液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置
【課題】液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法および画質の低下を抑えた液体噴射装置を得ること。
【解決手段】ノズル２１が形成されたノズル面２２０に形成される蒸着膜２０５の厚さが６０ｎｍ以上形成されるので、ノズル開口２１０からノズル２１内に進入する撥液材料の量が増え、ノズル２１の内壁深くまで均一に蒸着膜２０５を形成できる。粘着テープ貼付工程において、粘着層５１がノズル２１内に進入しても、撥液材料からなる蒸着膜２０５に付着し、粘着テープ剥離工程において、粘着層５１も剥離され、ノズル２１内へ残留する粘着層５１を減少できる。したがって、残留する粘着層５１による液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【解決手段】ノズル２１が形成されたノズル面２２０に形成される蒸着膜２０５の厚さが６０ｎｍ以上形成されるので、ノズル開口２１０からノズル２１内に進入する撥液材料の量が増え、ノズル２１の内壁深くまで均一に蒸着膜２０５を形成できる。粘着テープ貼付工程において、粘着層５１がノズル２１内に進入しても、撥液材料からなる蒸着膜２０５に付着し、粘着テープ剥離工程において、粘着層５１も剥離され、ノズル２１内へ残留する粘着層５１を減少できる。したがって、残留する粘着層５１による液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【発明の詳細な説明】
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法、この製造方法で得られた液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルのノズル開口から液体を液滴として噴射する液体噴射ヘッドは、例えば、プリンター等の画像記録装置および液晶表示装置のカラーフィルターの製造等に用いられる液体噴射装置等に搭載される。
このような液体噴射ヘッドとして、圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせ、ノズル開口から液滴を噴射させ、記録媒体等の被対象物に液滴を到達させるようにしたものがある。圧力変動は、液体を沸騰させて、それによって生じる気泡圧によるものや、圧力発生室に貼り付けられた圧電素子に電圧を印加して圧力発生室の容積を変化させるものや、静電気力を利用して圧力発生室の容積を変化させるものがある。
例えば、液体噴射ヘッドは、圧力発生室を含む流路形成基板、ノズルが形成されたノズルプレート等を積み重ねて製造される。ウェハー状態でそれぞれの基板およびプレートを複数形成し、各ウェハーを積み重ねて接着あるいは接合したのち、個々の液体噴射ヘッドとして切断することによって得られる。
【０００３】
ノズルプレートのノズルが形成されたノズル面に液体が付着すると、ノズル開口から噴射される液滴の直進性が損なわれ、飛行曲がりが生じ、画像の画質の低下等が生じる。ノズル面に液体が付着するのを防ぐため、ノズル面に撥液性を有する撥液膜が形成される。
また、ウェハー状態から個々の液体噴射ヘッドを切断する際に、ノズルへの異物の進入を防ぐために、ノズル開口を塞ぐように粘着テープを貼り付けて切り離す方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２７９２４８号公報（５頁および６頁、図４および図５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体噴射ヘッドの製造工程において、ノズル開口およびノズル内に粘着テープの粘着剤が残留すると、液体噴射ヘッドのノズル開口から噴射される液体の直進性が損なわれ、飛行曲がりを生じる。また、飛行曲がりの生じた液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置では、画質が低下する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
ノズルが形成されたノズルプレート用ウェハーを接合してウェハー積層体を形成するウェハー積層体形成工程と、前記ノズルのノズル開口が形成されたノズル面に、蒸着法によって撥液材料を蒸着し、６０ｎｍ以上の厚さの蒸着膜を形成する蒸着工程と、前記ノズル開口を塞ぐように、前記蒸着膜上に粘着テープの粘着剤を密着して貼り付ける粘着テープ貼付工程と、前記ウェハー積層体を切断し、個々の液体噴射ヘッドを切り出す切断工程と、前記粘着テープを剥離する粘着テープ剥離工程とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【０００８】
この適用例によれば、ノズルが形成されたノズル面に形成される蒸着膜の厚さが６０ｎｍ以上形成されるので、ノズル開口からノズル内に進入する撥液材料の量が増え、ノズルの内壁深くまで均一に蒸着膜が形成される。粘着テープ貼付工程において、粘着剤がノズル内に進入しても、撥液材料からなる蒸着膜に付着し、粘着テープ剥離工程において、粘着剤も剥離され、ノズル内へ残留する粘着剤が減少する。したがって、残留する粘着剤による液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【０００９】
［適用例２］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記蒸着膜を、蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下で、撥液材料を２５０℃以上で加熱する蒸着条件の前記蒸着法によって形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下なので撥液材料の平均自由行程が長くなり、２５０℃以上で加熱するので飛行速度も速くなりノズル内により進入しやすくなる。したがって、ノズル内の奥まで蒸着膜が形成され、液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１０】
［適用例３］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記撥液材料は紫外線硬化型の材料であり、前記蒸着工程の後に、前記蒸着膜に紫外線を照射する紫外線照射工程を行なうことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、蒸着膜に紫外線を照射することにより、蒸着膜を構成する紫外線硬化型の撥液材料が硬化する。粘着テープ剥離工程で、硬化した撥液材料は、ノズル面と結合した撥液材料を残して、粘着テープとともに剥離される。したがって、ノズル面およびノズル内に残留する未硬化の撥液材料が減少し、液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１１】
［適用例４］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記粘着剤は、紫外線硬化型であり、前記粘着テープ貼付工程後に、前記粘着テープの前記ノズル開口を塞いだ部分に、紫外線を照射することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、粘着テープのノズル開口を塞いだ部分に、紫外線を照射するので、ノズル開口部分の粘着剤が硬化する。硬化した粘着剤は流動性が減少し、紫外線照射後にノズル内に押し込まれる粘着剤が減少する。したがって、ノズル内に残留する粘着剤が減少し、液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１２】
［適用例５］
上記の液体噴射ヘッドの製造方法で得られた液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【００１３】
この適用例によれば、前述の効果を有する液体噴射装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態におけるインクジェット式記録ヘッドの概略部分斜視図。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの概略部分断面図。
【図３】インクジェット式記録ヘッドの製造方法の一部の製造工程を示すフロー図。
【図４】インクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す概略斜視図。
【図５】インクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す概略斜視図。
【図６】切断工程を表すウェハー積層体の平面図。
【図７】粘着テープを剥離するときの様子を示した図。
【図８】従来における粘着テープを剥離するときのノズル付近の様子を示した図。
【図９】実施形態における粘着テープを剥離するときのノズル付近の様子を示した図。
【図１０】インクジェットプリンターの斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
なお、図面では、説明を分かりやすくするために、一部を省略したり、各構成等を誇張したりして図示している。
図１は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１の概略部分斜視図であり、図２は、その概略部分断面図である。
図１は、インクジェット式記録ヘッド１をＡ面およびＢ面で切断した状態を示している。また、Ａ面で切断した半分の状態を示しており、実際はＡ面を対称面として同じ構造のものを備えている。
【００１６】
図１および図２において、インクジェット式記録ヘッド１は、いわゆる静電駆動方式のヘッドであり、キャビティ基板１０と、このキャビティ基板１０の両面にそれぞれ接合されるノズルプレート２０および電極基板３０とを備えている。
【００１７】
キャビティ基板１０は、例えば、面方位（１００）または（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方面側に開口するキャビティである圧力発生室１１がその幅方向に複数並設されている。図１においては図示されていないが、複数の圧力発生室１１が並設された列が２列形成されている。
【００１８】
また、キャビティ基板１０には、各列の圧力発生室１１に共通するインク室となる共通インク室１２が形成されており、この共通インク室１２は、後述するインク供給路を介して各圧力発生室１１に連通されている。
また、共通インク室１２の底壁には、共通インク室１２にインクを供給するためのインク供給孔１３が形成されている。
さらに、キャビティ基板１０には、共通インク室１２の外側に、後述する対向電極としての個別電極３３に接続される個別端子部３４を露出させるための貫通孔１４が形成されている。
【００１９】
なお、各圧力発生室１１の底壁は、圧力発生室１１内に圧力変化を生じさせるための振動板１５として機能し、この振動板１５を変位させる静電気力を発生させるための共通電極としての役割を兼ねている。
キャビティ基板１０の貫通孔１４近傍には、後述するノズルプレート２０の露出孔内に露出されて図示しない駆動配線が接続される共通端子部１６が形成されている。
【００２０】
ノズルプレート２０は、キャビティ基板１０と同様に、面方位（１００）または（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル２１が形成されている。
ノズルプレート２０は、キャビティ基板１０の開口面側に接合され、圧力発生室１１および共通インク室１２の一方の面を構成している。また、ノズルプレート２０のキャビティ基板１０とは反対側の面には、ノズル２１に対応する領域に亘って厚さ方向の一部を除去したノズル段差部２２が形成されている。
【００２１】
各ノズル２１は、インク滴が噴射される側に設けられてノズル段差部２２内にノズル開口２１０を有する略円形の小径部２１ａと、小径部２１ａよりも大きい径を有し、小径部２１ａと圧力発生室１１とを連通する大径部２１ｂとからなる。
全てのノズル２１は、このノズル段差部２２内にノズル開口２１０を有しており、ノズル段差部２２内のノズルプレート２０の表面がノズル面２２０である。
なお、ノズル２１は、詳しくは後述するが、プラズマエッチング装置を用いてシリコン単結晶基板からなるノズルプレート２０をドライエッチングすることによって形成されている。
【００２２】
ノズルプレート２０のキャビティ基板１０との接合面には、圧力発生室１１と共通インク室１２との境界に対応する領域に、これら各圧力発生室１１と共通インク室１２とを連通するインク供給路２３が形成されている。
また、ノズルプレート２０には、共通インク室１２の外側に対応する位置に、キャビティ基板１０の貫通孔１４に連通し、個別端子部３４と共に共通端子部１６を露出させる露出孔２４が形成されている。
【００２３】
ノズルプレート２０の表面のノズル段差部２２内には、例えば、フッ素含有シランカップリング化合物等からなる撥インク膜２５が形成されている。これにより、ノズルプレート２０のノズル面２２０へのインク滴の付着を抑えている。撥インク膜２５の厚さは、５ｎｍあれば十分である。
【００２４】
電極基板３０は、シリコン単結晶基板に近い熱膨張率を有する、例えば、ホウ珪酸ガラス等のガラス基板からなり、キャビティ基板１０の振動板１５側の面に接合されている。この電極基板３０の振動板１５に対向する領域には、各圧力発生室１１に対応して電極基板凹部３１が形成されている。また、電極基板３０には、キャビティ基板１０のインク供給孔１３に対応する位置に、このインク供給孔１３に連通するインク導入孔３２が形成されている。そして、図示しないインクタンクからこのインク導入孔３２およびインク供給孔１３を介して共通インク室１２にインクが充填されるようになっている。
【００２５】
また、各電極基板凹部３１には、振動板１５を変位させる静電気力を発生させるための個別電極３３が、振動板１５との間に所定の間隔を確保した状態でそれぞれ配置されている。
さらに、電極基板凹部３１内には、キャビティ基板１０の貫通孔１４に対向する領域に、図示しない駆動配線が接続される個別端子部３４が形成されており、この個別端子部３４と各個別電極３３とはリード電極３５によって接続されている。
なお、図示しないが、これら各個別電極３３及びリード電極３５は絶縁膜によって封止され、また個別端子部３４と共通端子部１６との間には、接続配線を介して駆動電圧パルスを印加するための発振回路が接続されている。
【００２６】
インクジェット式記録ヘッド１では、発振回路によって個別電極３３と振動板１５（キャビティ基板１０）との間に駆動電圧を印加すると、これら個別電極３３と振動板１５との隙間に発生する静電気力によって振動板１５が個別電極３３側に撓み変形して、圧力発生室１１の容積が拡大し、駆動電圧の印加を解除すると、振動板１５が元の状態に復帰し、圧力発生室１１の容積が収縮する。このとき発生する圧力発生室１１内の圧力変化によって、圧力発生室１１内のインクの一部が、ノズル２１からインク滴として噴射される。
【００２７】
以下に、インクジェット式記録ヘッド１の製造方法について具体的に説明する。
インクジェット式記録ヘッド１は、複数のキャビティ基板１０、ノズルプレート２０および電極基板３０をウェハー状態で形成し、各ウェハーを貼り合せた後に個々のインクジェット式記録ヘッド１を切り離すことによって得られる。
【００２８】
図３は、インクジェット式記録ヘッド１の製造方法の一部の製造工程を示すフロー図である。
図３において、インクジェット式記録ヘッド１の製造方法は、ウェハー積層体形成工程としてのステップ１（Ｓ１）と、蒸着工程としてのステップ２（Ｓ２）と、紫外線照射工程としてのステップ３（Ｓ３）と、粘着テープ貼付工程としてのステップ４（Ｓ４）と、切断工程としてのステップ５（Ｓ５）と、粘着テープ剥離工程としてのステップ６（Ｓ６）とを含む。
【００２９】
図４および図５には、インクジェット式記録ヘッド１の製造方法を示す概略斜視図を示した。
図４（ａ）はウェハー積層体形成工程（Ｓ１）を、図４（ｂ）は蒸着工程（Ｓ２）を、図４（ｃ）は紫外線照射工程（Ｓ３）を、図５（ｄ）は粘着テープ貼付工程（Ｓ４）を、図５（ｅ）は切断工程（Ｓ５）を、図５（ｆ）は粘着テープ剥離工程（Ｓ６）を示している。
【００３０】
図４（ａ）において、ウェハー積層体形成工程（Ｓ１）では、まず、上述したノズル２１を有するノズルプレート２０が複数一体的に形成されたノズルプレート用ウェハー２００と、上述した圧力発生室１１等を有するキャビティ基板１０が複数一体的に形成されたキャビティ基板用ウェハー１００と、上述した個別電極３３等が設けられた電極基板３０が複数一体的に形成された電極基板用ウェハー３００とをそれぞれ用意する。その後、キャビティ基板用ウェハー１００の両面に、ノズルプレート用ウェハー２００と電極基板用ウェハー３００とをそれぞれ接合してウェハー積層体４００を形成する。
【００３１】
次に、図４（ｂ）において、蒸着工程（Ｓ２）では、ノズルプレート用ウェハー２００のノズル面であるノズル段差部２２内に、蒸着法によって紫外線硬化型の撥液材料を蒸着し、蒸着膜２０５を形成する。なお、蒸着膜２０５および撥インク膜２５とは、撥水性と撥油性を同時に備えた膜のことを指す。
例えば、撥液材料として、フッ素含有シランカップリング化合物を真空蒸着することによって蒸着膜２０５を６０ｎｍ以上の厚さで形成する。蒸着条件は、ノズル２１の径が２０μｍの場合、蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下で、フッ素含有シランカップリング化合物の含まれたセラミック製のペレット（バラックコート：東京製品開発研究所製）の加熱温度が２５０℃以上の条件で行なう。
【００３２】
次に、図４（ｃ）において、紫外線照射工程（Ｓ３）では、この蒸着膜２０５に紫外線を照射する。これにより、蒸着膜２０５を硬化させ、蒸着膜２０５の緻密な膜の厚さを増加させている。
ノズルプレート用ウェハー２００上に蒸着法によって形成した蒸着膜２０５の下層部は、ノズルプレート用ウェハー２００のノズル面２２０と共有結合して「緻密な膜」となっているが、それ以外の部分は分子間結合力による結合力で保持された「疎な膜」となっている。そして、このような蒸着膜２０５に紫外線を照射すると、蒸着膜２０５内における結合力が高まり「緻密な膜」の厚さが実質的に増加する。
【００３３】
次に、図５（ｄ）において、粘着テープ貼付工程（Ｓ４）では、ノズル段差部２２の幅となるように、粘着剤からなる粘着層５１を有する粘着テープ５０を切り出して用意し、この粘着テープ５０をノズル段差部２２内の蒸着膜２０５上に貼り付ける。そして、この粘着テープ５０を蒸着膜２０５と完全に密着させる。なお、この粘着テープ５０は、特に限定されず、例えば、紫外線硬化型の粘着剤からなる粘着層５１を有するダイシングテープ、すなわち、一般的に使用されている紫外線剥離型のダイシングテープ等を用いればよい。
【００３４】
ここで、粘着テープ貼付工程（Ｓ４）の後に、粘着テープ５０のノズル開口２１０を塞いだ部分に、紫外線を照射するとよい。
【００３５】
次に、図５（ｅ）において、切断工程（Ｓ５）では、電極基板用ウェハー３００の大きさとなるように切り出した粘着層７１を有する保護テープ７０を用意し、この保護テープ７０をウェハー積層体４００の電極基板用ウェハー３００の表面に貼り付ける。
なお、ここで使用する保護テープ７０としては、粘着テープ５０と同様に、一般的に使用されている紫外線剥離型のダイシングテープを用いることができる。
【００３６】
図６に、切断工程（Ｓ５）を表すウェハー積層体４００の平面図を示した。
図６において、粘着テープ５０および保護テープ７０を貼り付けた状態でウェハー積層体４００を一点鎖線で示す切断ラインに沿って切断し、個々のインクジェット式記録ヘッド１を切り出す。
なお、切り出されたインクジェット式記録ヘッド１は、ノズル段差部２２に粘着テープ５０１が貼り付けられると共に、電極基板３０の表面には保護テープ７０１が貼り付けられた状態である。
【００３７】
次に、図５（ｆ）において、粘着テープ剥離工程（Ｓ６）では、各インクジェット式記録ヘッド１の電極基板３０の表面に貼り付けられている保護テープ７０１に、紫外線を照射して粘着層７１１を硬化させ、粘着力を低下させる。そして、ノズルプレート２０から粘着テープ５０１を、電極基板３０から保護テープ７０１を剥離する。
【００３８】
図７は、粘着テープ５０１を剥離するときの様子を示した図である。
図７において、粘着テープ５０１と共に蒸着膜２０５の一部が粘着テープ５０１の粘着層５１１に付着して剥離される。これにより、所定厚さ、例えば、５ｎｍ以下の撥インク膜２５が形成される。すなわち、粘着テープ５０１をノズルプレート２０から剥離すると、このノズルプレート２０に形成されていた蒸着膜２０５は、ノズルプレート２０の表面に密着性の高い緻密な膜を残しながら、疎な膜が分離されて粘着テープ５０１と共に剥離される。その結果、ノズルプレート２０の表面には、緻密な膜のみからなる極めて良好な撥インク膜２５が形成される。
【００３９】
図８は、蒸着膜２０５を厚さ３０ｎｍ形成した従来における粘着テープを剥離するときのノズル付近の様子を示した図である。一方、図９は、蒸着膜２０５を厚さ６０ｎｍ以上形成した実施形態における粘着テープを剥離するときのノズル付近の様子を示した図である。
図８（ａ）および図９（ａ）は、蒸着膜２０５を形成する前の状態を、図８（ｂ）および図９（ｂ）は、蒸着膜２０５を形成した状態を、図８（ｃ）および図９（ｃ）は、紫外線照射後、粘着テープ５０を蒸着膜２０５に貼り付けた後の状態を、図８（ｄ）および図９（ｄ）は、粘着テープ５０を剥離した後の状態を示している。
【００４０】
図８（ｂ）において、蒸着膜２０５を厚さ３０ｎｍ形成した場合、ノズル２１の内壁２１１には、蒸着膜２０５が均一に形成されず、蒸着膜２０５が薄いあるいは形成されない部分が存在する。また、蒸着膜２０５がノズル２１の内壁２１１の深い場所まで形成されない。
一方、図９（ｂ）において、蒸着膜２０５を厚さ６０ｎｍ以上形成した場合、ノズル２１の内壁２１１には、蒸着膜２０５が均一に形成され、ノズル２１の内壁２１１の深い場所まで形成されている。
【００４１】
図８（ｃ）において、蒸着膜２０５を厚さ３０ｎｍ形成した場合、ノズル２１の内壁２１１では、蒸着膜２０５が薄いあるいは形成されない部分に、ノズル２１内に押し込まれた粘着層５１が蒸着膜２０５を介さずに、内壁２１１に付着する部分が存在する。
一方、図９（ｃ）において、蒸着膜２０５を厚さ６０ｎｍ以上形成した場合、ノズル２１内に押し込まれた粘着層５１は、ノズル２１の内壁２１１には直接付着せず、蒸着膜２０５に付着する。
【００４２】
図８（ｄ）において、蒸着膜２０５を厚さ３０ｎｍ形成した場合、粘着テープ５０を剥離した後も、蒸着膜２０５が薄いあるいは形成されない部分に付着した粘着層５１がノズル２１の内壁２１１に残留する。
一方、図９（ｄ）において、蒸着膜２０５を厚さ６０ｎｍ以上形成した場合、ノズル２１の内壁２１１には、紫外線照射後の蒸着膜２０５が粘着層５１とともに剥離され、ほぼ均一な撥インク膜２５として残る。
【００４３】
図１０は、液滴噴射装置としてのインクジェットプリンター１０００の斜視図である。インクジェットプリンター１０００は、インクジェット式記録ヘッド１を搭載したもので、液滴としてインクを吐出する。
【００４４】
以上に述べた実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）ノズル２１が形成されたノズル面２２０に形成される蒸着膜２０５の厚さが６０ｎｍ以上形成されるので、ノズル開口２１０からノズル２１内に進入する撥液材料の量が増え、ノズル２１の内壁深くまで均一に蒸着膜２０５を形成できる。粘着テープ貼付工程において、粘着層５１がノズル２１内に進入しても、撥液材料からなる蒸着膜２０５に付着し、粘着テープ剥離工程において、粘着層５１も剥離され、ノズル２１内へ残留する粘着層５１を減少できる。したがって、残留する粘着層５１による液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４５】
（２）蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下なので撥液材料の平均自由行程が長くなり、２５０℃以上で加熱するので飛行速度も速くなりノズル内により進入しやすくできる。したがって、ノズル２１内の奥まで蒸着膜２０５が形成され、液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４６】
（３）蒸着膜２０５を構成する紫外線硬化型の撥液材料が硬化する。粘着テープ剥離工程で、硬化した撥液材料は、ノズル面２２０と結合した撥液材料を残して、粘着テープ５０とともに剥離できる。したがって、ノズル面２２０およびノズル２１内に残留する未硬化の撥液材料を減少でき、液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４７】
（４）粘着テープ５０のノズル開口２１０を塞いだ部分に、紫外線を照射するので、ノズル開口２１０部分の粘着層５１が硬化する。硬化した粘着層５１は流動性が減少し、紫外線照射後にノズル２１内に押し込まれる粘着層５１を減少できる。したがって、ノズル２１内に残留する粘着層５１を減少でき、液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４８】
（５）前述の効果を有するインクジェットプリンター１０００を得ることができる。
【００４９】
以上、実施形態について説明したが、このような実施形態に限定されるものではない。
例えば、実施形態では、静電駆動方式のインクジェット式記録ヘッド１を一例として説明したが、これに限定されず、例えば、圧電素子の変位によってインク滴を吐出させる方式、あるいは、発熱素子等によってインクを加熱することでインク滴を吐出させる方式等、あらゆる方式のインクジェット式記録ヘッドに採用することができる。また、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、他のあらゆる液滴を吐出する液体噴射ヘッドにも採用することができる。
【００５０】
他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５１】
１…液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド、２１…ノズル、５０，５０１…粘着テープ、５１，５１１…粘着層、２００…ノズルプレート用ウェハー、２０５…蒸着膜、２１０…ノズル開口、２２０…ノズル面、４００…ウェハー積層体、１０００…液体噴射装置としてのインクジェットプリンター。
【技術分野】
【０００１】
本発明は、液体噴射ヘッドの製造方法、この製造方法で得られた液体噴射ヘッドを用いた液体噴射装置に関する。
【背景技術】
【０００２】
ノズルのノズル開口から液体を液滴として噴射する液体噴射ヘッドは、例えば、プリンター等の画像記録装置および液晶表示装置のカラーフィルターの製造等に用いられる液体噴射装置等に搭載される。
このような液体噴射ヘッドとして、圧力発生室内の液体に圧力変動を生じさせ、ノズル開口から液滴を噴射させ、記録媒体等の被対象物に液滴を到達させるようにしたものがある。圧力変動は、液体を沸騰させて、それによって生じる気泡圧によるものや、圧力発生室に貼り付けられた圧電素子に電圧を印加して圧力発生室の容積を変化させるものや、静電気力を利用して圧力発生室の容積を変化させるものがある。
例えば、液体噴射ヘッドは、圧力発生室を含む流路形成基板、ノズルが形成されたノズルプレート等を積み重ねて製造される。ウェハー状態でそれぞれの基板およびプレートを複数形成し、各ウェハーを積み重ねて接着あるいは接合したのち、個々の液体噴射ヘッドとして切断することによって得られる。
【０００３】
ノズルプレートのノズルが形成されたノズル面に液体が付着すると、ノズル開口から噴射される液滴の直進性が損なわれ、飛行曲がりが生じ、画像の画質の低下等が生じる。ノズル面に液体が付着するのを防ぐため、ノズル面に撥液性を有する撥液膜が形成される。
また、ウェハー状態から個々の液体噴射ヘッドを切断する際に、ノズルへの異物の進入を防ぐために、ノズル開口を塞ぐように粘着テープを貼り付けて切り離す方法が知られている（例えば、特許文献１参照）。
【先行技術文献】
【特許文献】
【０００４】
【特許文献１】特開２００７−２７９２４８号公報（５頁および６頁、図４および図５）
【発明の概要】
【発明が解決しようとする課題】
【０００５】
液体噴射ヘッドの製造工程において、ノズル開口およびノズル内に粘着テープの粘着剤が残留すると、液体噴射ヘッドのノズル開口から噴射される液体の直進性が損なわれ、飛行曲がりを生じる。また、飛行曲がりの生じた液体噴射ヘッドを搭載した液体噴射装置では、画質が低下する。
【課題を解決するための手段】
【０００６】
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。
【０００７】
［適用例１］
ノズルが形成されたノズルプレート用ウェハーを接合してウェハー積層体を形成するウェハー積層体形成工程と、前記ノズルのノズル開口が形成されたノズル面に、蒸着法によって撥液材料を蒸着し、６０ｎｍ以上の厚さの蒸着膜を形成する蒸着工程と、前記ノズル開口を塞ぐように、前記蒸着膜上に粘着テープの粘着剤を密着して貼り付ける粘着テープ貼付工程と、前記ウェハー積層体を切断し、個々の液体噴射ヘッドを切り出す切断工程と、前記粘着テープを剥離する粘着テープ剥離工程とを含むことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【０００８】
この適用例によれば、ノズルが形成されたノズル面に形成される蒸着膜の厚さが６０ｎｍ以上形成されるので、ノズル開口からノズル内に進入する撥液材料の量が増え、ノズルの内壁深くまで均一に蒸着膜が形成される。粘着テープ貼付工程において、粘着剤がノズル内に進入しても、撥液材料からなる蒸着膜に付着し、粘着テープ剥離工程において、粘着剤も剥離され、ノズル内へ残留する粘着剤が減少する。したがって、残留する粘着剤による液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【０００９】
［適用例２］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記蒸着膜を、蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下で、撥液材料を２５０℃以上で加熱する蒸着条件の前記蒸着法によって形成することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下なので撥液材料の平均自由行程が長くなり、２５０℃以上で加熱するので飛行速度も速くなりノズル内により進入しやすくなる。したがって、ノズル内の奥まで蒸着膜が形成され、液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１０】
［適用例３］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記撥液材料は紫外線硬化型の材料であり、前記蒸着工程の後に、前記蒸着膜に紫外線を照射する紫外線照射工程を行なうことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、蒸着膜に紫外線を照射することにより、蒸着膜を構成する紫外線硬化型の撥液材料が硬化する。粘着テープ剥離工程で、硬化した撥液材料は、ノズル面と結合した撥液材料を残して、粘着テープとともに剥離される。したがって、ノズル面およびノズル内に残留する未硬化の撥液材料が減少し、液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１１】
［適用例４］
上記液体噴射ヘッドの製造方法において、前記粘着剤は、紫外線硬化型であり、前記粘着テープ貼付工程後に、前記粘着テープの前記ノズル開口を塞いだ部分に、紫外線を照射することを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
この適用例では、粘着テープのノズル開口を塞いだ部分に、紫外線を照射するので、ノズル開口部分の粘着剤が硬化する。硬化した粘着剤は流動性が減少し、紫外線照射後にノズル内に押し込まれる粘着剤が減少する。したがって、ノズル内に残留する粘着剤が減少し、液体の飛行曲がりが低減した液体噴射ヘッドの製造方法が得られる。
【００１２】
［適用例５］
上記の液体噴射ヘッドの製造方法で得られた液体噴射ヘッドを備えたことを特徴とする液体噴射装置。
【００１３】
この適用例によれば、前述の効果を有する液体噴射装置が得られる。
【図面の簡単な説明】
【００１４】
【図１】実施形態におけるインクジェット式記録ヘッドの概略部分斜視図。
【図２】インクジェット式記録ヘッドの概略部分断面図。
【図３】インクジェット式記録ヘッドの製造方法の一部の製造工程を示すフロー図。
【図４】インクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す概略斜視図。
【図５】インクジェット式記録ヘッドの製造方法を示す概略斜視図。
【図６】切断工程を表すウェハー積層体の平面図。
【図７】粘着テープを剥離するときの様子を示した図。
【図８】従来における粘着テープを剥離するときのノズル付近の様子を示した図。
【図９】実施形態における粘着テープを剥離するときのノズル付近の様子を示した図。
【図１０】インクジェットプリンターの斜視図。
【発明を実施するための形態】
【００１５】
以下に実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。
なお、図面では、説明を分かりやすくするために、一部を省略したり、各構成等を誇張したりして図示している。
図１は、液体噴射ヘッドの一例であるインクジェット式記録ヘッド１の概略部分斜視図であり、図２は、その概略部分断面図である。
図１は、インクジェット式記録ヘッド１をＡ面およびＢ面で切断した状態を示している。また、Ａ面で切断した半分の状態を示しており、実際はＡ面を対称面として同じ構造のものを備えている。
【００１６】
図１および図２において、インクジェット式記録ヘッド１は、いわゆる静電駆動方式のヘッドであり、キャビティ基板１０と、このキャビティ基板１０の両面にそれぞれ接合されるノズルプレート２０および電極基板３０とを備えている。
【００１７】
キャビティ基板１０は、例えば、面方位（１００）または（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、その一方面側に開口するキャビティである圧力発生室１１がその幅方向に複数並設されている。図１においては図示されていないが、複数の圧力発生室１１が並設された列が２列形成されている。
【００１８】
また、キャビティ基板１０には、各列の圧力発生室１１に共通するインク室となる共通インク室１２が形成されており、この共通インク室１２は、後述するインク供給路を介して各圧力発生室１１に連通されている。
また、共通インク室１２の底壁には、共通インク室１２にインクを供給するためのインク供給孔１３が形成されている。
さらに、キャビティ基板１０には、共通インク室１２の外側に、後述する対向電極としての個別電極３３に接続される個別端子部３４を露出させるための貫通孔１４が形成されている。
【００１９】
なお、各圧力発生室１１の底壁は、圧力発生室１１内に圧力変化を生じさせるための振動板１５として機能し、この振動板１５を変位させる静電気力を発生させるための共通電極としての役割を兼ねている。
キャビティ基板１０の貫通孔１４近傍には、後述するノズルプレート２０の露出孔内に露出されて図示しない駆動配線が接続される共通端子部１６が形成されている。
【００２０】
ノズルプレート２０は、キャビティ基板１０と同様に、面方位（１００）または（１１０）のシリコン単結晶基板からなり、各圧力発生室１１に連通する複数のノズル２１が形成されている。
ノズルプレート２０は、キャビティ基板１０の開口面側に接合され、圧力発生室１１および共通インク室１２の一方の面を構成している。また、ノズルプレート２０のキャビティ基板１０とは反対側の面には、ノズル２１に対応する領域に亘って厚さ方向の一部を除去したノズル段差部２２が形成されている。
【００２１】
各ノズル２１は、インク滴が噴射される側に設けられてノズル段差部２２内にノズル開口２１０を有する略円形の小径部２１ａと、小径部２１ａよりも大きい径を有し、小径部２１ａと圧力発生室１１とを連通する大径部２１ｂとからなる。
全てのノズル２１は、このノズル段差部２２内にノズル開口２１０を有しており、ノズル段差部２２内のノズルプレート２０の表面がノズル面２２０である。
なお、ノズル２１は、詳しくは後述するが、プラズマエッチング装置を用いてシリコン単結晶基板からなるノズルプレート２０をドライエッチングすることによって形成されている。
【００２２】
ノズルプレート２０のキャビティ基板１０との接合面には、圧力発生室１１と共通インク室１２との境界に対応する領域に、これら各圧力発生室１１と共通インク室１２とを連通するインク供給路２３が形成されている。
また、ノズルプレート２０には、共通インク室１２の外側に対応する位置に、キャビティ基板１０の貫通孔１４に連通し、個別端子部３４と共に共通端子部１６を露出させる露出孔２４が形成されている。
【００２３】
ノズルプレート２０の表面のノズル段差部２２内には、例えば、フッ素含有シランカップリング化合物等からなる撥インク膜２５が形成されている。これにより、ノズルプレート２０のノズル面２２０へのインク滴の付着を抑えている。撥インク膜２５の厚さは、５ｎｍあれば十分である。
【００２４】
電極基板３０は、シリコン単結晶基板に近い熱膨張率を有する、例えば、ホウ珪酸ガラス等のガラス基板からなり、キャビティ基板１０の振動板１５側の面に接合されている。この電極基板３０の振動板１５に対向する領域には、各圧力発生室１１に対応して電極基板凹部３１が形成されている。また、電極基板３０には、キャビティ基板１０のインク供給孔１３に対応する位置に、このインク供給孔１３に連通するインク導入孔３２が形成されている。そして、図示しないインクタンクからこのインク導入孔３２およびインク供給孔１３を介して共通インク室１２にインクが充填されるようになっている。
【００２５】
また、各電極基板凹部３１には、振動板１５を変位させる静電気力を発生させるための個別電極３３が、振動板１５との間に所定の間隔を確保した状態でそれぞれ配置されている。
さらに、電極基板凹部３１内には、キャビティ基板１０の貫通孔１４に対向する領域に、図示しない駆動配線が接続される個別端子部３４が形成されており、この個別端子部３４と各個別電極３３とはリード電極３５によって接続されている。
なお、図示しないが、これら各個別電極３３及びリード電極３５は絶縁膜によって封止され、また個別端子部３４と共通端子部１６との間には、接続配線を介して駆動電圧パルスを印加するための発振回路が接続されている。
【００２６】
インクジェット式記録ヘッド１では、発振回路によって個別電極３３と振動板１５（キャビティ基板１０）との間に駆動電圧を印加すると、これら個別電極３３と振動板１５との隙間に発生する静電気力によって振動板１５が個別電極３３側に撓み変形して、圧力発生室１１の容積が拡大し、駆動電圧の印加を解除すると、振動板１５が元の状態に復帰し、圧力発生室１１の容積が収縮する。このとき発生する圧力発生室１１内の圧力変化によって、圧力発生室１１内のインクの一部が、ノズル２１からインク滴として噴射される。
【００２７】
以下に、インクジェット式記録ヘッド１の製造方法について具体的に説明する。
インクジェット式記録ヘッド１は、複数のキャビティ基板１０、ノズルプレート２０および電極基板３０をウェハー状態で形成し、各ウェハーを貼り合せた後に個々のインクジェット式記録ヘッド１を切り離すことによって得られる。
【００２８】
図３は、インクジェット式記録ヘッド１の製造方法の一部の製造工程を示すフロー図である。
図３において、インクジェット式記録ヘッド１の製造方法は、ウェハー積層体形成工程としてのステップ１（Ｓ１）と、蒸着工程としてのステップ２（Ｓ２）と、紫外線照射工程としてのステップ３（Ｓ３）と、粘着テープ貼付工程としてのステップ４（Ｓ４）と、切断工程としてのステップ５（Ｓ５）と、粘着テープ剥離工程としてのステップ６（Ｓ６）とを含む。
【００２９】
図４および図５には、インクジェット式記録ヘッド１の製造方法を示す概略斜視図を示した。
図４（ａ）はウェハー積層体形成工程（Ｓ１）を、図４（ｂ）は蒸着工程（Ｓ２）を、図４（ｃ）は紫外線照射工程（Ｓ３）を、図５（ｄ）は粘着テープ貼付工程（Ｓ４）を、図５（ｅ）は切断工程（Ｓ５）を、図５（ｆ）は粘着テープ剥離工程（Ｓ６）を示している。
【００３０】
図４（ａ）において、ウェハー積層体形成工程（Ｓ１）では、まず、上述したノズル２１を有するノズルプレート２０が複数一体的に形成されたノズルプレート用ウェハー２００と、上述した圧力発生室１１等を有するキャビティ基板１０が複数一体的に形成されたキャビティ基板用ウェハー１００と、上述した個別電極３３等が設けられた電極基板３０が複数一体的に形成された電極基板用ウェハー３００とをそれぞれ用意する。その後、キャビティ基板用ウェハー１００の両面に、ノズルプレート用ウェハー２００と電極基板用ウェハー３００とをそれぞれ接合してウェハー積層体４００を形成する。
【００３１】
次に、図４（ｂ）において、蒸着工程（Ｓ２）では、ノズルプレート用ウェハー２００のノズル面であるノズル段差部２２内に、蒸着法によって紫外線硬化型の撥液材料を蒸着し、蒸着膜２０５を形成する。なお、蒸着膜２０５および撥インク膜２５とは、撥水性と撥油性を同時に備えた膜のことを指す。
例えば、撥液材料として、フッ素含有シランカップリング化合物を真空蒸着することによって蒸着膜２０５を６０ｎｍ以上の厚さで形成する。蒸着条件は、ノズル２１の径が２０μｍの場合、蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下で、フッ素含有シランカップリング化合物の含まれたセラミック製のペレット（バラックコート：東京製品開発研究所製）の加熱温度が２５０℃以上の条件で行なう。
【００３２】
次に、図４（ｃ）において、紫外線照射工程（Ｓ３）では、この蒸着膜２０５に紫外線を照射する。これにより、蒸着膜２０５を硬化させ、蒸着膜２０５の緻密な膜の厚さを増加させている。
ノズルプレート用ウェハー２００上に蒸着法によって形成した蒸着膜２０５の下層部は、ノズルプレート用ウェハー２００のノズル面２２０と共有結合して「緻密な膜」となっているが、それ以外の部分は分子間結合力による結合力で保持された「疎な膜」となっている。そして、このような蒸着膜２０５に紫外線を照射すると、蒸着膜２０５内における結合力が高まり「緻密な膜」の厚さが実質的に増加する。
【００３３】
次に、図５（ｄ）において、粘着テープ貼付工程（Ｓ４）では、ノズル段差部２２の幅となるように、粘着剤からなる粘着層５１を有する粘着テープ５０を切り出して用意し、この粘着テープ５０をノズル段差部２２内の蒸着膜２０５上に貼り付ける。そして、この粘着テープ５０を蒸着膜２０５と完全に密着させる。なお、この粘着テープ５０は、特に限定されず、例えば、紫外線硬化型の粘着剤からなる粘着層５１を有するダイシングテープ、すなわち、一般的に使用されている紫外線剥離型のダイシングテープ等を用いればよい。
【００３４】
ここで、粘着テープ貼付工程（Ｓ４）の後に、粘着テープ５０のノズル開口２１０を塞いだ部分に、紫外線を照射するとよい。
【００３５】
次に、図５（ｅ）において、切断工程（Ｓ５）では、電極基板用ウェハー３００の大きさとなるように切り出した粘着層７１を有する保護テープ７０を用意し、この保護テープ７０をウェハー積層体４００の電極基板用ウェハー３００の表面に貼り付ける。
なお、ここで使用する保護テープ７０としては、粘着テープ５０と同様に、一般的に使用されている紫外線剥離型のダイシングテープを用いることができる。
【００３６】
図６に、切断工程（Ｓ５）を表すウェハー積層体４００の平面図を示した。
図６において、粘着テープ５０および保護テープ７０を貼り付けた状態でウェハー積層体４００を一点鎖線で示す切断ラインに沿って切断し、個々のインクジェット式記録ヘッド１を切り出す。
なお、切り出されたインクジェット式記録ヘッド１は、ノズル段差部２２に粘着テープ５０１が貼り付けられると共に、電極基板３０の表面には保護テープ７０１が貼り付けられた状態である。
【００３７】
次に、図５（ｆ）において、粘着テープ剥離工程（Ｓ６）では、各インクジェット式記録ヘッド１の電極基板３０の表面に貼り付けられている保護テープ７０１に、紫外線を照射して粘着層７１１を硬化させ、粘着力を低下させる。そして、ノズルプレート２０から粘着テープ５０１を、電極基板３０から保護テープ７０１を剥離する。
【００３８】
図７は、粘着テープ５０１を剥離するときの様子を示した図である。
図７において、粘着テープ５０１と共に蒸着膜２０５の一部が粘着テープ５０１の粘着層５１１に付着して剥離される。これにより、所定厚さ、例えば、５ｎｍ以下の撥インク膜２５が形成される。すなわち、粘着テープ５０１をノズルプレート２０から剥離すると、このノズルプレート２０に形成されていた蒸着膜２０５は、ノズルプレート２０の表面に密着性の高い緻密な膜を残しながら、疎な膜が分離されて粘着テープ５０１と共に剥離される。その結果、ノズルプレート２０の表面には、緻密な膜のみからなる極めて良好な撥インク膜２５が形成される。
【００３９】
図８は、蒸着膜２０５を厚さ３０ｎｍ形成した従来における粘着テープを剥離するときのノズル付近の様子を示した図である。一方、図９は、蒸着膜２０５を厚さ６０ｎｍ以上形成した実施形態における粘着テープを剥離するときのノズル付近の様子を示した図である。
図８（ａ）および図９（ａ）は、蒸着膜２０５を形成する前の状態を、図８（ｂ）および図９（ｂ）は、蒸着膜２０５を形成した状態を、図８（ｃ）および図９（ｃ）は、紫外線照射後、粘着テープ５０を蒸着膜２０５に貼り付けた後の状態を、図８（ｄ）および図９（ｄ）は、粘着テープ５０を剥離した後の状態を示している。
【００４０】
図８（ｂ）において、蒸着膜２０５を厚さ３０ｎｍ形成した場合、ノズル２１の内壁２１１には、蒸着膜２０５が均一に形成されず、蒸着膜２０５が薄いあるいは形成されない部分が存在する。また、蒸着膜２０５がノズル２１の内壁２１１の深い場所まで形成されない。
一方、図９（ｂ）において、蒸着膜２０５を厚さ６０ｎｍ以上形成した場合、ノズル２１の内壁２１１には、蒸着膜２０５が均一に形成され、ノズル２１の内壁２１１の深い場所まで形成されている。
【００４１】
図８（ｃ）において、蒸着膜２０５を厚さ３０ｎｍ形成した場合、ノズル２１の内壁２１１では、蒸着膜２０５が薄いあるいは形成されない部分に、ノズル２１内に押し込まれた粘着層５１が蒸着膜２０５を介さずに、内壁２１１に付着する部分が存在する。
一方、図９（ｃ）において、蒸着膜２０５を厚さ６０ｎｍ以上形成した場合、ノズル２１内に押し込まれた粘着層５１は、ノズル２１の内壁２１１には直接付着せず、蒸着膜２０５に付着する。
【００４２】
図８（ｄ）において、蒸着膜２０５を厚さ３０ｎｍ形成した場合、粘着テープ５０を剥離した後も、蒸着膜２０５が薄いあるいは形成されない部分に付着した粘着層５１がノズル２１の内壁２１１に残留する。
一方、図９（ｄ）において、蒸着膜２０５を厚さ６０ｎｍ以上形成した場合、ノズル２１の内壁２１１には、紫外線照射後の蒸着膜２０５が粘着層５１とともに剥離され、ほぼ均一な撥インク膜２５として残る。
【００４３】
図１０は、液滴噴射装置としてのインクジェットプリンター１０００の斜視図である。インクジェットプリンター１０００は、インクジェット式記録ヘッド１を搭載したもので、液滴としてインクを吐出する。
【００４４】
以上に述べた実施形態によれば、以下の効果が得られる。
（１）ノズル２１が形成されたノズル面２２０に形成される蒸着膜２０５の厚さが６０ｎｍ以上形成されるので、ノズル開口２１０からノズル２１内に進入する撥液材料の量が増え、ノズル２１の内壁深くまで均一に蒸着膜２０５を形成できる。粘着テープ貼付工程において、粘着層５１がノズル２１内に進入しても、撥液材料からなる蒸着膜２０５に付着し、粘着テープ剥離工程において、粘着層５１も剥離され、ノズル２１内へ残留する粘着層５１を減少できる。したがって、残留する粘着層５１による液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４５】
（２）蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下なので撥液材料の平均自由行程が長くなり、２５０℃以上で加熱するので飛行速度も速くなりノズル内により進入しやすくできる。したがって、ノズル２１内の奥まで蒸着膜２０５が形成され、液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４６】
（３）蒸着膜２０５を構成する紫外線硬化型の撥液材料が硬化する。粘着テープ剥離工程で、硬化した撥液材料は、ノズル面２２０と結合した撥液材料を残して、粘着テープ５０とともに剥離できる。したがって、ノズル面２２０およびノズル２１内に残留する未硬化の撥液材料を減少でき、液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４７】
（４）粘着テープ５０のノズル開口２１０を塞いだ部分に、紫外線を照射するので、ノズル開口２１０部分の粘着層５１が硬化する。硬化した粘着層５１は流動性が減少し、紫外線照射後にノズル２１内に押し込まれる粘着層５１を減少できる。したがって、ノズル２１内に残留する粘着層５１を減少でき、液体の飛行曲がりが低減したインクジェット式記録ヘッド１の製造方法を得ることができる。
【００４８】
（５）前述の効果を有するインクジェットプリンター１０００を得ることができる。
【００４９】
以上、実施形態について説明したが、このような実施形態に限定されるものではない。
例えば、実施形態では、静電駆動方式のインクジェット式記録ヘッド１を一例として説明したが、これに限定されず、例えば、圧電素子の変位によってインク滴を吐出させる方式、あるいは、発熱素子等によってインクを加熱することでインク滴を吐出させる方式等、あらゆる方式のインクジェット式記録ヘッドに採用することができる。また、インク滴を吐出するインクジェット式記録ヘッドだけでなく、他のあらゆる液滴を吐出する液体噴射ヘッドにも採用することができる。
【００５０】
他の液体噴射ヘッドとしては、例えば、液晶ディスプレイ等のカラーフィルターの製造に用いられる色材噴射ヘッド、有機ＥＬディスプレイ、ＦＥＤ（面発光ディスプレイ）等の電極形成に用いられる電極材料噴射ヘッド、バイオチップ製造に用いられる生体有機物噴射ヘッド等が挙げられる。
【符号の説明】
【００５１】
１…液体噴射ヘッドとしてのインクジェット式記録ヘッド、２１…ノズル、５０，５０１…粘着テープ、５１，５１１…粘着層、２００…ノズルプレート用ウェハー、２０５…蒸着膜、２１０…ノズル開口、２２０…ノズル面、４００…ウェハー積層体、１０００…液体噴射装置としてのインクジェットプリンター。
【特許請求の範囲】
【請求項１】
ノズルが形成されたノズルプレート用ウェハーを接合してウェハー積層体を形成するウェハー積層体形成工程と、
前記ノズルのノズル開口が形成されたノズル面に、蒸着法によって撥液材料を蒸着し、６０ｎｍ以上の厚さの蒸着膜を形成する蒸着工程と、
前記ノズル開口を塞ぐように、前記蒸着膜上に粘着テープの粘着剤を密着して貼り付ける粘着テープ貼付工程と、
前記ウェハー積層体を切断し、個々の液体噴射ヘッドを切り出す切断工程と、
前記粘着テープを剥離する粘着テープ剥離工程とを含む
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記蒸着膜を、蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下で、撥液材料を２５０℃以上で加熱する蒸着条件の前記蒸着法によって形成する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記撥液材料は紫外線硬化型の材料であり、前記蒸着工程の後に、前記蒸着膜に紫外線を照射する紫外線照射工程を行なう
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記粘着剤は、紫外線硬化型であり、
前記粘着テープ貼付工程後に、前記粘着テープの前記ノズル開口を塞いだ部分に、紫外線を照射する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法で得られた液体噴射ヘッドを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
【請求項１】
ノズルが形成されたノズルプレート用ウェハーを接合してウェハー積層体を形成するウェハー積層体形成工程と、
前記ノズルのノズル開口が形成されたノズル面に、蒸着法によって撥液材料を蒸着し、６０ｎｍ以上の厚さの蒸着膜を形成する蒸着工程と、
前記ノズル開口を塞ぐように、前記蒸着膜上に粘着テープの粘着剤を密着して貼り付ける粘着テープ貼付工程と、
前記ウェハー積層体を切断し、個々の液体噴射ヘッドを切り出す切断工程と、
前記粘着テープを剥離する粘着テープ剥離工程とを含む
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項２】
請求項１に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記蒸着膜を、蒸着前到達真空度が５×１０-4Ｐａ以下で、撥液材料を２５０℃以上で加熱する蒸着条件の前記蒸着法によって形成する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項３】
請求項１または請求項２に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記撥液材料は紫外線硬化型の材料であり、前記蒸着工程の後に、前記蒸着膜に紫外線を照射する紫外線照射工程を行なう
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項４】
請求項１〜請求項３のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法において、
前記粘着剤は、紫外線硬化型であり、
前記粘着テープ貼付工程後に、前記粘着テープの前記ノズル開口を塞いだ部分に、紫外線を照射する
ことを特徴とする液体噴射ヘッドの製造方法。
【請求項５】
請求項１〜請求項４のいずれか一項に記載の液体噴射ヘッドの製造方法で得られた液体噴射ヘッドを備えた
ことを特徴とする液体噴射装置。
【図１】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【図２】
【図３】
【図４】
【図５】
【図６】
【図７】
【図８】
【図９】
【図１０】
【公開番号】特開２０１１−９３１３６（Ｐ２０１１−９３１３６Ａ）
【公開日】平成２３年５月１２日（２０１１．５．１２）
【国際特許分類】
【出願番号】特願２００９−２４７４１７（Ｐ２００９−２４７４１７）
【出願日】平成２１年１０月２８日（２００９．１０．２８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
【公開日】平成２３年５月１２日（２０１１．５．１２）
【国際特許分類】
【出願日】平成２１年１０月２８日（２００９．１０．２８）
【出願人】（０００００２３６９）セイコーエプソン株式会社 (51,324)
【Ｆターム（参考）】
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