【課題】少なくともＢｉ、Ｂａ、Ｆｅ及びＴｉを含む圧電体層を有する圧電素子、液体噴射ヘッド及び液体噴射装置の性能を向上させることにある。
【解決手段】少なくともビスマス、バリウム、鉄及びチタンを含むペロブスカイト型酸化物を形成するための圧電体前駆体溶液は、少なくとも、ビスマス塩、バリウム塩、鉄塩、並びに、チタンの部分アルコキシド（チタンにアルコキシ基及び該アルコキシ基以外の官能基が結合したチタン化合物）を含む。圧電セラミックスの製造方法は、前記圧電体前駆体溶液を塗布する工程と、該塗布した前駆体溶液を結晶化させてペロブスカイト型酸化物を含む圧電セラミックスを形成する工程と、を備える。圧電素子の製造方法は、前記圧電セラミックスに電極を形成する工程を備える。液体噴射ヘッドの製造方法は、前記圧電素子の製造方法により圧電素子を形成する工程を備える。 （もっと読む）

【課題】複数の圧電体薄膜を積層して形成される圧電体素子における膜の密着性を高めて剥離を防止し、耐久性、信頼性を高めるとともに変位効率（駆動効率）を向上させる圧電体素子を提供する。
【解決手段】基板30上に、第１の電極32が形成され、その上に第１の圧電体膜34が形成される。さらに第１の圧電体膜34の上に拡散ブロック層として機能する金属酸化物膜36が積層され、その上に金属膜38が積層して形成される。金属膜38の上に第２の圧電体膜76が形成され、その上に第２の電極46が積層して形成される。第１の圧電体膜34の分極方向と第２の圧電体膜44の分極方向は互いに異なる。第１の電極32と第２の電極46を接地電位とし、金属膜38を含む中間電極40をドライブ電極とすることができる。各層の圧電体膜を互いに異なる組成で構成することができる。中間層40の厚みと応力値の積は１００Ｎ／ｍ^２未満であることが好ましい。 （もっと読む）

【課題】熱処理方法としてレーザーを使用して薄膜を製造する薄膜製造装置であって、最適なレーザー条件を算出、制御することができる薄膜製造装置を提供すること。
【解決手段】基板上に機能性インクを所定のパターンで塗布する塗布手段と、塗布された前記機能性インクを加熱して結晶化するための１つ又は２つ以上のレーザー光源と、前記機能性インクの結晶状態を測定するためのＸ線回折装置と、前記Ｘ線回折装置により測定された前記機能性インクの前記結晶状態の情報を記録する記録部と、前記レーザー光源のレーザー照射条件を制御する制御装置と、を有し、前記制御部は、前記記録部に記録された、事前の前記レーザー光源によるレーザー照射した前記機能性インクの前記結晶状態の情報に基づいて、前記レーザー光源のレーザー照射条件を調整するようにする、基板上に薄膜を形成する薄膜製造装置。 （もっと読む）

【課題】低コストで所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる。
【解決手段】基板１１上の下部電極に形成された電気機械変換膜上に、塗布領域の所定のパターンに合わせて形成されたガラスマスク１４の透過領域１４−１を通してレーザ光１８を一方向での走査しながら照射する。ガラスマスク１４の遮光領域１４−２によってレーザ光１８が遮光され、エッチングされて残ったＳＡＭ膜１２には照射されない。このため、エッチングされて残ったＳＡＭ膜１２のパターン形状は変わらない。 （もっと読む）

【課題】電極被覆率を向上させることにより、圧電素子としての変位に対して拘束力が大きくなり、変位量が低減する。
【解決手段】圧電部材１２は、圧電層２１と内部電極２２Ａ、２２Ｂを交互に積層したものであり、内部電極２２Ａ、２２Ｂは、銀、パラジウムなどの金属結合部１０２と、一軸方向に伸びる針形状の導電性フィラー１０１とを含有し、一軸方向に伸びた針形状導電性フィラー１０１が網目構造に形成され、銀、パラジウムなどの金属結合部１０２により互いに結合している。 （もっと読む）

【課題】圧電素子の変位効率の向上を図るとともに、製造コストの低減も図り得る液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電材料で形成された同一厚さの複数枚のウエハーに、個別内部電極１６または共通内部電極１７のいずれか一方を形成して第１および第２のウエハーを形成する工程と、前記第１のウエハーと第２のウエハーとを交互に積層するとともに加圧して一体化し、その後焼成する工程と、積層された圧電材料を焼成により一体化した圧電材料層１５を有するウエハーを、ダイシングテープに貼着して所定の大きさに切り分ける工程と、切り分けられた圧電材料層１５の表面に個別内部電極１６に接続される個別外部電極２２と共通内部電極１７に接続される共通外部電極２３とを形成する工程とを含む。 （もっと読む）

【課題】 小さな駆動電圧で大きな歪みを得ることができる圧電素子及び液体噴射ヘッド並びに液体噴射装置を提供する。
【解決手段】 圧電素子はチタン酸ジルコン酸鉛を含むペロブスカイト型結晶からなる圧電体膜と、圧電体膜に設けられた電極とを有し、圧電体膜の（１００）面に由来するＸ線の回折ピーク位置（２θ）が２１．８９以上２１．９７以下であり、かつ、（２００）面半価幅（２θ）が、０．３０以上０．５０以下である。液体噴射ヘッドは、この圧電素子を備え、液体噴射装置はこの液体噴射ヘッドを備える。 （もっと読む）

【課題】クラックの発生を抑制することができるセラミックス膜の製造方法、及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】金属錯体を含むセラミックス膜形成用組成物を塗布してセラミックス前駆体膜を形成する塗布工程と、セラミックス前駆体膜を加熱により結晶化させてセラミックス膜を形成する結晶化工程と、を具備し、結晶化工程における膜厚の収縮率が２７％以上４５％以下となるようにする。 （もっと読む）

【課題】変位量の向上した圧電素子とすることができる液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置の製造方法及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】第１電極を形成する工程と、前記第１電極の上方に、少なくともビスマス及び鉄を含む前駆体溶液を塗布し、膜厚が１００ｎｍ以下の第１塗布膜を形成する工程と、前記第１塗布膜を加熱し、結晶化させて第１圧電体膜を形成する工程と、前記第１圧電体膜の上方に、前記前駆体溶液をさらに塗布して第２塗布膜を形成する工程と、前記第２塗布膜を加熱し、結晶化させて第２圧電体膜を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】駆動周波数を高くすることが可能なインクジェットヘッドを提供する。
【解決手段】ヘッド６は、加圧室３１側から順に積層された、振動板３７、共通電極３９、圧電体４１及び個別電極４３を有する。圧電体４１は、個別電極本体４４が重なる駆動部４１ａと、その外周の非駆動部４１ｂとを有する。駆動部４１ａは厚み方向に分極されており、非駆動部４１ｂは駆動部４１ａに比較して厚み方向への分極がなされていない。駆動信号出力部８は、非駆動部４１ｂが、駆動部４１ａと同様の分極が施された状態から引張り応力が加えられることによりドメインスイッチング及びこれに伴う形状変化が生じたものであると仮定したときに、その形状変化が生じる前の状態の吐出素子１９における最高駆動周波数ｆｃよりも高い周波数で、共通電極３９と個別電極４３との間に電圧を印加する。 （もっと読む）

【課題】高密度ヘッドでは圧電柱の傾きやフレキシブル配線基板の配線電極ピッチの誤差が発生すると短絡等の不良が発生する。
【解決手段】圧電部材１２には複数の圧電柱１１２が形成され、ＦＰＣ１５には圧電柱１１２（駆動柱１２Ａ）の電極２３に接続される配線電極（パターン）１１６が設けられ、配線電極１１６は、接合部分１１７が、先端部側（圧電柱１１２の先端側）の圧電柱配列方向における幅Ｗ１を圧電柱１１２の根元部側の幅Ｗ２よりも広くし（Ｗ１＞Ｗ２）、根元側から先端側に向かって次第に広がる形状に形成している。 （もっと読む）

【課題】配向制御層をスパッタ法で形成するためにエッチング工程が必要になるとともに無駄な材料消費が生じる。
【解決手段】第１の電極上に電気機械変換素子を形成する素子形成領域の表面改質を行う工程と、素子形成領域に配向制御層となるゾルゲル液を第１の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布し、配向制御層を成膜する工程と、成膜された配向制御層上に電気機械変換膜となるゾルゲル液を第２の液体吐出ヘッドから吐出させて塗布し、電気機械変換膜を成膜する工程と、成膜された電気機械変換膜上に第２の電極を形成する工程とを行う。 （もっと読む）

【課題】共通外部電極における抵抗値を低下させることができる積層型圧電素子を提供する。
【解決手段】積層型圧電素子１は、複数の圧電体層３０が積層された積層体２と、積層体２の第１部分２０に圧電体層３０を介して交互に配置される第１内部電極３１及び第２内部電極３２と、積層体２の第２部分２１ａに配置される第３内部電極３３と、第１側面２ｅに設けられ、第１内部電極３１と接続された第１外部電極３と、第２側面２ｆに設けられ、第２内部電極３２及び第３内部電極３３に接続された第２外部電極４と、第１側面２ｅに設けられ、第３内部電極３３に接続された第３外部電極５ａと、第２主面２ｄに設けられ、第２外部電極３と第３外部電極５ａとを接続する第４外部電極６とを備え、第１外部電極３と第３外部電極５ａとは、第１側面２ｅにおいて互いに電気的に絶縁されている。 （もっと読む）

【課題】環境負荷が小さく且つクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができる圧電セラミックス膜形成用組成物、圧電素子の製造方法及び液体噴射ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】圧電セラミックス膜形成用組成物は、ビスマス及び鉄を含む金属錯体混合物と、ポリエチレングリコールと、ターピネオールと、溶媒と、を含む。ポリエチレングリコールと、沸点の高いターピネオールとを含むことにより、鉄酸ビスマス系の圧電材料からなりクラックの発生が抑制された圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。また、圧電特性の良好な圧電セラミックス膜を形成することができるものとなる。さらに、鉛の含有量を抑えられるため、環境への負荷を低減することができる。 （もっと読む）

【課題】圧電素子にクラックが発生するのを防止する信頼性の高い圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子１００は、第１電極２０と、第１電極２０の上方に形成された第１圧電体３０と、第１電極２０および第１圧電体３０の側方に形成される高弾性領域４０と、第１圧電体３０および高弾性領域４０を覆って形成された第２圧電体５０と、第２圧電体５０の上方に形成された第２電極６０と、を含み、高弾性領域４０は、第１圧電体３０および第２圧電体５０よりも弾性が高い。 （もっと読む）

【課題】 環境負荷が小さく且つ（１００）面に結晶が優先配向した圧電体層を備えた液体噴射ヘッドの製造方法、液体噴射装置、及び圧電素子の製造方法を提供する。
【解決手段】 カリウム、ナトリウム、及びニオブを含むゾル−ゲル溶液と、カリウム、ナトリウム、及びニオブを含むＭＯＤ溶液と、を少なくとも混合することにより圧電体膜形成用組成物を調製する工程と、圧電体膜形成用組成物を塗布して圧電体前駆体膜７１を形成する工程と、圧電体前駆体膜７１を加熱して結晶化することにより圧電体膜７２を形成する工程と、を具備する。 （もっと読む）

【課題】 圧電特性および機械的強度が良好なチタン酸バリウム系圧電セラミックス及びそれを用いた圧電素子を提供する。
【解決手段】 そのための本発明は、少なくともチタン酸バリウム粒子を有する酸化物粉末とバインダーを有する成形体を成形する工程と前記成形体を焼結する工程と前記焼結する工程の後に降温する工程とを含む圧電セラミックスの製造方法であって、前記焼結する工程が前記成形体の収縮過程の温度である第一の温度まで昇温し保持する工程（Ａ）と、工程（Ａ）の後に前記成形体の液相焼結過程の温度である第二の温度まで昇温する工程（Ｂ）と、工程（Ｂ）の後に前記成形体の収縮過程の温度である第三の温度まで降温する工程（Ｃ）と工程（Ｃ）の後に前記第三の温度で保持する工程（Ｄ）を少なくとも有することを特徴とする圧電セラミックスの製造方法である。 （もっと読む）

【課題】引出部が第２電極を圧電層の一方の面に引き出すための機能を果たしているかを検査する。
【解決手段】圧電層４０、４１となるグリーンシートにスルーホール３７、３８ａ、３８ｂを形成する。次に、圧電層４０、４１となるグリーンシートの一方の面に共通電極４４、４５を形成する。その後、３枚のグリーンシートを積層して、焼成する。続いて、第１圧電層４０の上面からスルーホール３７、３８内に充填材６５、６６を充填して、引出部６８、６９を形成する。その後、スルーホール３７、３８内の充填材６５、６６の導通状態を検査し、圧電アクチュエータ３２の不良を判別する。そして、不良と判別されなかった第１圧電層４０の上面に、個別電極４３、及び、複数の引出部６８、６９のそれぞれを互いに接続させる引出電極４６、４７を形成する。 （もっと読む）

【課題】電気機械変換膜を形成するための原料を含む塗布液をノズルから吐出させて電極上に塗布する場合に、均一な膜厚を有する所望パターンの電気機械変換膜を形成することができる電気機械変換膜の製造方法を提供する。
【解決手段】塗布工程の第１回目では、液滴吐出ヘッドのノズル列の長手方向と塗布対象領域の長手方向とを直交させ、塗布対象領域においてノズルから連続して吐出した互いに独立した液滴のドット同士が一部重なる程度の間隔で液滴を吐出させるように塗布液を塗布する。塗布工程の第２回目以降では、液滴吐出ヘッドのノズル列の長手方向と塗布対象領域の長手方向とを平行にし、塗布対象領域においてノズルから吐出した互いに独立した液滴のドット同士が重ならない程度の間隔で液滴を吐出させるように塗布液を塗布する。 （もっと読む）

【課題】流路部材の平面状の面に接合する際に、接合性の良好なインクジェット用圧電アクチュエータユニット、それを用いた液体吐出ヘッドおよび記録装置を提供する。
【解決手段】複数の圧電セラミック層が積層されている積層体と、該積層体の一方の主面に第１の方向および第１の方向とは異なる方向に渡って形成されている複数の個別電極３５と、複数の個別電極３５のうち前記一方の主面の周縁部に形成されている個別電極３５以外の個別電極の上にそれぞれ形成されている複数の接続ランド３６と、前記積層体の内部に形成されている複数の個別電極３５に対向している共通電極とを有する液体吐出ヘッド用圧電アクチュエータユニットであって、前記積層体は、複数の接続ランド３６が囲まれている接続ランド形成領域８０の平坦度より、接続ランド形成領域８０の周囲の周縁領域の平坦度が大きい。 （もっと読む）