読む）

【課題】 インクジェット記録ヘッドの吐出口をテープで保護、封止した状態で物流可能なインクジェット記録ヘッドを提供すること。
【解決手段】 吐出口が形成された吐出口面上で、吐出口周辺領域に設けられた溝幅または溝間距離とそれ以外の領域に設けられた溝幅または溝間距離とが異なることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】長期に渡り安定した撥水性を維持でき、カーボン・ナノ・チューブ層よりも安価な撥水膜が形成されたノズルプレート、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及びノズルプレートの製造方法を得る。
【解決手段】液滴を吐出するためのノズル孔１１を有するノズルプレート１の液滴吐出面にＤＬＣ膜１３を形成し、ＤＬＣ膜１３の表面に凹凸１４を形成する。 （もっと読む）

【課題】オリフィスの縁に張り出すような異物が発生せず、またインク流路壁幅が縮小した場合においても、インク流路壁の剥離を抑え、安定したインク吐出が可能であるインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェット記録ヘッドのインク流路壁の少なくとも一部を、エポキシ樹脂と、アルコール系溶剤と、下記式（Ｉ）に示す構造のカチオン重合開始剤とを含むインク流路壁構成組成物の重合硬化物で構成する。
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【課題】インクジェットヘッドを製造する工程の初期にてノズルが形成された基板の下面に保護カバーを積層することにより、ノズルの汚染を効率的に防止することができ、インクジェットヘッドの製作収率を向上できるインクジェットヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドの製造方法は、圧力チャンバに提供される圧力を用いてノズルを通してインクを吐出するインクジェットヘッドを製造する方法であって、基板を加工し、圧力チャンバ及びノズルを形成する段階と、基板の下面の、ノズルの位置に対応する部位に凹状の溝が形成された保護カバーを積層する段階と、基板の上面に圧電体を結合する段階と、溝が形成された部位を除去し、保護カバーを貫通させる段階と、を含むことを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】ノズル近傍の精度を維持しつつ、ノズル内面の耐アルカリ性を確保できる液体吐出ヘッド及びその製造方法を提供する。
【解決手段】ＳＯＩ基板の表面Ｓｉ層の上にＳｉＯ_２マスク層を形成し、形成したＳｉＯ_２マスク層にノズル開口に対応するマスク開口を形成する。次に、マスク開口をエッチングして、ＳＯＩ基板の表面Ｓｉ層にノズル孔を形成する。次に、流路基板をＳＯＩ基板に直接接合し、接合された流路基板上に圧電アクチュエータを形成する。次に、ＳＯＩ基板のＳｉ基板を除去し、その後、露出したＳｉＯ_２層を除去する。これにより、表面Ｓｉ層に形成されたノズル孔が開口する。最後に、露出した表面Ｓｉ層の表面、及び、ノズル孔の内面にＳｉＯ_２層を形成する。 （もっと読む）

【課題】第一の流体を噴射する噴射口と第二の流体を噴射する噴射口とが近接していた場合であっても、流体噴射ヘッドの内部の第二の流体に第一の流体が混合することを防止できる流体噴射装置を提供する。
【解決手段】第一流体を噴射する第一流体噴射口４７Ａと第二流体を噴射する第二流体噴射口４７Ｂとが近接してそれぞれ複数形成された流体噴射ヘッド３と、第二流体噴射口４７Ｂから流体噴射ヘッド３の内部への第一流体の浸入を防止する第一流体浸入防止機構ＰＭと、を備えることを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】優れた撥インク性を有し、かつその撥インク性を長時間保持できるインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】インクジェットヘッドは、ノズル２が設けられたノズルプレート１と、このノズルプレート１の表面を覆う樹脂膜３とを備えている。樹脂膜３は、鉛筆硬度が２Ｈ以上のものであり、この樹脂膜３の表面における少なくともノズル２の周縁領域は、最大高さが０．０２μｍ以上２μｍ以下の微細突起が０．１〜２００００個／μｍ²の分布密度で分布する３１凹凸面３２であって算術平均粗さ（Ｒａ）が１０ｎｍ以下である凹凸面３２となっている。 （もっと読む）

【課題】撥液性、耐久性の極めて高い撥液層を供えたノズル板を提供すること。また、これを用いたヘッド、それを用いた液体吐出装置および方法を提供する。
【解決手段】ノズル３１から液滴を吐出する液体吐出装置用ヘッドのノズル板３０において、ノズル形成部材のインク吐出面側にフィラーを含有した撥液層９０を具備した液体吐出装置用ヘッドのノズル板。 （もっと読む）

【課題】優れた転落性を有する撥液層の形成方法、及び、ノズルプレートの製造方法を提供する。
【解決手段】撥液層１１Ｂの形成方法では、水酸基発現工程と、塗布工程と、溶媒洗浄工程と、がこの順に行われ、ノズルプレート基材１１Ａの表面にフッ素系シランカップリング剤からなる撥液層１１Ｂが形成される。水酸基発現工程では、ノズルプレート基材１１Ａの表面に水酸基を発現させる処理が行われる。塗布工程では、ノズルプレート基材１１Ａの表面にフッ素系シランカップリング剤が塗布される。溶媒洗浄工程では、ノズルプレート基材１１Ａを常温に保持したままの状態でフッ素系シランカップリング剤の溶媒でノズルプレート基材１１Ａが洗浄される。 （もっと読む）

【課題】ノズルプレートへの固着を防止でき、吐出安定性に優れたインクジェットインク、並びに該インクを用いたインクカートリッジ、インクジェット記録方法、インクジェット記録装置、及びインク記録物の提供。
【解決手段】少なくとも着色剤、水、水不溶性樹脂、フッ素系界面活性剤、及びポリエーテル変性シリコーンオイルを含有してなり、ポリエーテル変性シリコーンオイルの下記数式１で表される疎水値が０．４０以上１．５以下であるインクジェットインクである。
〔数式１〕：疎水値＝Ａ／Ｂ（ただし、前記数式１中、Ａは、テトラメチルシラン（ＴＭＳ）を基準物質とした^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルでのポリエーテル変性シリコーンオイルの０ｐｐｍ〜０．３ｐｐｍにおける積分値を表す。Ｂは、テトラメチルシラン（ＴＭＳ）を基準物質とした^１Ｈ−ＮＭＲスペクトルでのポリエーテル変性シリコーンオイルの３．５ｐｐｍ〜４．０ｐｐｍにおける積分値を表す。） （もっと読む）

【課題】基材との密着性の低下を伴うことなくインクジェット記録ヘッドへの紫外光による撥インク処理層の劣化を防止することが可能なインクジェット記録ヘッドを提供する。
【解決手段】フッ素樹脂と熱可塑性樹脂と紫外線吸収剤とを含む撥インク層を、少なくともインク吐出面に有することを特徴とするインクジェット記録ヘッド。 （もっと読む）

【課題】 本発明は、ノズル板に形成するノズル孔の精度を高め、吐出インク滴の高い着弾位置精度を実現するとともに、生産性に優れた液滴吐出ヘッドの製造方法、液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置及び画像形成装置を提供する。
【解決手段】 本発明の液滴吐出ヘッドの製造方法によれば、マスクに形成された所定のノズル孔パターンにレーザビームを照射してマスクのノズル孔パターンを透過して加工試料に照射する。そして、加工試料をノズル孔パターンの配列方向に移動させてレーザビーム内の異なった複数のビーム領域を用いて加工試料にノズル孔を形成する。よって、ノズル孔の精度及び形状のばらつきが抑えられ、均一化されたノズル孔が形成可能となる。 （もっと読む）

【課題】流体噴射ヘッドの流路内に確実に親水性を付与することで流路壁面への気泡吸着
を抑制できる、親水化処理方法、親水化処理装置、及び流体噴射装置を提供する。
【解決手段】複数のノズル開口２１１が形成されたノズル形成面２１１Ａを備え、ノズル
開口２１１から流体を噴射する噴射ヘッド２４における流体の流路Ｒ内に親水処理を施す
親水化処理方法である。流路Ｒの上流側から加圧しつつ流路Ｒ内に親水性液状材料を充填
する。そして、流路Ｒ内から親水性液状材料を排出する。親水性液状材料の排出後、流路
Ｒに乾燥処理を行う。 （もっと読む）

【課題】インクジェットヘッドのインクの吐出部分周辺への撥水処理に改善を加えることで、インク吐出不良の発生を効果的に抑制する。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッド１の製造方法は、インクの流路を内部に有すると共にインク吐出口の開口するインク吐出面を備えたインクジェットヘッドマニホールド２を作製する工程と、作製されたインクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面に、インク吐出口とつながるインク吐出孔３ａが穿孔されたオリフィスプレート３を接合する工程と、オリフィスプレート３の接合されたインクジェットヘッドマニホールド２のインクの流路内に供給した気体７５をインク吐出孔３ａより噴出させた状態で、オリフィスプレート３の表面３ｂに撥水剤を塗布し且つこれを固化する工程と、を有する。 （もっと読む）

【課題】インク吐出口を開口させたインクジェットヘッドマニホールドのインク吐出面の加工精度を向上させることで、インクジェットヘッドによる印刷品質を高める。
【解決手段】本発明のインクジェットヘッドの研磨装置７１は、水平面に沿って研削面７６ａを回転変位させつつ自転する砥石７６と、後にオリフィスプレート３が接合されるインクジェットヘッドマニホールド２を固定するためのヘッド固定部材７３と、ヘッド固定部材保持機構７４とを備える。上記のヘッド固定部材７３は、固定したインクジェットヘッドマニホールド２のインク吐出面２ｅを摺接させる状態で砥石７６の研削面７６ａ上に載置される。また、ヘッド固定部材保持機構７４は、インクジェットヘッドマニホールド２の固定されたヘッド固定部材７３の重心位置を、砥石７６における研削面７６ａ上の回転中心から偏らせた位置で、ヘッド固定部材７３を自転可能に保持する。 （もっと読む）