【課題】環境負荷が小さく、歪量が大きい液体噴射ヘッド、液体噴射装置及び圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０，８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧Ｖ_ａを印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０としたとき、（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）／Ｖ_ａが７０ｐｍ／Ｖ以上且つ比誘電率が７００以下である。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ新規な手法により比較的小さな電界で大きな圧電歪を得ることができる液体噴射ヘッド、及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄、及びチタンを含むペロブスカイト型構造の複合酸化物からなる圧電体層７０と、圧電体層７０に電界を印加する電極６０，８０と、を具備する圧電素子３００を備えた液体噴射ヘッドＩであって、圧電体層７０は、引張り応力により菱面晶から単斜晶へ変化しており、駆動時において、電界を印加することにより圧電体層７０が単斜晶から菱面晶へ変化する。 （もっと読む）

【課題】液体に含まれる粒子が圧力室内に沈降した場合であっても、この粒子によってノズルが目詰まりすることを防ぎ、また沈降した粒子を攪拌することができる液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】ノズル２３に連通する圧力室２０と、該圧力室２０に供給口２２を通じて液体を供給する共通液室２９と、を有し、圧力室２０内の液体に圧力変動を付与することによりノズル２３から液滴を噴射可能な液体噴射ヘッド２であって、圧力室２０の底面には、供給口２２側からノズル２３側への流体の流れに対して抵抗となる段差部２５が設けられた。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つ歪量が大きい液体噴射ヘッド及び液体噴射装置並びに圧電素子を提供する。
【解決手段】ノズル開口２１から液体を吐出する液体噴射ヘッド１であって、圧電体層７０と圧電体層７０に設けられた電極６０、８０とを具備する圧電素子３００を備え、圧電体層７０は、ビスマス、鉄、バリウム及びチタンを含みペロブスカイト構造を有する複合酸化物からなり、圧電体層７０に駆動電圧を印加したときの変位量をＺ_ｍａｘ、その後印加電圧を０Ｖにしたときの変位量をＺ_０、さらにその後に駆動電圧と逆極性の電圧を印加したときの、変位量の最小値をＺ_ｍｉｎとしたときに、（Ｚ_０−Ｚ_ｍｉｎ）／（Ｚ_ｍａｘ−Ｚ_０）が０．０８以上０．４５以下を満たす。 （もっと読む）

【課題】共通流路側に凹凸が形成されて気泡がトラップされ易く、安定した滴吐出が得られない。
【解決手段】液室６と共通液室１０とは振動板部材３を挟んで反対側に配置され、振動板部材３は、第１層３Ａ、第２層３Ｂ、第３層３Ｃの三層構造であり、液室６の壁面の一部を形成する変形可能な振動領域３ａは、液室６側の最表面の第１層３Ｃで形成され、共通液室１０の壁面の一部を形成する変形可能なダンパ領域２１は、共通液室１０側の最表面の第３層３Ｃで形成されている。 （もっと読む）

【課題】インクジェット方式の画像形成装置等に備えられ、振動板の表面粗さを適正にすることにより、下部電極、電気−機械変換膜の結晶配向を適正化し、経時的に安定した駆動力を得る電気−機械変換素子、これを備えインク等の液滴を吐出するヘッド、これを備えた液滴吐出装置、これらを備えたかかる画像形成装置の提供。
【解決手段】電気−機械変換素子１０が、基板１１上に形成された振動板１２と、振動板１２上に直接又は間接的に形成された下部電極２１と、下部電極２１上に形成された電気−機械変換膜１６と、電気−機械変換膜１６上に形成された上部電極２２とを有し、下部電極２１は（１１１）配向を有する層を含み、電気−機械変換膜１６は（１１１）を優先配向とするＰＺＴからなり、振動板１２は表面粗さが５ｎｍ以下のポリシリコン層を含む。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生を抑制することのできるサポートプレート、液滴吐出ヘッド、液体カートリッジおよびインクジェット記録装置を提供する。
【解決手段】接着部材を介してウエハの面に密着し、ウエハをサポートするサポートプレート１０であって、ウエハの面に密着させる範囲内に、凹部および貫通孔のうち少なくとも一方の略長方形状の複数のパターンを備え、パターンは、ウエハの中心に密着する当該サポートプレート１０の中心点とパターンの対角線の交点とを通る直線と、当該パターンの長手方向の直線とがなす角のうち小さい角の角度が４５度以上となるように配置されている。 （もっと読む）

【課題】振動板における振動特性と有機溶剤に対する耐性とを高度に両立する液滴吐出ヘッド、かかる液滴吐出ヘッドを効率よく製造可能な液滴吐出ヘッドの製造方法、および前記液滴吐出ヘッドを備えた液滴吐出装置を提供すること。
【解決手段】インクジェット式記録ヘッド１は、基板２０と、ノズルプレート１０と、振動フィルム３０および支持板４０で構成される振動板と、圧電素子５０とを有し、基板２０とノズルプレート１０との間、基板２０と振動フィルム３０との間、および振動フィルム３０と支持板４０との間が、振動フィルム３０の両面を覆うポリオレフィン系樹脂で構成された樹脂層１５、２５、３５を介して接着されている。このポリオレフィン系樹脂は、分子構造中にポリエチレンを含み、さらに不飽和カルボン酸またはその誘導体を含むものであるのが好ましい。 （もっと読む）

【課題】 変位量の向上した圧電素子とすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に、ビスマス、鉄、マンガン、バリウム及びチタンを含む前駆体溶液を塗布して塗布膜を形成する工程と、前記塗布膜を１７５℃以上１８５℃以下の温度で乾燥する第１乾燥工程と、前記第１乾燥工程の後、２３０℃以上２７０℃以下の温度で乾燥する第２乾燥工程と、前記第２乾燥工程の後、第２乾燥工程の温度以上の温度で加熱して脱脂する工程と、前記脱脂する工程の後、脱脂した塗布膜を加熱して結晶化させる工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の応力集中を低減して圧電素子の破壊を抑制することができる液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供する。
【解決手段】ノズルに連通する圧力発生室１２が複数並設された流路形成基板１０と、該流路形成基板の一方面側に前記圧力発生室に対応して設けられて、第１電極６０、該第１電極上に設けられた圧電体層７０及び該圧電体層上に設けられた第２電極８０を有する圧電素子３００と、を具備し、前記圧力発生室の並設方向と交差する方向の少なくとも一方の端部において、前記流路形成基板が薄い一定の厚さとなって当該圧力発生室の深さが浅くなった段差部１１０を具備し、前記圧電体層の前記第１及び第２電極の両者に挟まれて電界が発生される活性部３２０と前記第１及び第２電極の何れかが存在しないで電界が発生しない非活性部３３０との境界が、前記段差部に対向する位置に設けられている。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０に接続され圧力発生室１２に相対向する領域外に形成される配線層９５が設けられ、第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有し、Ｔ型金属層１２０と配線層９５とが配線層接続部１２３を介して接続されている。 （もっと読む）

【課題】 圧電素子の破壊を抑制すると共に、圧電素子の変位特性に優れた液体噴射ヘッド及び液体噴射装置を提供することを目的とする。
【解決手段】 第２電極８０上の圧電体能動部３２０の４つの角部３２１に対向する領域には、圧電体能動部３２０の第１方向端部を中心として第１方向両側に延設される第１部分１２１と、該第１部分１２１に連続し且つ圧電体能動部３２０の第１方向端部に沿って第２方向に延設される第２部分１２２とから構成されるＴ型金属層１２０を有する。 （もっと読む）

【課題】流体抵抗部の上流側の液体導入部の壁面が薄肉部で形成されて構造コンプライアンスが大きくなり、滴吐出特性が不安定になる。
【解決手段】振動板部材２の振動領域２ａを変位させる駆動圧電柱１２Ａは、液室長手方向において、流体抵抗部７を経て液体導入部８に対向する位置まで延び、液体導入部８の壁面を形成する振動板部材２の薄肉部２ｄは、平面で見て、液体導入部８側と反対側の面に設けられている個別液室の並び方向と直交する方向（液室長手方向）に沿って形成された厚肉部２ｆによって２つの薄肉領域２ｄ１、２ｄ２に分割される。 （もっと読む）

【課題】大気中の水分による圧電体の劣化を抑制し、高密度化して小型化が可能なインクジェットヘッドの提供。
【解決手段】圧電素子１２０が形成されている振動板１１２ａ上に、第一の開口部１３１ａがある第一の絶縁膜１３１及び第二の開口部１３２ａがある第二の絶縁膜１３２が順次積層されており、第一の開口部及び前記第二の開口部を介して、個別電極１２３から第一の配線が引き出され、第一の配線上に、第三の開口部１３３ａが形成されている第三の絶縁膜１３３が形成されており、第三の開口部を介して、第一の配線１４０と駆動回路を電気的に接続する第二の配線１５０が引き出され、第三の絶縁膜は液室上の前記第一の配線を含む領域を除く領域に形成されておらず、第二の絶縁膜の、第三の絶縁膜が形成されていない領域の膜厚が５〜４０ｎｍで、かつ、前記第三の絶縁膜が形成されている領域の膜厚が１００ｎｍ以上のインクジェットヘッド１００。 （もっと読む）

【課題】アクチュエーター素子、なかでも液体吐出ヘッドの圧電体素子に好適に用いることのできる厚膜の圧電体膜及びそれを用いた液体吐出ヘッドを提供すること。
【解決手段】圧電体膜を、複数の層を有する構造とし、各層が、単一配向膜または単結晶膜であり、前記圧電体膜の複数の層の一層あたりの膜厚が０．５μm以上、２．０μm以下とする。 （もっと読む）

【課題】配線基板とアクチュエーターユニットとの接続部の状態を容易且つ的確に把握し得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】配線基板５０とアクチュエーターユニットとを電気的に接続する接続工程と、配線基板５０の一方の共通端子部５９からアクチュエーターユニットの一方の列の共通端子部４７を介して一方の列の下電極膜４３に至り、さらにアクチュエーターユニットの他方の列の下電極膜４３及び他方の列の共通端子部４７を介して配線基板５０の他方の共通端子部５９に至る閉回路を形成して閉回路の直列抵抗の抵抗値を計測する計測工程と、抵抗値に閾値を設け、閾値以下の抵抗値を有する配線基板５０及びアクチュエーターユニットのみを良品として選別する選別工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく、信頼性が向上した液体噴射ヘッド等を提供する。
【解決手段】液体噴射ヘッド６００は、酸化シリコン層１と、前記酸化シリコン層１の上に形成された中間層２と、前記中間層２の上に形成された第１電極１０と、前記中間層２の上に形成された圧電体層２０と、前記圧電体層２０の上に形成された第２電極３０と、ノズル孔６１２に連通する圧力発生室６２２と、を含み、前記圧電体層２０は、ペロブスカイト型構造を有する複合酸化物からなり、前記複合酸化物は、少なくともビスマスおよび鉄を含み、前記中間層２は、酸化マグネシウムおよび／または酸化アルミニウムを含む。 （もっと読む）

【課題】駆動電圧の繰り返し印加に対して特性劣化の小さな圧電アクチュエータ、該圧電アクチュエータを用いた液滴吐出ヘッド、液滴吐出装置を提供する。
【解決手段】少なくとも、基板３０、振動層膜４０、圧電体膜６０、二つの電極膜５０、７０を有する圧電アクチュエータにおいて、前記圧電体膜に接触して、Ｔｉ，Ｔａ，Ｚｒ，Ｖ，Ｎｂ，Ｍｏから選ばれる少なくとも１つの金属元素、酸素元素および炭素元素から構成されるバリア層１０、１１を設ける。 （もっと読む）

【課題】歪量が大きい圧電体膜を製造できる圧電体膜の製造方法を提供する。
【解決手段】Ｂｉ、Ｆｅ、Ｍｎ、Ｂａ及びＴｉを含有し、Ｂｉと、Ｆｅ及びＭｎの総量とのモル比であるＢｉ／（Ｆｅ＋Ｍｎ）が、１．０２以上１．０８以下である圧電体膜形成用組成物により圧電体前駆体膜を形成する工程と、前記圧電体前駆体膜を加熱して結晶化する工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】個別電極と液体加圧室との間に位置ずれが生じても、液滴の吐出特性の変動が少ない液体吐出ヘッドおよび、それを用いた記録装置、ならびに液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】複数の液体吐出孔８にそれぞれ繋がっている複数の液体加圧室１０が開口している流路部材４と、セラミック振動板５２１ａ上に、共通電極５３４、圧電セラミック層５２１ｂおよび複数の個別電極本体５３５ａがこの順で積層されている圧電アクチュエータユニット２１とが積層されている液体吐出ヘッド１３であって、セラミック振動板５２１ａには、複数の液体加圧室１０と対向する流路部材４側の面に、平面形状が液体加圧室１０を内包する形状で、共通電極５３４が露出しない深さで開口している凹部５２１ｃがそれぞれ設けられているとともに、個別電極本体５３４ａの平面形状は、それぞれ凹部５２１ｃより小さい液体吐出ヘッドである。 （もっと読む）