【課題】透湿防止機能を有し、効率よく製造された長尺の振動板を有する液滴吐出ヘッドを得る。
【解決手段】樹脂層２０１を有する振動板１０２の圧電素子１２１の端面を接着接合する凸形状部２０２ａを形成するための無機材料層２０２の一部を利用し、かつ、凸形状部２０２ａを形成のための工程をそのまま利用して圧電素子１２１の伸縮に応じて変位するダイアフラム部に樹脂層２０１の透湿防止膜となる無機材料層２０２の薄層２０３を形成して、製造コストを抑えながら樹脂層２０１の透湿を防止できる振動板１０２を形成することができ、安価で信頼性の高い液滴吐出ヘッドを得る。 （もっと読む）

【課題】静電吸引方式インクジェットヘッドの放電発生時の駆動電極への電流流れ込みを低減させる。
【解決手段】駆動用電極１６が形成された圧電材料の駆動壁１５とキャビティ１４とが交互に配置された圧力発生体と、圧力発生体のキャビティ１４の開口面に接合された絶縁材料のノズル板１１とを備え、ノズル板１１にノズル１２が設けられ、ノズル板１１に対向する対向電極との間に電界を形成してノズル１２から吐出されるインクを加速吸引する静電吸引式インクジェットヘッドにおいて、インクは導電性インクであり、少なくともインクを吐出するキャビティ１４内の壁面に、駆動用電極１６とは別の接地されたアース電極１７が設けられ、アース電極１７が設けられたキャビティ１４内の駆動用電極１６のノズル板側１１の先端とノズル１２との最短距離をＡ、アース電極１７のノズル板１１側の先端とノズル１２との最短距離をＢとしたとき、Ａ＞Ｂの条件を満たす。 （もっと読む）

【課題】電極への電界集中を防ぐことができ、もって信頼性を確保すること。
【解決手段】圧電膜２４の活性部の周縁において電界が活性部の外周にいくに従って低下する構造とした。例えば、圧電膜２４の活性部の周縁上に、内側にいくに従って膜厚が漸減する形状を有する絶縁膜２５を形成した。圧電膜２４の活性部の周縁の膜厚が外側にいくに従って漸増する形状、上部電極２６の周縁の膜厚が外側にいくに従って漸減する形状、または、上部電極２６の周縁をメッシュ状としてもよい。 （もっと読む）

【課題】圧電膜への水分の侵入を好適に防止可能な、良好な耐湿性を有する高機能の圧電デバイスを提供する。
【解決手段】圧電デバイスは、ＳＯＩ基板１２と、基板１２上に成膜された第１の電極１６と、第１の電極１６上の少なくとも一部に気相成長法により成膜された圧電膜１８と、圧電膜１８上に成膜され、水蒸気透過率が、１ｇ／ｍ^２／ｄａｙ以下であり、Ｔｉ、Ｉｒ、Ｔａ、Ｐｄ、Ｒｕ、Ｒｈ、Ｏｓの少なくとも１つを含む第２の電極２０と、少なくとも第２の電極２０および圧電膜１８の周縁部を覆い、かつ周縁部を除く圧電膜１８に対応する位置に開口を備え、少なくとも一層で、ＳｉＮ、ＳｉＯ２、ＳｉＯＮ、Ａｌ２Ｏ３、ＺｒＯ２、ＤＬＣの少なくとも１つを含む保護膜２２とを有する。 （もっと読む）

【課題】ダイアフラム部となるパリレン薄膜とリザーバ基板との接触面積及び密着性を十分に確保することが可能な液滴吐出ヘッドの製造方法及び液滴吐出装置の製造方法を提供する。
【解決手段】リザーバ基板２になるシリコン基材２００の一方の面からリザーバ２３となるリザーバ凹部２３ａをウェットエッチングにより形成する工程と、リザーバ凹部２３ａ内に下地膜としてクロム膜２０５と金膜２０５ａとを順次形成する工程と、リザーバ凹部２３ａの内面全体に対してパリレン薄膜１１１を形成する工程と、反対側の面からパリレン薄膜１１１が露呈するまでエッチングし、ダイアフラム部１００を形成する工程とを備えたものである。 （もっと読む）

【課題】２つの基材を、一部の領域において部分的に、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合方法、および、２つの基材を、かかる接合方法により、一部の領域において部分的に接合してなる接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合方法は、第１の基材２１上の一部の第１の領域３１０ａに接合膜３ａを形成し、第１の被着体４１を作製するとともに、第２の基材２２上の一部に、第１の領域３１０ａと異なるパターンで設定された第２の領域３１０ｂに接合膜３ｂを形成する工程と、各接合膜３ａ、３ｂに対してエネルギーを付与し、各接合膜３ａ、３ｂ中から脱離基を脱離させることにより活性化させる工程と、各接合膜３ａ、３ｂ同士が密着するように、２つの被着体４１、４２を貼り合わせることにより、各領域３１０ａ、３１０ｂが重なった部分において部分的に接合してなる接合体を得る工程とを有する。 （もっと読む）

【課題】吐出効率の向上を目的として液体吐出ヘッドの内部に設けられた可動部材の繰り返し応力に対する耐久性を向上させる液体吐出ヘッド及び液体吐出装置並びに液体吐出ヘッド製造方法を提供する。
【解決手段】ヘッド（１０）は、液体を吐出するノズル（１２）と、ノズルと連通する液室（１４）と、液室を構成する壁（１５）に設けられ、液室内の液体を加圧するヒータ（１６）と、ノズル側の端部が自由端（２０Ａ）となるとともにノズルと反対側の端部が固定され、ヒータが設けられる壁と自由端が所定の間隔をおいて対面する構造を有する可動部材（２０）と、を備え、可動部材は、第１の層（２４）の両面に第２の層（２６）及び第３の層（２８）が積層された構造を有し、第２の層及び第３の層は第１の層よりも小さい応力を有することを特徴とする。 （もっと読む）

【課題】 圧電体薄膜素子が液室より長く形成された液体吐出装置において、液室と圧電体薄膜素子が交差する周辺領域で駆動時に破壊が生じてしまうという問題を、簡易な方法で解決すること。
【解決手段】 圧電体素子が液室の短い方の幅より小さく、液室の長い方の長さより長く形成されているインクジェットヘッドにおいて、圧電体素子と液室は、液室の短い方で交差し、かつ液室の短い方が徐々に先細りとなる形状であるようにする。 （もっと読む）

【課題】 半導体プロセスで直接基板に駆動回路を作り込むことなく金属薄膜形成工程及びフォトリソグラフィ工程により圧力発生手段との間の配線を形成することで高密度化に資することができ、また基板の構造破壊も回避し得る液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】 液体を噴射するノズル開口２１に連通する圧力発生室１２が形成された流路形成基板１０と、前記圧力発生室１２に圧力変化を生じさせることによりノズル開口２１を介して液滴を吐出させるよう流路形成基板１０の一方面側に配設された圧電素子３００と、前記一方面側に形成した凹部１２６に埋設されるとともに、圧電素子３００が駆動されるように金属薄膜形成工程及びフォトリソグラフィ工程により圧電素子３００との間の配線が形成されている駆動回路１２０とを有する。 （もっと読む）

【課題】 高性能なアクチュエータを有する薄膜圧電インクジェットヘッドの提供。
【解決手段】 基板と流路形成部材が導電層を介して一体化されており、陽極化成により液室となる部分を多孔質化し、その上に振動板、アクチュエータ形成後ノズル部分を切断し、多孔質部分をエッチングすることでヘッドを作製する。 （もっと読む）

【課題】良好な圧電特性を有し、簡易なプロセスにて製造可能とする圧電素子を提供する。
【解決手段】圧電素子は、プラズマを用いる気相成長法により、基板上に電極を介して圧電膜が成膜されている。圧電膜は１種又は複数種のペロブスカイト型酸化物（不可避不純物を含んでいてもよい）であって、基板面に対して非平行方向に延びる多数の柱状結晶体１７からなる柱状構造膜１３からなる。柱状構造膜１３の表面において観測される多数の柱状結晶体１７の端面１７ｓが、端面１７ｓの最小の外接円の径ｒが１００ｎｍ以下から５００ｎｍ以上に亘って分布する大きさを有しており、かつ外接円の径ｒが１００ｎｍ以下のものを２０％以上、５００ｎｍ以上のものを５％以上含むものであり、柱状構造膜１３の表面粗さＲａが１０ｎｍ以下である。 （もっと読む）

【課題】スルーホールの位置精度を向上させるとともに、スルーホール周辺の機械強度を高めること。
【解決手段】スルーホールの形成方法では、シリコン基板１０１の第１の面においてスルーホールが形成される領域の周囲に、シリコン基板１０１よりも不純物濃度が高い第１の不純物領域１０２ａを形成し、シリコン基板１０１の深さ方向において第１の不純物領域１０２ａに隣接する位置に、第１の不純物領域１０２ａよりも不純物濃度が高い第２の不純物領域１０２ｂを形成する。そして、前記第１の面の上に、エッチングストップ層１０３を形成し、シリコン基板１０１の前記第１の面に対向する第２の面の上に、開口部を有するエッチングマスク層１０４を形成する。そして、前記開口部を通して、少なくともエッチングストップ層１０３が露出するまで、シリコン基板１０１をエッチングする工程と、を含む。 （もっと読む）

【課題】誘電体層内の各部分におけるチタン含有率のばらつきが抑制され特性が良好な誘電体層を有する圧電素子の製造方法を提供すること
【解決手段】本発明にかかる圧電素子１００の製造方法は、基体１０の上方に下部電極２０を形成する工程と、下部電極２０の上方に複数の原料層が積層された前駆体層を形成する第１工程、および、前駆体層を結晶化させて層状部３１１を形成する第２工程の組を、１または複数回行い誘電体層３０を形成する工程と、誘電体層３０の上方に上部電極４０を形成する工程と、を含み、誘電体層３０は、一般式ＡＢＯ_３で示されるペロブスカイト型酸化物からなり、前記Ａサイトは、鉛（Ｐｂ）を含み、前記Ｂサイトは、ジルコニウム（Ｚｒ）およびチタン（Ｔｉ）を含み、複数の原料層の平均チタン含有率は、下層の原料層の平均チタン含有率ほど小さい。 （もっと読む）

【課題】第１基体から第２基体へ転写され、かつ、簡易な配線方法によって配線されることができる圧電素子およびその製造方法を提供する。
【解決手段】圧電素子３００の製造方法は、第１基板１１０の上方に第１電極１３２、圧電体層１３５、第２電極１３６および絶縁層１３８をこの順で形成し、第２電極１３６の少なくとも一部が露出し、かつ、絶縁層１３８が第２電極１３６に対し上方に突出する突出部１３８ｘを有するように、絶縁層１３８をエッチングする。そして、第２基板２１１と突出部１３８ｘとが接し、かつ、第２電極１３６と第３電極２１２とが接するように、被転写体１３０と第２基体２００とを接合させる。 （もっと読む）

【課題】インク等の液体に接する部分においては緻密で化学的及び物理的に安定し、薄層化してもインクに対して耐性があり、段差部においては層のクラック等が発生せずに、カバレッジ性に優れた絶縁保護層を有する液体吐出ヘッド用基体を提供すること。
【解決手段】本発明の液体吐出ヘッド用基体は、基板上に形成された絶縁層の上に、発熱抵抗層と、該発熱抵抗層に電気的に接合する配線と、前記発熱抵抗層と前記配線とを覆う絶縁保護層と、液体路を、順に形成した液体吐出ヘッド用基体であって、前記絶縁保護層がラジカルシャワーＣＶＤ法により形成された層である。 （もっと読む）

【課題】被着体に対して、高い寸法精度で強固に、かつ低温下で効率よく接合することができる接合膜を備えた接合膜付き基材、かかる接合膜付き基材を製造し得る接合膜付き基材の製造方法、かかる接合膜付き基材と被着体とを、低温下で効率よく接合する接合方法、および、前記接合膜付き基材と被着体とが高い寸法精度で強固に接合してなる信頼性の高い接合体を提供すること。
【解決手段】本発明の接合膜付き基材１は、基板２（基材）と接合膜３とを有し、対向基板４（他の被着体）に対して接合可能なものである。接合膜３は、金属原子と、金属原子と結合する酸素原子と、金属原子および酸素原子の少なくとも一方に結合する脱離基とを含み、紫外線を照射することにより、表面３５付近に存在する脱離基が、金属原子および酸素原子の少なくとも一方から脱離し、これにより接合膜３の表面３５に、対向基板４との接着性が発現し得るものである。 （もっと読む）

【課題】ベース電極及び圧電素子とＦＰＣとの配線を容易に、且つ良好に行うことができる液体吐出ヘッドの製造方法を提供する。
【解決手段】液体を液滴として吐出するノズル孔に連通する圧力室を構成する圧力室溝を有するボディプレート２と、前記圧力室に圧力を発生させる圧電素子３と、前記圧電素子に駆動電力を供給するフレキシブル基板４２と、を備え、前記圧電素子は、該圧電素子が有する一対の対向する電極３ａの一方の電極が前記ボディプレートの前記圧力室溝がある面の反対面に設けられたベース電極４０に結合され、前記ベース電極と前記圧電素子の他方の電極は、それぞれの電極が接続される共通電極４２−ｇと個別電極４２−ｄを有する前記フレキシブル基板と異方導電性フィルム４４を間に挟んで結合されている液体吐出ヘッドにおいて、前記ベース電極と前記共通電極との間には、該ベース電極から順に導電性部材４３と前記異方導電性フィルムがある。 （もっと読む）

【課題】ジルコニウム酸化物結晶の異常成長を防止することによって、厚さが均一で緻密なジルコニウム酸化物層が形成されたアクチュエータ装置及びその製造方法並びに液体噴射ヘッドを提供する。
【解決手段】熱酸化によって生成されたケイ素酸化物層（弾性膜５０）を表面に有する基板１０上にジルコニウム酸化物層（絶縁体膜５５）を介して変位可能に設けられた下電極（下電極膜６０）、圧電体層７０及び上電極（上電極膜８０）からなる圧電素子３００を具備し、前記ケイ素酸化物層（弾性膜５０）と前記ジルコニウム酸化物層（絶縁体膜５５）の間に、チタン酸化物、ハフニウム酸化物、アルミニウム酸化物、カルシウム酸化物、希土類酸化物からなる群から選択される少なくとも１種の材料からなる中間層（中間膜５３）が設けられている。 （もっと読む）

【課題】振動板厚みばらつきや、絶縁耐圧の低下を防ぐことができ、しかもアクチュエータを駆動させる際に高電圧にする必要がない静電アクチュエータ等を提供する。
【解決手段】静電アクチュエータは、振動板４と、この振動板４にギャップＧを隔てて対向する個別電極Ａとを有し、振動板４が、導電膜４ａと、高誘電体膜または強誘電体膜４ｂとを積層して構成したものである。 （もっと読む）

【課題】高いギャップ精度を有し、低電圧駆動が可能な静電アクチュエータを提供することを目的とする。また、この静電アクチュエータを備えた液滴吐出ヘッドを提供し、併せてこれらの製造方法を提供する。
【解決手段】シリコンで構成された振動板４と、振動板４にギャップを隔てて対向する個別電極１０とを備え、振動板４を、個別電極１０側と反対側に凸の多段形状とするものである。 （もっと読む）