【課題】振動板破壊を起こすことなく、振動板の変形量を最大化することが可能な静電アクチュエータ及び液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】振動板４と、振動板４にギャップＧを隔てて対向する個別電極１０と有し、振動板４と個別電極１０との間に駆動電圧を印加することにより振動板４を静電吸引力により変形させる静電アクチュエータであって、振動板４と個別電極１０との距離が、個別電極の中央部１０ａより外周部１０ｂ側で長くなる構成としたものである。 （もっと読む）

【課題】簡易な成膜装置によって、被成膜基材の表面に、シランカップリング剤の被膜を均一且つ強固に形成することができ、また、一の成膜サイクル終了から次の成膜サイクル開始までに要するリセット時間が短く、連続処理を好適に行うことができるシランカップリング剤の成膜方法、及び、これを用いるインクジェットヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】チャンバー３０１の内部にシランカップリング剤ガスを導入し、チャンバー３０１の内壁３０１ａにシランカップリング剤を吸着させる第１の工程と、チャンバー３０１内に被成膜基材１２５を導入し、チャンバー３０１にシランカップリング剤ガスを導入することなくチャンバー３０１内に被成膜基材１２５を放置し、内壁３０１ａから脱離したシランカップリング剤を被成膜基材１２５の表面に成膜する第２の工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】 多様な使用環境下でも長期休止あるいは一次休止後の吐出安定性や間欠吐出安定性を確保し、間欠吐出時のインク滴の透明化を解消することで、安定して高品位な画像記録を行なうことができるインクジェット記録装置、記録方法、インク及びインクジェット記録用カートリッジを提供する。
【解決手段】 少なくとも、（Ａ）インク滴を吐出する複数のノズルと、各ノズルに対応する圧力発生手段を備えたヘッド部と、（Ｂ）顔料、揮発性溶剤、及び低揮発性溶剤を含有し、ζ電位絶対値が２０ｍＶ以上であって、印字中の非吐出ノズルにおいてメニスカス近傍のインクの顔料濃度が低下する特性を有するインクを収容したインク収容部と、（Ｃ）インク滴を吐出しない程度にインクメニスカスを振動させるために所定のタイミングで該圧力発生手段を動作させる駆動手段とを備えたインクジェット記録装置。 （もっと読む）

【課題】液体の吐出能力が高い液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド１００は、第１電極１４と、第１電極１４の上方に形成された圧電体１６と、圧電体１６の上方に形成された第２電極１８と、を有する圧電アクチュエーター１０と、第２電極１８と、第２電極１８に対して空間２４を介して対向配置された第３電極２２と、を有する静電アクチュエーター２０と、を含む。 （もっと読む）

【課題】小滴速度から独立してインク滴サイズを調節可能であって、複雑な設計上の最適化の必要性を低減できる、段付きノズルのデザインを提供する。
【解決手段】インクを受けるよう構成されたプリントヘッドと、プリントヘッドに設けられた少なくとも１つの段付きノズルと、を備えたインクジェット印刷装置であって、当該少なくとも１つの段付きノズルが、射出されるインク滴のサイズを調節するよう設定された出口直径と、射出されるインク滴のサイズから独立して射出されるインク滴の速度を調節するよう設定された入口直径とを有する。 （もっと読む）

【課題】液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法および画質の低下を抑えた液体噴射装置を得ること。
【解決手段】ノズル２１が形成されたノズル面２２０に形成される蒸着膜２０５の厚さが６０ｎｍ以上形成されるので、ノズル開口２１０からノズル２１内に進入する撥液材料の量が増え、ノズル２１の内壁深くまで均一に蒸着膜２０５を形成できる。粘着テープ貼付工程において、粘着層５１がノズル２１内に進入しても、撥液材料からなる蒸着膜２０５に付着し、粘着テープ剥離工程において、粘着層５１も剥離され、ノズル２１内へ残留する粘着層５１を減少できる。したがって、残留する粘着層５１による液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】液体噴射ヘッドの振動板の表面のＣｕ、Ｎｉ等の重金属の析出、汚染を減少させ、絶縁破壊や駆動不良の発生を抑え、不良の少ない液体噴射ヘッドの製造方法および画像記録装置を得ること。
【解決手段】振動板１５を備えたキャビティ基板１０を形成するシリコンウェハー１１０の表面に存在するＣｕおよびＮｉの表面濃度が、それぞれ１．０Ｅ１１（ａｔｏｍ／ｃｍ²）以下および１．０Ｅ１０（ａｔｏｍ／ｃｍ²）以下のものを使用するので、振動板１５の表面のＣｕおよびＮｉによって、振動板１５と対向する個別電極３３との間の絶縁破壊や振動板１５と対向する個別電極３３との貼り付きによる駆動不良が減少した液体噴射ヘッドの製造方法を得ることができる。 （もっと読む）

【課題】高粘度液体を利用して吐出特性を安定させつつより幅広い階調表現を実現することが可能な液体吐出方法、及び、液体吐出装置を提供する。
【解決手段】８ミリパスカル秒以上のインクが吐出される側のノズルの開口面積は、インク供給路の圧力室側の開口面積の１／９以下であり、吐出パルスＰＳは、基準電位から動作電位まで一定勾配で電位が変化して圧力室を膨張させる第１波形部と、動作電位を一定時間維持する第２波形部と、動作電位から基準電位まで一定勾配で電位が変化して圧力室内を加圧する第３波形部と、を有し、単位周期Ｔ内において先に発生される吐出パルスＰＳ１の次に発生される吐出パルスＰＳ２がアクチュエーターに印加されるときの、先の吐出パルスを用いて液体を吐出した後の残留振動の位相が一定に揃うように、これらのパルスの間隔Δｔを圧力室内のインクに生じる固有振動周期Ｔｃに基づき設定した。 （もっと読む）

【課題】振動板と対向電極との間の残留電荷影響の低減を実現して、安定した駆動が可能な静電アクチュエータを得ること。
【解決手段】一方の電極として作用する可撓性を有した振動板１２と、振動板１２にギャップ１０を隔てて対向し振動板１２との間で電圧が印加される対向電極１７とを備え、振動板１２の対向電極１７との対向面に絶縁膜１６Ｂが形成されている静電アクチュエータであって、絶縁膜１６Ｂが形成された振動板１２と対向電極１７との対向面の少なくとも一方の面に、ダイヤモンドライクカーボンなどのカーボン材料からなる表面層１６Ｃを形成している静電アクチュエータ。 （もっと読む）

【課題】気泡の巻き込みによる噴射の不具合を抑制することが可能な液体噴射ヘッド、及び、その製造方法を提供する。
【解決手段】結晶性基材から成り、インクを噴射するノズル８がエッチング加工により開設されたノズル基板を有し、ノズルは、結晶性基材の板厚方向に同軸上で連続し直径の異なる複数のノズル部から成り、各ノズル部のうち最も噴射側に位置する第１の直径Ｄ１の第１ノズル部８ａと、当該第１ノズル部に連続し第１の直径よりも大きい第２の直径Ｄ２の第２ノズル部８ｂとの径差が、第１の直径に対して０．１以上０．４以下である。 （もっと読む）

【課題】高精度な液滴吐出を行う液滴吐出ヘッドを提供する。特に、溶融金属を液滴として吐出する場合における吐出精度の高い液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】電極部を有する第１基板と、前記第１基板と接合され、前記電極部に対向して配置された振動部を有するとともに、液体流路の一部を構成する第２基板と、前記第２基板と接合され、前記液体流路の一部を構成するとともに、前記液体流路の一部に設けられたノズルを有する第３基板と、前記液体流路の近傍に設けられた発熱抵抗体層と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】液滴吐出の際の振動部の振動制御を行い、駆動周波数を高める。
【解決手段】ノズルと、前記ノズルに連通するとともに、前記液体を貯留する液体室と、弾性変位可能に形成された振動部と、前記振動部に対して空間を隔て、前記振動部に対向して配置された電極部と、前記振動部および前記電極部の間の充放電を行う電圧印加部とを有する第１静電アクチュエーターと、前記空間における気体の圧力を調整する圧力調整部と、を備えた。 （もっと読む）

【課題】振動板の貼り付きを防止し、また当接面側の絶縁膜あるいはＤＬＣ膜の異物化を防止するとともに、駆動耐久性に優れ、高電圧駆動が可能な静電アクチュエーター、吐出ヘッド及びそれらの製造方法並びに吐出装置を提供する。
【解決手段】静電アクチュエーターは、基板８上に形成された固定電極１４と、固定電極１４に対して所定のギャップＧを介して対向配置された可動電極１２と、を備え、固定電極１４と可動電極１２との間に静電気力を発生させて、可動電極１２に変位を生じさせる静電アクチュエーターであって、可動電極１２又は固定電極１４上に酸化物系絶縁膜２２が形成され、この酸化物系絶縁膜２２の上に、水酸化アモルファスカーボン膜２４が形成され、さらにギャップＧ内部が放電抑制ガス５８雰囲気に保たれている。 （もっと読む）

【課題】駆動時に電極間に発生する帯電を除去することができ、内部に異物が発生せず、長期耐久性を確保することができる静電アクチュエーター等を提供すること。
【解決手段】可動電極１１、及び可動電極１１と連続し可動電極１１に帯電した残留電荷を除電する帯電除去用可動電極１１ａと、可動電極１１とギャップを隔てて対向する固定電極２１、及び固定電極２１と分離し帯電除去用可動電極１１ａとギャップを隔てて対向する帯電除去用固定電極２３とを備え、可動電極１１と固定電極２１との間、及び帯電除去用可動電極１１ａと帯電除去用固定電極２３との間にそれぞれ電圧を印加可能に構成し、可動電極１１と固定電極２１との接触により可動電極１１に帯電した残留電荷を、帯電除去用可動電極１１ａと帯電除去用固定電極２３とを接触させて、帯電除去用固定電極２３から除去するようにした。 （もっと読む）

【課題】１つの駆動周期内に印加される駆動パルス数が多く、噴射される液滴量が大きい場合の、その液滴の着弾位置のずれを抑制することが可能な、液滴噴射装置を提供すること。
【解決手段】インクジェットヘッドの、時間的に連続する駆動周期の各々に対して、非噴射波形、小玉波形、中玉波形、及び、大玉波形の４つの駆動波形から１つを選択する。その上で、ある駆動周期に対して、駆動パルスＰの多い大玉波形が選択されているときには、この大玉波形を割り当てる周期を、元の駆動周期よりも１周期以上前の駆動周期に変更する。 （もっと読む）

【課題】印字品質がよく、しかも応答速度が速いインクジェットヘッドを提案すること。
【解決手段】静電駆動式のインクジェットヘッド１において、第２ノズル１１ｂの中心に
対するインクノズル１１ａの中心を相対的にインクが供給される側の位置に形成している
。個別インク室５を結晶面方位（１１０）のシリコンに異方性エッチングで形成した場合
でも、インク液滴はノズル面３ａに対して鉛直方向に真っ直ぐ吐出するので、印字品質が
よく、かつ、応答速度の速いインクジェットヘッドを実現することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】振動板の変位動作を排除体積が急激に変化することがないように制御することができる静電アクチュエーター、その駆動方法、並びに、その静電アクチュエーターを搭載した液滴吐出ヘッド及びそれを搭載した液滴吐出装置を得る。
【解決手段】固定電極５における振動板４に対向する領域は、その領域の長手方向の一端から他端に向かってギャップが大きくなるように階段形状に形成されており、段５ｃ〜５ｅの３つの段によって構成されている。 （もっと読む）

【課題】印字のための駆動周波数を低下させずに吐出量を大きく変化させることができる
液滴吐出ヘッドの駆動方法、液滴吐出ヘッド及び液滴吐出装置を得る。
【解決手段】駆動制御回路４１は、静電アクチュエーターに対する駆動電圧Ｖ２の印加に
よる振動板４の固定電極５への一部当接状態から、駆動電圧Ｖ２の電圧値から上昇させ、
駆動電圧Ｖ３を印加し、振動板４の固定電極５に対する当接領域を拡大させることによっ
て、インク押し出し部１２を切断し、インク滴１３として外部に吐出させる。 （もっと読む）

【課題】印字品質がよく、しかも応答速度が速いインクジェットヘッドを提案すること。
【解決手段】静電駆動式のインクジェットヘッド１において、第２ノズル１１ｂの中心に
対するインクノズル１１ａの中心を相対的にインクが供給される側の位置に形成している
。個別インク室５を結晶面方位（１１０）のシリコンに異方性エッチングで形成した場合
でも、インク液滴はノズル面３ａに対して鉛直方向に真っ直ぐ吐出するので、印字品質が
よく、かつ、応答速度の速いインクジェットヘッドを実現することが可能になる。 （もっと読む）

【課題】吐出室の側壁の幅精度を向上させ、吐出性能の安定化を図るようにした液滴吐出ヘッドを提供する。
【解決手段】液滴吐出ヘッド１００は、液体を吐出するノズル孔１１が形成されたノズル基板１０と、ノズル孔１１と連通し、底壁が振動板２２となる吐出室２１が形成されたキャビティ基板２０と、振動板２２を駆動する個別電極３２が振動板２２にギャップ４０を隔てて対向するように形成された電極基板３０と、を備え、吐出室２１の側壁のうち少なくとも長手方向の側壁（隔壁２５）を耐アルカリ性部材で構成している。 （もっと読む）